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公开(公告)号：KR1020110089155A
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：KR1020117011826
申请日：2009-10-24
Applicant: 사이머 엘엘씨
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/08009 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/06 , G01J3/14 , G01J3/18 , G01J2003/1208 , G02B5/1828 , H01S3/08004 , H01S3/1055 , H01S3/1067
Abstract: 대역폭 선택을 위한 메커니즘은 반사 광학 엘리먼트의 반사면을 따라 종축 방향으로 뻗어있는 입사 영역을 포함하는 분산 반사면을 구비한 바디를 가진 분산 광학 엘리먼트를 포함한다. 상기 바디는 또한 바디의 제 1 종축 단부에 배치된 제 1 단부 블록과 바디의 제 2 종축 단부에 배치된 제 2 단부 블록을 포함하고, 상기 제 2 종축 단부는 제 1 종축 단부에 대향하여 있다. 대역폭 선택 메커니즘은 또한 상기 반사면에 대향하여 있는 분산 광학 엘리먼트의 제 2 면 상에 장착된 제 1 액추에이터를 포함하고, 상기 제 1 액추에이터는 상기 제 1 단부 블록에 결합된 제 1 단부와 제 2 단부 블록에 결합된 제 2 단부를 구비하고, 상기 제 1 단부 블록과 상기 제 2 단부 블록에 동일하지만 반대방향인 외력을 인가하도록 동작한다.
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公开(公告)号：KR1020040055723A
公开(公告)日：2004-06-26
申请号：KR1020037007297
申请日：2001-11-30
Applicant: 옵토센스 엔바이론멘탈 테크놀러지 에이에스
IPC: G01J3/18
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/18 , G02B5/1842
Abstract: 분광기에 사용되는 회절 광학 요소 장치에서의 광 대역의 빛은 상기 광학 요소(24)를 향하여 광원(31)으로 부터 방사되고 거기서 적어도 하나의 검출기(29,29')에 투과된다. 상기 광학 요소는 다수의 분산 회절 초점 패턴을 가지며, 바람직하게는 부분적으로 서로 통합되고, 그것의 각각의 중심은 스펙트럼(25-28)의 다수를 생성하기 위해서 서로 관련되어 2차원적으로 오프셋된다. 여기서 적어도 둘은 분리되나 서로 관련되어 오프셋되고 그리고/또는 부분적으로 중첩된다. 대체 실시예에서 상기 광학 요소는 각각의 파장과 스펙트럼 생성에 관련되는 하나의 회절 광학 요소(60)와 각각의 파장들과 적어도 상호간에 부분적으로 복합 스펙트럼을 주는 중첩 스펙트럼 생성과 관련되는 적어도 두개의 회절 광학 요소(60,61)로 구성된다. 수단들은 적어도 하나의 고 그리고/또는 저 파장값이 표시되는 상기 스펙트럼을 생성하기 위해서 광학 요소에 연관되어 위 또는 안에서 제공한다.
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公开(公告)号：KR20180006621A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：KR20177035969
申请日：2016-05-12
Applicant: CYMER LLC
Inventor： THORNES JOSHUA JON
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J9/00
Abstract: 계측시스템은펄스형광 빔의경로에있고펄스형광 빔과상호작용하며펄스형광 빔의스펙트럼성분에대응하는복수개의공간성분을출력하도록구성되는광학주파수분리장치; 출력공간성분을수광하고감지하는복수개의감지지역; 및각각의감지지역의출력에연결되는제어시스템을포함한다. 제어시스템은: 각각의감지지역출력에대해, 하나이상의펄스에대한광학주파수분리장치로부터의출력공간성분의특성을측정하고; 측정된특성을평균화하여펄스형광 빔의스펙트럼특징의추정치를계산하는것을포함하여, 측정된특성을분석하며; 펄스형광 빔의추정된스펙트럼특징이스펙트럼특징의값의수락가능한범위내에있는지여부를결정하도록구성된다.
