웨이퍼 레벨 분광기
    263.
    发明公开
    웨이퍼 레벨 분광기 审中-实审
    WAFER LEVEL SPECTROMETER

    公开(公告)号:KR1020140044863A

    公开(公告)日:2014-04-15

    申请号:KR1020147001381

    申请日:2012-06-12

    Abstract: 광학 방사선의 특성을 측정하는 센서 장치는 기판, 및 하나 이상의 공간적으로 분리된 위치에서 기판 내에 위치되는 로우 프로파일 스펙트럼 선택적 검출 시스템을 갖는다. 스펙트럼 선택적 검출 시스템은 광학 검출기의 대응하는 어레이에 광학적으로 결합되는 파장 선택기의 일반적인 래머너 어레이를 포함한다. 본 요약은 검색자 또는 다른 독자가 신속하게 기술 발명의 주제를 확인하게 할 요약을 요구하는 규정을 준수하기 위해 제공된다는 것이 강조된다. 이것은 청구항의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하는데 사용되지 않을 것이라는 이해와 함께 제출된다.

    레이저 특성화 처리 시스템 및 방법
    264.
    发明公开
    레이저 특성화 처리 시스템 및 방법 无效
    激光特性系统与工艺

    公开(公告)号:KR1020130121896A

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:KR1020137016836

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼로부터 분리되는 반도체 바 상의 복수의 외부 캐비티 반도체 레이저 칩들을 자동으로 특성화 처리하는 시스템 및 방법에 관한 것이다. 상기 시스템은 회절 각도 범위를 통해 회절 격자를 회전시키는 회전 스테이지 상에 장착된 회절 격자; 회절 격자의 표면과 수직으로 배향되고 회전 스테이지 상에 장착된 조정 미러; 레이저 분석기; 및 레이저 바 위치 선정 스테이지를 포함한다. 위치 선정 스테이지는 상기 스테이지 상의 레이저 바의 레이저 칩 각각을 한번에 한 칩씩 회절 격자와 정렬시키기 위해 자동으로 이동하고, 그 결과, 레이저 바의 레이저 칩으로부터 발광된 레이저 빔의 일부는 레이저 방출을 잠그기 위해 격자의 제 1 차 회절에 의해 동일한 레이저 칩으로 다시 반사되고, 조정 미러에 의해 반사된 나머지 레이저 빔은 레이저 분석기에 의해 수신되고 특성화 처리된다. 각각의 레이저 운송에 있어서, 회전 스테이지는 레이저 칩에 의해 방출된 레이저 빔에 대해 회절 각도 범위를 통하여 회절 격자를 회전시키기 위해 자동으로 회전되고, 레이저 분석기는 스펙트럼, 파워 또는 공간 모드 등의 레이저 광학 속성을 각각의 회절 각도에서 자동으로 특성화 처리한다.

    조명 광학계, 분광 측정용 광조사 장치 및 분광 측정 장치
    265.
    发明公开
    조명 광학계, 분광 측정용 광조사 장치 및 분광 측정 장치 审中-实审
    照明光学系统,光谱仪和光谱仪的光照射装置

    公开(公告)号:KR1020130100693A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:KR1020130018507

    申请日:2013-02-21

    Abstract: PURPOSE: An illuminating optical system, a light radiation device for measuring a spectrum, and a spectrum measurement device thereof are provided to control the occurrence of interference fringe. CONSTITUTION: An illuminating optical system (100) comprises a laser diode (11), a collimator lens (13), a pitching element (10), an integrator lens (15), and a condensing lens (17). The pitching element changes an incidence angle of a laser ray by collecting the laser ray emitted from the laser diode in the integrator lens. The condensing lens collects light emitted from the pitching element. The integrator element comprises a first integrator element and a second integrator element. The second integrator element receives the laser ray radiated from the first integrator element.

    Abstract translation: 目的:提供照明光学系统,用于测量光谱的光辐射装置及其光谱测量装置,以控制干涉条纹的发生。 构成:照明光学系统(100)包括激光二极管(11),准直透镜(13),俯仰元件(10),积分透镜(15)和聚光透镜(17)。 俯仰元件通过收集从积分透镜中的激光二极管发射的激光射线来改变激光射线的入射角。 聚光透镜收集从俯仰元件发出的光。 积分器元件包括第一积分器元件和第二积分器元件。 第二积分器元件接收从第一积分器元件辐射的激光束。

    분광기
    266.
    发明公开
    분광기 无效
    光谱仪

    公开(公告)号:KR1020100018742A

    公开(公告)日:2010-02-18

    申请号:KR1020080077387

    申请日:2008-08-07

    Inventor: 이순종 우봉주

    Abstract: PURPOSE: A spectrometer is provided to precisely detect inner temperature and pressure magnetic field intensity and discover chemical components of unknown materials without installing a separate device. CONSTITUTION: A spectrometer(300) comprises an inlet slit(11), a collimating mirror(12), a grating part(13), a focusing mirror(14), and a light-collecting part(15). The light-collecting part is moved forward and backward by a drive part. The slope and the angle of the light-collecting part are controlled by the drive part. The light-collecting part condenses light from different angles by changing incident angles of several light emission spectrums.

