Spatially precise optical treatment or measurement of targets through intervening birefringent layers
    261.
    发明申请
    Spatially precise optical treatment or measurement of targets through intervening birefringent layers 失效
    空间精确的光学处理或通过中间双折射层测量目标

    公开(公告)号:US20100045983A1

    公开(公告)日:2010-02-25

    申请号:US12196455

    申请日:2008-08-22

    Applicant: Fang Huang

    Inventor: Fang Huang

    CPC classification number: G01N21/23 G01N2021/214 G01N2201/0683

    Abstract: A treatment pattern (such as a focused spot, an image, or an interferogram) projected on a treatment target may lose precision if the treatment beam must pass through a birefringent layer before reaching the target. In the general case, the birefringent layer splits the treatment beam into ordinary and extraordinary components, which propagate in different directions and form two patterns, displaced from each other, at the target layer. The degree of birefringence and the orientation of the optic axis, which influence the amount of displacement, often vary between workpieces or between loci on the same workpiece. This invention measures the orientation of the optic axis and uses the data to adjust the treatment beam incidence direction, the treatment beam polarization, or both to superpose the ordinary and extraordinary components into a single treatment pattern at the target, preventing the birefringent layer from causing the pattern to be blurred or doubled.

    Abstract translation: 投影在治疗对象上的治疗方式(例如聚焦点,图像,或干涉图)如果在到达目标物体之前必须通过双折射层,则可能失去精度。 在一般情况下,双折射层将处理束分裂成普通和非凡的分量,其在不同方向上传播并在目标层处形成两个相互置换的图案。 影响位移量的光轴的双折射度和取向通常在工件之间或同一工件上的轨迹之间变化。 本发明测量光轴的取向,并使用该数据来调整治疗光束入射方向,治疗束偏振或两者以将普通和非凡成分叠加成靶上的单一处理图案,防止双折射层引起 模式被模糊或加倍。

    偏光分析装置
    268.
    发明专利
    偏光分析装置 审中-公开

    公开(公告)号:JPWO2015174332A1

    公开(公告)日:2017-04-20

    申请号:JP2016519229

    申请日:2015-05-08

    Abstract: 励起光源10は、測定対象の試料2に励起光4を照射する。イメージセンサ20は、1次元または2次元に配列された複数の画素22を含み、励起光4に応答して試料2から発せられる測定光6を受ける。偏光選択素子30は、試料2とイメージセンサ20の間に挿入され、1次元または2次元に配列された複数の画素32を含む。各画素32は、測定光6の対応する部分を受け、当該画素32に印加される駆動信号S1に応じた偏光方向を有する測定光を選択し、イメージセンサ20に供給するように構成される。測定制御部40は、偏光選択素子30の各画素32に、第1周期T1を有する周期的な駆動信号S1を与えるとともに、第1周期T1を4つの露光時間T2=T1/4に区分し、各露光時間においてイメージセンサ20の各画素22から得られるデータI1、I2、I3、I4を取得する。

    検出装置
    269.
    发明专利
    検出装置 有权
    检测装置

    公开(公告)号:JPWO2015029352A1

    公开(公告)日:2017-03-02

    申请号:JP2015509658

    申请日:2014-08-08

    Inventor: 建治 鳴海

    CPC classification number: G01N21/648 G01N2201/06113 G01N2201/0683

    Abstract: 本出願は、励起光を出射する光源と、検体が収容された収容部と、前記励起光を受け、前記検体を照らすエバネセント光を生じさせる金属膜と、前記金属膜への前記励起光の入射角を調整する変調部と、前記変調部を駆動する駆動信号を生成する駆動部と、前記エバネセント光の照射を受けて前記検体から生じた蛍光の強度に応じた蛍光信号を出力する検出部と、前記蛍光信号から前記検体由来の信号成分を抽出する抽出部と、を備える検出装置を開示する。前記入射角は、前記駆動信号の変化に応じて変化する。前記抽出部は、前記駆動信号の前記変化に同期して変化する同期信号成分を、前記信号成分として抽出する。

    Abstract translation: 本申请包括用于发射激发光的光源,以及含有该样品中,在接收到的激发光的壳体部分,一个金属膜,以使瞬逝光来照射试样,激发光的入射到金属膜 用于调节角度的调制器,和用于产生驱动信号,用于驱动调制器部分,用于通过所述瞬逝光的照射输出对应于从试样产生的荧光的强度的荧光信号检测部的驱动器 公开了一种检测设备,包括,用于提取从所述荧光信号的样本得到的信号分量提取单元。 入射角是根据在驱动信号的变化而变化。 提取单元,同步信号分量同步于驱动信号的变化而变化被提取为信号分量。

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