Abstract translation: 其中计量系统被配置为输出脉冲荧光束的路径中的多个空间分量，空间分量与脉冲荧光束相互作用并对应于脉冲荧光束的光谱分量; 多个用于接收和感测输出空间分量的感测区域; 还有一个控制系统连接到每个感应区域的输出。 该控制系统包括：对于每个检测区域输出，测量来自光学分频器的输出空间分量对于一个或多个脉冲的特性; 平均测量的特性以计算脉冲荧光光束的光谱特性的估计值; 并且确定脉冲荧光光束的估计光谱特性是否在光谱特性值的可接受范围内。
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公开(公告)号：KR1020160117418A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020167017281
申请日：2015-02-03
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/0294 , G01J3/18 , G01J3/1838 , G01J3/24 , G01J3/2803
Abstract: 분광기(1A)는, 분광유닛(2A, 2B, 2C)을구비한다. 분광유닛(2A)이가지는광 통과부(21A), 반사부(11A), 공통반사부(12), 분광부(40A) 및광 검출부(22A)는, Z축방향으로부터본 경우에, 기준선(RL1)을따라서늘어서있다. 분광유닛(2B)이가지는광 통과부(21B), 반사부(11B), 공통반사부(12), 분광부(40B) 및광 검출부(22B)는, Z축방향으로부터본 경우에, 기준선(RL2)을따라서늘어서있다. 분광유닛(2C)이가지는광 통과부(21C), 반사부(11C), 공통반사부(12), 분광부(40C) 및광 검출부(22C)는, Z축방향으로부터본 경우에, 기준선(RL3)을따라서늘어서있다. 기준선(RL1)은, 기준선(RL2, RL3)과교차하고있다.
Abstract translation: 光谱仪1A包括光谱单元2A，2B和2C。 沿Z轴方向观察时，分光单元2A中包括的光通过部分21A，反射部分11A，共同反射部分12，色散部分40A和光检测部分22A沿着参考线RL1布置。 在Z轴方向观察时，沿着基准线RL2配置分光单元2B所包含的光通过部21B，反射部11B，共用反射部12，色散部40B，光检测部22B。 沿Z轴方向观察时，分光单元2C中包括的光通过部分21C，反射部分11C，共同反射部分12，色散部分40C和光检测部分22C被布置在基准线RL3上。 参考线RL1，参考线RL2和参考线RL3彼此相交。
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公开(公告)号：KR1020160117417A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020167017143
申请日：2015-02-03
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/2803 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J2003/1852
Abstract: 분광기(1A)는, 스템(4) 및캡(5)을가지는패키지(2)와, 스템(4) 상에배치된광학유닛(10A)과, 스템(4)에광학유닛(10A)을고정하는리드핀(3)을구비한다. 광학유닛(10A)은, 캡(5)의광 입사부(6)로부터입사한광을분광함과아울러반사하는분광부(21)와, 분광부(21)에의해서분광됨과아울러반사된광을검출하는광 검출부(31)를가지는광 검출소자(30)와, 분광부(21)와광 검출소자(30)와의사이에공간이형성되도록광 검출소자(30)를지지하는지지체(40)와, 지지체(40)로부터돌출되며, 리드핀(3)이고정된돌출부(11)를가진다. 광학유닛(10A)은, 광학유닛(10A)과스템(4)과의접촉부에서, 스템(4)에대해서이동가능한상태로되어있다.
