阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

    平行多束电子枪
    253.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108400075A

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201810065973.1

    申请日:2018-01-22

    CPC classification number: H01J3/02 H01J29/503

    Abstract: 本发明公开了平行多束电子枪,它由阴极、聚焦极、阳极、聚焦系统和收集极组成。其中阴极上设计多个发射面,且呈均匀平行排列,发射面的形状可以为圆形、矩形或椭圆形;在聚焦极、阳极和聚焦磁场的共同作用下,阴极面发射的多电子注能够平行传输到收集极。此电子枪属于电真空领域,采用此电子枪结构可以有效解决单根电子束电流密度足够高的问题,将对发展毫米波、亚毫米波或太赫兹波电真空器件有极其重要的促进作用。

    一种场发射阴极电子源
    254.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104078294B

    公开(公告)日:2018-02-27

    申请号:CN201310100704.1

    申请日:2013-03-26

    Inventor: 徐一鸣 章健

    Abstract: 本发明提供一种场发射阴极电子源,包括阴极、栅极和阳极,所述阴极包括衬底和衬底上的场发射材料,所述栅极置于所述场发射材料的侧面,绝缘体分布于所述栅极的周围,所述绝缘体与所述场发射材料之间有间隙。本设计使电子源在不增加栅极电压、不拉近栅极距离以及不减小栅极网丝厚度的情况下,阴极表面获得更高的电场,提高场发射电流密度,同时保证了电子源的稳定性和寿命。

    一种产生电子束的方法
    255.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107633986A

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201710814676.8

    申请日:2017-08-25

    Abstract: 本发明涉及等离子体放电领域的一种产生电子束的方法,空心阴极通入氢气或氩气;电子枪通入氮气;空心阴极气压达到特定值时,在阳极盘与空心阴极之间施加电压,空心阴极上施加负压,从-2kV逐渐增加到-55kV,使得阳极盘与空心阴极之间产生击穿;并在空心阴极和浮地阳极之间产生连续的击穿,从而产生更多放电电子;调整触发模块与发射管外侧出口距离,以达到特定的触发击穿条件,在触发模块的指形触点电极与金属电极盘之间施加电势差为0到-3kV时,触发模块也发射出初始电子;漂移区域施加高电场,所述初始电子与步骤四中产生的放电电子一起加速并进入漂移区域,与中性气体原子碰撞;调节漂移区域内中性气体气压,使电子束达到不同聚焦效果。

    一种电子枪灯丝的制作方法

    公开(公告)号:CN107068514A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710254430.X

    申请日:2017-04-18

    CPC classification number: H01J3/027 H01J3/024 H01J9/042 H01J2209/02

    Abstract: 本发明公开了一种电子枪灯丝的制作方法,所述方法包括以下步骤:首先制备掺杂钨粉,通过还原仲钨酸铵5(NH4)2O·12WO3·5H2O获得蓝色氧化钨WO2.9,往蓝色氧化钨中加入适量Si,Al,K和Co等微量掺杂剂,对掺杂后的氧化钨进行还原获得不同粒径的掺杂钨粉;然后烧结掺杂钨坯条,对钨粉进行酸洗,压坯,烧结成具有金属特性的耐高温钨坯条;最后塑性加工制备耐高温掺杂钨丝,通过旋锻、拉伸和中间退火获得耐高温钨丝,并通过压力作用制得成品灯丝;本发明的电子枪灯丝的制作方法,消除钨丝表面的应力,减少钨丝裂纹的产生;提高了钨丝的耐高温性能,改善钨丝的高温抗下垂性能,降低了生产成本。

    电子枪以及具有该电子枪的X射线光源与CT设备

    公开(公告)号:CN106531592A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201611247743.4

    申请日:2016-12-29

    CPC classification number: H01J3/028 H01J3/027 H01J3/024

    Abstract: 本发明提出一种电子枪以及具有该电子枪的X射线光源与CT设备,电子枪包括结构主体、阴极、栅网、补偿电极及聚焦电极;所述结构主体具有相对的第一端和第二端,所述第一端为连接端,所述结构主体内形成一内腔,所述内腔的开口位于所述第二端,所述阴极、栅网、补偿电极及聚焦电极沿着由第一端到第二端的方向依次设置于所述内腔中。本发明的电子枪,将阴极、栅网、补偿电极及聚焦电极安装在结构主体的内腔之中,可以将电子枪整体安装于X射线光源上,使得电子枪的结构更加简单,安装方便,能够快速的对电子枪进行安装或更换。

    一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室

    公开(公告)号:CN106231713A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610822949.9

    申请日:2016-08-27

    Abstract: 本发明在于提供一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室,以解决稳定电子束偏转,实现精准聚焦扫描的问题。本发明的思路是通过在电子枪室安装氩气流量控制阀,向电子束枪室内充入氩气,并适度控制充入氩气的流量,氩气在高压电场的作用下电离产生正电荷,这样和逸出的电子中和,从而达到稳定电子束偏转,实现精准聚焦扫描。本发明解决了电子束发生漂移问题的同时,熔炼有效功率也得以充分发挥,而且电子束扫描精准、轨迹清晰,铸锭的质量稳定优良。此外,本发明电子束聚焦精准扫描,熔炼有效功率也得到了充分发挥,使得电子枪的使用寿命显著延长。

    一种智能电子枪
    260.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106206210A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610774376.7

    申请日:2016-08-31

    Inventor: 张科 王琳 翟培件

    CPC classification number: H01J3/024 H01J3/027 H01J3/07

    Abstract: 本发明涉及电子枪技术领域,尤其涉及一种智能电子枪,包括电子阴极枪、加速引导装置、聚焦装置以及壳体,所述电子阴极枪包括保持部和发射端,所述保持部用于对所述发射端进行保持,所述加速引导装置用于控制加速电子的数量和速度,所述聚焦装置用于对加速电子进行约束,使得结构简单,使用方便。

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