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公开(公告)号：CN105590816A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201610074263.6
申请日：2016-02-02
IPC: H01J3/02
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 本发明公开了一种冷阴极大功率电子束枪，特点是包括从上至下依次设置的电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，电极接入组件通过绝缘套与气体电离组件密封固定，气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件依次密封固定，电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件上均设置有水冷机构；优点是由于设置有使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，在工作过程中通过偏转线圈使出射电子束流发生偏转，从根本上避免了加热物料热辐射对冷阴极及气体电离室的干扰和影响，消除了飞溅物、烟气、灰尘等细微颗粒的意外放电，大大增加了冷阴极电子束枪的工作稳定性。
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公开(公告)号：CN101414125B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN200810166460.6
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414536A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166463.X
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN1329942C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200410010490.X
申请日：2004-12-27
Applicant: 三星SDI株式会社
Inventor： 黄成渊
CPC classification number: H01J3/02 , H01J29/94 , H01J31/127
Abstract: 本发明公开了具有虚拟电极的电子发射器件及其制造方法。除用于发射电子的电极之外，该电子发射器件还具有各种功能性电极。电子发射器件包括互相面对的第一和第二衬底；在有效电子发射区内的第一衬底上设置的阴极电极，其接收扫描和数据信号中的一个；通过绝缘层与阴极电极绝缘的栅极电极，其接收所述扫描和数据信号中的另一个。电子发射区与阴极电极电连接。至少一个虚拟电极设置在该有效电子发射区外部，其接收所述扫描和数据信号中的一个。至少一个阳极电极形成在第二衬底上。荧光层形成在阳极电极的任一表面上。
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公开(公告)号：CN1638006A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN200410010490.X
申请日：2004-12-27
Applicant: 三星SDI株式会社
Inventor： 黄成渊
CPC classification number: H01J3/02 , H01J29/94 , H01J31/127
Abstract: 本发明公开了具有虚拟电极的电子发射器件及其制造方法。除用于发射电子的电极之外，该电子发射器件还具有各种功能性电极。电子发射器件包括互相面对的第一和第二衬底，以及在插入绝缘层的同时在有效电子发射区内的第一衬底上设置的阴极电极和栅极电极。电子发射区与阴极电极电连接。至少一个虚拟电极设置在该有效电子发射区外部。至少一个阳极电极形成在第二衬底上。荧光层形成在阳极电极的任一表面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1093686C
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN96196532.0
申请日：1996-02-23
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01J31/12
CPC classification number: B41J2/4476 , G09G1/20 , G09G3/22 , H01J3/02 , H01J3/24 , H01J29/46 , H01J29/68 , H01J2329/00
Abstract: 一个显示系统包括一个含有显示元件矩阵的显示屏和一个里面开有管道阵列的永磁铁。每一管道与不同的显示元件相对应。每个显示元件包括一个磷靶、一个电子源以及控制电子流的装置，电子流从源出来，经过磁铁中对应的管道，到达靶上。寻址装置包括构成一个栅的第一导线与正交的第二导线。每个显示元件位于不同的一对第一导线与第二导线的交点。每个第一导线连接到一排显示元件中每个显示元件的控制装置的第一控制电极，每个第二导线连接到一排显示元件中每个显示元件的控制装置的第二控制电极。
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公开(公告)号：CN107665798A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610612228.5
申请日：2016-07-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积均匀面电子源，它包括紫外光源，光刻钢网，紫外光源外壳，第一金阴极夹具组件，第一MCP夹具组件，第二金阴极夹具组件，金阴极，MCP，第二MCP夹具组件，第三MCP夹具组件，MCP夹具与金阴极夹具连接件。本发明的面电子源采用金阴极作为光电转换部件，使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件，使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照，通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。这种结构的面电子源使我们可以得到均匀的面电流。
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公开(公告)号：CN106601573A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710060856.1
申请日：2017-01-25
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提供一种电磁辐射源，利用电子枪产生环形电子注，利用靠近电子枪一侧的第一光栅使所述电子枪产生的环形电子注产生预群聚，利用靠近与电子枪对应的收集极一侧的第二光栅使群聚的电子团产生相干的特异史密斯‑帕赛尔(Smith‑Purcell)辐射，辐射频率为电子团群聚频率的5到6倍，该辐射频率在太赫兹频段，特异史密斯‑帕赛尔辐射的电磁辐射强度比普通史密斯‑帕赛尔辐射强度高一到两个数量级，因而利用该方法能够产生具有高辐射频率和高辐射强度的太赫兹频段的电磁波。
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公开(公告)号：CN102576187A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080046103.1
申请日：2010-10-12
Applicant: 希乐克公司
Inventor： M·梅多夫
CPC classification number: G06K5/02 , B32B29/002 , B32B2262/0276 , B32B2554/00 , C08B15/00 , C08J7/123 , C12M45/00 , C12M45/06 , C12P19/00 , D21H21/48 , D21H25/04 , G01N33/346 , G01N2223/1013 , G01N2223/102 , G03C11/02 , G06K5/00 , G21K5/00 , H01J3/02 , H01J3/04
Abstract: 提供了标记纸产品的方法和标记纸产品。一些方法包括照射纸产品以改变纸的官能化。
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