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公开(公告)号：CN110379690A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910567793.8
申请日：2019-06-27
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01J3/02
Abstract: 该发明属于一种采用射频激励场发射产生电子束的冷阴极电子枪。包括阴极腔体及座体，内导体及其阴极头、设于阴极头上的电子发射层，聚焦极、阳极及对应的支撑环、电源接头，上、下壳体，密封板，射频输入端口；该发明利用四分之一波长同轴谐振腔对电场的增强作用，通过谐振腔在阴极发射面上激励均匀的强电磁场，并利用电场均匀的内导体端面/阴极头发射面区域实现场致发射。该发明适用范围宽，可在真空度高于10-3Pa环境中工作，在输入百瓦量级射频功率时就能在阴极发射面产生107V/m以上的电场强度。因而，具有结构及生产工艺简单、体积小、使用寿命长，易于实现工业化生产，以及可广泛应用于发射电流大的真空电子器件且安全、可靠性高等特点。
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公开(公告)号：CN107078004B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201480083215.2
申请日：2014-11-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , G21K5/10
Abstract: 依据本公开内容，提供一种用于处理基板的带电粒子装置以及用于增加带电粒子装置的提取效率的方法。带电粒子装置包括壳体、狭缝开口以及第二电极。壳体提供第一电极，且具有后壁与前壁。狭缝开口位于壳体内。第二电极配置于壳体内且具有面向狭缝开口的第一侧。第二电极包括一个或多个束成形延伸件，所述束成形延伸件在朝向壳体的前壁的方向上，从第二电极凸出，用以引导带电粒子束通过狭缝开口。
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公开(公告)号：CN110137056A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910225312.5
申请日：2019-03-25
Applicant: 南华大学
Abstract: 悬浮加热式电子源组件，包括阴极管、发射体、热屏顶、热屏筒、多层热屏、热屏支撑、悬浮加热丝、加热丝支撑陶瓷、阴极顶和触持极。阴极管挤压安装在热屏支撑内，发射体位于阴极管和热屏顶之间，热屏顶中心设有圆形孔，多层热屏层叠设置于热屏筒与悬浮加热丝之间，阴极管出气端与发射体连接，加热丝支撑陶瓷挤压安装在阴极管上，悬浮加热丝一端焊接在热屏顶上、另一端顶在加热丝支撑陶瓷上。本发明结构简单，工艺参数控制方便，将悬浮加热丝直接悬浮于发射体外部，产生的热量直接作用于发射体表面，避免在阴极管和焊料上的热量损失，提高了加热效率；使阴极顶不直接接触发射体，降低阴极顶温度，有效延长电子源组件的预期使用寿命。
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公开(公告)号：CN106683957B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201710015766.0
申请日：2017-01-10
Applicant: 王殿儒
Inventor： 王殿儒
Abstract: 一种面板型电子束的气体放电电子枪和一种带材连续镀膜生产线，电子枪包括：阴极，用于发射电子，发射表面为沿纵向直线延伸的圆弧面，该表面的横向截交线均为相同的圆弧形；阳极，与阴极之间形成电场，并且，阴极和阳极构成一个气体异常辉光放电腔，以形成从阴极发射出的电子束；以及阴阳极绝缘件，设置于阴极和阳极之间，以使阴极和阳极之间绝缘，其中，阳极还包括面对阴极的喉孔，喉孔为与阴极的发射电子的表面相应的沿纵向延伸的狭长开口；从阴极发射出的电子束是横截面为矩形的面板型电子束，该面板型电子束穿过喉孔射出。本发明能够有效地拓展电子枪在工业领域的应用，本发明的带材连续镀膜生产线能够以一种新的生产方式大规模地给带材镀膜。
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公开(公告)号：CN109698102A
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710986115.6
申请日：2017-10-20
Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
Inventor： 李传
Abstract: 本发明揭示了一种电子枪，所述电子枪包括：枪体及电子抑制结构，所述枪体具有一发射端，所述电子抑制结构固设于所述发射端，并位于所述发射端的开口的径向外侧，所述电子抑制结构用于在所述电子枪使用时接地，所述枪体产生的电子束自所述发射端发射，所述电子抑制结构吸收所述电子束发射至目标后反弹的电子。于是，借助于所述电子抑制结构，有效改善了电子束经目标后反复反弹的状况，降低了对目标的影响。由此进行的掩膜版制备，可以有效降低电子束对掩膜版的影响，提高掩膜版的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109643626A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201680086125.8
申请日：2016-09-07
Applicant: 于利希研究中心有限责任公司