    Abstract translation: 目的:提供光谱仪,以精确检测内部温度和压力的磁场强度,并发现未知材料的化学成分,而无需安装单独的设备。 构成:光谱仪(300)包括入口狭缝(11),准直镜(12),光栅部分(13),聚焦镜(14)和聚光部分(15)。 集光部通过驱动部向前后移动。 集光部的倾斜角度和角度由驱动部控制。 聚光部分通过改变若干发光光谱的入射角来聚光来自不同角度的光。

    체내 성분 측정용 비침습 프로브 및 이를 포함하는비침습적 체내 성분 측정 시스템
    267.
    发明公开
    체내 성분 측정용 비침습 프로브 및 이를 포함하는비침습적 체내 성분 측정 시스템 有权
    用于至少测量身体液体和包括其中的体系的非侵入性探针

    公开(公告)号:KR1020090020923A

    公开(公告)日:2009-02-27

    申请号:KR1020070085563

    申请日:2007-08-24

    Abstract: A noninvasive probe for measuring bodily component and a noninvasive measuring system comprising the same are provided to obtain a plurality of Raman spectrums by instantaneously irradiating lights on a plurality of measuring points. A input light transmitting unit(140) transmits an input light emitted from one light source. A light dividing unit(125) divides the input light from the input light transmitting unit into a plurality of bodily input lights. A condensing unit(130) condenses the bodily input lights so as to irradiate a plurality of bodily input lights onto different bodily measuring points. A light filtering unit(135) filters optical component of the same wavelength band as that of the input light. An output light transmitting unit(145) transmits output lights into a spectrometer which classifies output lights as its wavelength.

    Abstract translation: 提供了用于测量身体部件的非侵入性探针和包括该非侵入性测量系统的非侵入式测量系统,以通过在多个测量点上瞬时照射光来获得多个拉曼光谱。 输入光发送单元(140)发送从一个光源发射的输入光。 光分割单元(125)将来自输入光发射单元的输入光分成多个身体输入光。 冷凝单元(130)冷凝身体输入光,以将多个身体输入光照射到不同的身体测量点上。 滤光单元(135)对与输入光的波长带相同的波长带的光学部件进行滤波。 输出光发射单元(145)将输出光传输到将输出光分类为其波长的光谱仪中。

    진공 자외선 참조 반사율계
    268.
    发明公开
    진공 자외선 참조 반사율계 有权
    真空超声波参考反射计

    公开(公告)号:KR1020070001051A

    公开(公告)日:2007-01-03

    申请号:KR1020067005681

    申请日:2004-09-21

    Abstract: A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007

    Abstract translation: 提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统(500)。 更具体地,提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。 为了确保精确和可重复的测量,控制光路(506,508)的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。 为了考虑可能仍然发生的吸收效应,光路的长度被最小化。 为了进一步考虑吸收效应,反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO&WIPO 2007

    물체의 칼로리 측정방법 및 물체의 칼로리 측정장치
    269.
    发明公开
    물체의 칼로리 측정방법 및 물체의 칼로리 측정장치 有权
    测量目标物体的方法和测量物体的测量装置

    公开(公告)号:KR1020060122941A

    公开(公告)日:2006-11-30

    申请号:KR1020067017691

    申请日:2005-03-10

    Abstract: Near-IR rays are used to be able to measure calorie, thereby measuring the calorie of an object easily and in a short time by a non-destructive method. A calorie measuring device comprising an object holding unit (1) having a table (2) on which to mount an object (M) to be examined, a light source unit (20) irradiating the object (M) on the table (2) with a near-IR-region ray, a light reception unit (30) receiving a reflection light or transmitted light from the object (M), and a control unit (40) calculating the calorie of the object (M) based on the absorbance of light received by the reception unit (30), wherein the control unit (40) computes the calorie of the object (M) from a regression expression calculated by a quadratic differential spectrum multiple regression analysis at the absorbance of a near-IR ray applied in advance to and reflected off or passed through a calorie-known sample object (M) and from the absorbance of light received by the reception unit (30).

    Abstract translation: 近红外光线被用于能够测量卡路里,从而通过非破坏性方法在短时间内容易地测量物体的热量。 一种卡路里测量装置,包括:具有用于安装待检查物体(M)的台(2)的物体保持单元(1),在所述台(2)上照射所述物体(M)的光源单元(20) 具有近红外区域射线,接收来自物体(M)的反射光或透射光的光接收单元(30),以及基于吸光度计算物体(M)的热量的控制单元(40) 由所述接收部(30)接收的光,其中,所述控制部(40)根据通过二次微分光谱多项回归分析计算出的回归表达式计算所述物体(M)的热量 预先通过卡路里知道的样品物体(M)和从接收单元(30)接收的光的吸光度反射或反射。

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