Abstract translation: 光谱仪1A包括具有杆4和盖5的封装2，设置在杆4上的光学单元10A和用于将光学单元10A固定到杆4的引导销3。光学单元10A包括分散部分 21，用于分散和反射从灯头5的光入射部分6进入的光;光检测元件30，具有用于检测由色散部分21分散和反射的光的光检测部分31;用于支撑光检测的支撑件40 元件30，使得在分散部分21和光检测元件30之间形成空间，以及从支撑件40突出的突起11，引脚3固定到突起11上。光学单元10A可相对于 在光学单元10A和杆4的接触部分中的杆4。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101557769B1
公开(公告)日：2015-10-19
申请号：KR1020140167214
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은복사조도측정장치및 그측정방법에관한것으로서, 더욱상세하게는, 전면에형성된개구부를통해측정대상광원으로부터입사되는빛의세기에따른전류신호를생성하는실리콘복사계와, 측정대상광원으로부터입사되는빛의파장을측정하는분광기를일체로구비하여, 제어부를통해입사광의파장에따른실리콘복사계의감응도에기반한연산과정을통해측정대상광원의복사조도를측정하도록구성함으로써, 단색기를이용한분광복사계등과같은고가의장비를사용하지않고도 LED(Light Emitting Diode)나 OLED(Organic Light Emitting Diode) 또는레이저램프(Laser Lamp) 등과같이통상의백열등이나형광등에비해상대적으로파장폭이좁은광원에대해서도저가(低價)의장비로간편하고정밀하게복사조도를측정할수 있는복사조도측정장치및 그측정방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种测量辐射度的装置和方法。 更具体地说，本发明通过计算步骤，通过计算步骤来测量测量目标光源的辐射度，该方法基于硅辐射计根据通过控制部分的入射光的波长的灵敏度，包括：硅辐射计根据 从测量对象光源通过前表面上的开口部发射的光的强度; 以及测量来自测量对象光源的光的波长的分光镜。 因此，即使当与灯泡或荧光管相比具有相对小的带宽的光源时，也可以使用低价格的装置来测量辐射度，而不需要诸如使用单色仪的光谱辐射计的高价格装置， 作为发光二极管（LED），测量有机发光二极管（OLED）或激光灯。
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公开(公告)号：KR1020140053948A
公开(公告)日：2014-05-08
申请号：KR1020147000593
申请日：2012-07-11
Applicant: 소니 주식회사
Inventor： 요코가와소조
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14621 , G01J3/0259 , G01J3/027 , G01J3/12 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01J2003/1213 , G01J2003/2806 , G01J2003/2816 , G01J2003/282 , G01J2003/2826 , G02B5/008 , G02B5/201 , H01L27/14629 , H04N5/332 , H04N5/374 , H04N5/378 , H04N9/07
Abstract: 본 기술은, 고감도이면서 높은 파장 분해능을 갖는 가시·근적외선용의 분광·촬상 디바이스를 실현하는 것이 가능하고, 공간 해상도가 높은 2차원 분광 매핑을 가능하게 하는 고체 촬상 소자 및 촬상 시스템을 제공할 수 있는 고체 촬상 소자 및 촬상 시스템에 관한 것이다. 2차원 화소 어레이와, 2차원 화소 어레이의 화소 영역에 대향하도록 배치되고, 검출하여야 할 파장보다도 짧은 주기적인 미세 패턴을 갖는 분광 기능을 구비한 복수종류의 필터를 가지며, 각 필터는, 2차원 화소 어레이의 각 화소의 광전 변환 소자보다도 크고, 인접하는 복수의 광전 변환 소자군에 대해 1종류의 필터가 배치되어 하나의 유닛을 형성하고, 복수종류의 필터는, 인접하는 유닛군에 대해 배치되어 필터 뱅크를 형성하고, 필터 뱅크가 2차원 화소 어레이의 화소 영역에 대향하도록, NxM유닛(단, N, M은 1 이상의 정수) 배치되어 있다.
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公开(公告)号：KR101389171B1
公开(公告)日：2014-04-24
申请号：KR1020127015975
申请日：2008-06-05
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 분광 모듈(1)은 본체부(2)가 판 형상이기 때문에, 본체부(2)의 박형화에 의해 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 본체부(2)가 판 형상이기 때문에, 예를 들어 웨이퍼 프로세스를 이용하여 분광 모듈(1)을 제조할 수 있다. 즉, 다수의 본체부(2)가 되는 유리 웨이퍼에 대해 매트릭스 형상으로 렌즈부(3), 회절층(4), 반사층(6) 및 광검출 소자(7)를 마련하고, 당해 유리 웨이퍼를 다이싱하는 것에 의해 분광 모듈(1)을 다수 제조할 수 있다. 이와 같이 하여, 분광 모듈(1)을 용이하게 대량 생산하는 것이 가능하게 된다.