Inventor： 阿米尔·塔瓦比 , 鲁鹏翰 , 马夏尔·杜尚 , 拉法尔·杜宁-博尔科夫斯基 , 朱利奥·波齐
Abstract: 本发明涉及一种用于产生具有可调式轨道角动量的带电粒子束的装置。所述装置首先包括用于提供带电粒子束的一个或多个组件。所述装置的特征进一步在于用于在操作期间对带电粒子束给予可调式轨道角动量的电布置。通过调整电流的量，所生成的带电粒子涡旋束的轨道角动量是可调的。通过使电流的方向反转，所生成的带电粒子涡旋束的手性是可切换的。通过本发明的带电粒子涡旋束的产生不依赖于带电粒子束的能量。通过本发明的带电粒子涡旋束的产生是可预测的且可再现的。
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公开(公告)号：CN109599311A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710920120.7
申请日：2017-09-30
Applicant: 惠州市奥普康真空科技有限公司
Inventor： 苗丁
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明揭示一种电子束光斑及电子束束流的控制方法，包括如下步骤：步骤A：摇杆电位器、控制单片机以及高压电源柜依次连接，其中摇杆电位器的X轴电位器、Y轴电位器及Z轴电位器分别连接控制单片机的AD口，按钮连接控制单片机的IO口；步骤B：控制单片机通过IO口获取开按钮的开关信号；步骤C：控制单片机通过AD口获取X轴、Y轴以及Z轴电位器滑动端的电压；步骤D：控制单片机结合步骤B中的开关信号和步骤C中采集的电压，转换成对应的控制变量并输送至高压电源柜；步骤E：高压电源柜根据控制变量控制光斑的移动和尺寸变化以及束流变化。本发明的控制方法只需操作摇杆电位器即可控制光斑的位置、尺寸以及束流大小，操作简单直观。
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公开(公告)号：CN107591301B
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201710662978.8
申请日：2017-08-04
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明涉及等离子体阴极电子枪的技术领域，公开了一种新型等离子体阴极实心注电子枪，包括依次同轴连接且呈圆筒体状的等离子体阴极腔、中间腔以及阳极腔，所述等离子体阴极腔内同轴连接有放电电极，等离子体阴极腔的一端设有观察窗，等离子体阴极腔的另一端与中间腔之间设有阴极；所述阳极腔的一端与中间腔之间同轴连接有调制电极，另一端同轴连接有阳极且阳极的外部环绕有磁聚焦线圈；所述阳极腔内同轴连接有聚焦极；所述放电电极、阴极、调制电极、聚焦极以及阳极分别连接有电源，等离子体阴极腔连通有真空系统，解决了正离子对阴极的轰击破坏较大、输出电流密度较低以及场致发射电子枪因阴阳极间隙中等离子体闭合而导致脉冲宽度较小的问题。
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公开(公告)号：CN109196618A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780033988.3
申请日：2017-05-30
Applicant: 阿卡姆股份公司
Inventor： C.埃克伯格
IPC: H01J37/305 , B29C64/153 , H01J3/02 , H01J37/063 , H01J37/065
Abstract: 提供了一种用于通过接连地沉积粉末材料的单独层来形成三维物品的方法，所述粉末材料的单独层被熔融在一起以便形成物品，所述方法包括如下步骤：提供至少一个电子射束源，所述电子射束源发射电子射束以用于对粉末材料进行加热或熔融中的至少一个，其中所述电子射束源包括阴极、阳极、以及在阴极和阳极之间的维纳尔杯；在维纳尔杯与阳极之间并且紧密靠近于维纳尔杯地提供护环，其中所述护环具有比维纳尔杯的孔径更大的孔径；通过为护环提供比维纳尔杯和阴极更高的负电位，当形成三维物品时，保护阴极和/或维纳尔杯免受真空弧放电能量电流。
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公开(公告)号：CN109065421A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810892313.0
申请日：2018-08-07
Applicant: 核工业理化工程研究院 , 沈阳腾鳌真空技术有限公司
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明公开了一种内置水路式电子枪枪体及冷却方法，所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体，以及对应设置在主腔体尾端的过渡板，所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口，在所述的主腔体上形成有主水道，所述的过渡板上形成有将所述的主腔体水道对应连通以构成完整单循环流路的端水道。本发明抛弃了双层水套结构，采用外方内圆形电子枪枪体结构，通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道，避免了冷却死角，提高了冷却效果；采用外钻孔结构，实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝，避免了漏水的安全隐患；采用小孔封堵的焊接形式，焊缝创伤小，电子枪枪体的热应力形变小；电子枪枪体外形可进行二次机械精加工，可满足高精度的安装定位需求。
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