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公开(公告)号：KR1020130100686A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020130012857
申请日：2013-02-05
Applicant: 소니 주식회사
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0213 , G01J3/0224 , G01J3/10 , G01J3/44 , G02B5/1814 , G02B27/0905 , G02B27/0927 , G02B27/0933
Abstract: PURPOSE: A spectrometric optical system and a spectrometer are provided to reduce the generation of interference patterns and speckles in both directions to long and short axes and to make the emission of lights from both directions to a screen uniform. CONSTITUTION: A spectrometric optical system (500) includes a reflective member (51), a diffraction grating (52), and an input device. The reflective member includes the concave plane along a first circle (C1). The diffraction grating includes an edge unit (52a) and is formed into a convex shape along a second circle concentric to the first circle. The lights reflected by the concave plane are incident into the diffraction grating. The input device is arranged at a predetermined position spaced from the reflective member and the diffraction grating so that the diffracted lights having a frequency domain more than 600 nm and less than 1100 nm pass through an interval between lights inputted into the spectrometric optical system and the edge unit.
Abstract translation: 目的：提供光谱光学系统和光谱仪，以减少长轴和短轴在两个方向上的干涉图案和斑点的产生，并使光从两个方向发射到屏幕均匀。 构成：光谱光学系统（500）包括反射构件（51），衍射光栅（52）和输入装置。 反射构件包括沿着第一圆（C1）的凹面。 衍射光栅包括边缘单元（52a），并且沿着与第一圆周同心的第二圆形形成凸形。 由凹面反射的光入射到衍射光栅中。 输入装置布置在与反射构件和衍射光栅间隔开的预定位置处，使得具有大于600nm且小于1100nm的频域的衍射光通过输入到光谱系统的光的间隔和 边缘单位。
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公开(公告)号：KR1020120103480A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：KR1020120023733
申请日：2012-03-08
Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤
IPC: G01J3/36
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0262 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: PURPOSE: A device and a method for measuring spectral characteristics are provided to stably measuring the spectral characteristics even when an environment is changed a lot. CONSTITUTION: A method for measuring spectral characteristics is as follows. As to a device for measuring spectrums, the light in a second wavelength range which is a part of a first wavelength range is incident(S100). The characteristic information showing stray light components is obtained from the part corresponding to the range except for the second wavelength range among a first spectrum(S102). The characteristic information is extrapolated until the second wavelength range among the first wavelength range(S124). A pattern showing the stray light components is obtained in the device for measuring the spectrums(S126). [Reference numerals] (AA) Obtaining a stray light pattern; (BB) Finish; (S100) Preparing incident light for obtaining a stray light spectrum; (S102) Obtaining a spectrum measured in a measuring machine; (S104) Obtaining the strength of a signal detected in the correction area of a photodetector; (S110) Forming a state that the light is blocked to the measuring machine; (S112) Obtaining a dark spectrum detected from the measuring machine; (S120) Reducing a dark spectrum from the measured spectrum; (S122) The interpolation is performed using the value of a short wavelength from a cutoff wave length; (S124) The extrapolation is performed using an approximation function; (S126) Obtaining a stray light pattern by standardizing a stray light spectrum
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量光谱特性的装置和方法，以便即使当环境发生很大变化时也能稳定地测量光谱特性。 构成：用于测量光谱特性的方法如下。 对于用于测量光谱的装置，入射了作为第一波长范围的一部分的第二波长范围的光（S100）。 显示杂散光分量的特征信息从对应于第一光谱中的第二波长范围之外的范围的部分获得（S102）。 特征信息被外推直到第一波长范围内的第二波长范围（S124）。 在用于测量光谱的装置中获得显示杂散光成分的图案（S126）。 （附图标记）（AA）获得杂散光图案; （BB）完成; （S100）准备入射光以获得杂散光谱; （S102）获取测定机中测定的光谱; （S104）获得在光电检测器的校正区域中检测到的信号的强度; （S110）形成光被阻挡到测量机的状态; （S112）获取从测量机检测到的暗谱; （S120）从测量光谱中减少暗谱; （S122）使用截止波长的短波长的值进行插值; （S124）外推使用近似函数进行; （S126）通过标准化杂散光谱获得杂散光图案
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