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    용융 실리카에서 레이저-유도 압축을 결정하는 방법
    271.
    发明公开
    용융 실리카에서 레이저-유도 압축을 결정하는 방법 无效
    用于确定熔融二氧化硅中激光诱导电荷的方法

    公开(公告)号：KR1020000035913A

    公开(公告)日：2000-06-26

    申请号：KR1019997001649

    申请日：1997-08-27

    Applicant: 코닝 인코포레이티드

    Inventor： 스미스,칼렌마리 ,  스워드,토마스필립111 ,  보렐리,니콜라스프란시스 ,  포웰,윌리암,알. ,  알란,더글라스,씨.

    IPC: C03C3/06

    CPC classification number: G03F7/70958 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2207/32 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/50 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70216 ,  Y10S65/13

    Abstract: PURPOSE: Provided is a fused silica having low compaction under high energy irradiation, particularly adaptable for use in photo lithography applications. CONSTITUTION: The method for producing fused silica glass stepper lens comprises the following steps of: (a) designing the lens by: (1) determining the intrinsic densification, (delta ρ/ρ)ρ of a sample geometry of the fused silica; (2) determining the optical path difference delta(nl) of the fused silica glass at the dose: and (3) calculating the densification, (delta ρ/ρ) of the fused silica glass from the values determined in steps(a) (1) and (2); and (b) producing the stepper lens designed in step(a). The method is characterized by exhibiting low compaction when exposed to high intensity exciter radiation of a given dose NI2, where N is the number of pulses, and I is the fluence per pulse.

    Abstract translation: 目的：提供在高能量照射下具有低压实性的熔融二氧化硅，特别适用于光刻应用。 构成：熔融石英玻璃步进透镜的制造方法包括以下步骤：（a）通过以下步骤设计透镜：（1）确定熔融二氧化硅的样品几何形状的固有致密化（Δρ/ρ）ρ; （2）以剂量确定熔融石英玻璃的光程差Δ（nl）;和（3）从步骤（a）中确定的值（3）计算熔融石英玻璃的致密化（Δρ/ρ） 1）和（2）; 和（b）制造步骤（a）中设计的步进透镜。 该方法的特征在于暴露于给定剂量NI2的高强度激发剂辐射下的低压实性，其中N是脉冲数，I是每脉冲的通量。

    홍연석함유 석영유리, 그 제조방법 및 이로부터 제조된석영유리지그
    272.
    发明授权
    홍연석함유 석영유리, 그 제조방법 및 이로부터 제조된석영유리지그 失效
    硅胶玻璃

    公开(公告)号：KR100197471B1

    公开(公告)日：1999-06-15

    申请号：KR1019960005113

    申请日：1996-02-28

    Applicant: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤

    Inventor： 교이찌이나끼 ,  토루세가와 ,  노부마사요시다 ,  마모루엔도

    IPC: C03B20/00

    CPC classification number: C03C14/004 ,  C03B20/00 ,  C03B32/02 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/80 ,  C03C2214/20 ,  C03C2214/30

    Abstract: 본 발명의 목적은 고순도, 고내열성, 큰 열팽창계수 및 낮은 광투과도를 갖는 석영유리 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
    본 발명의 다른 목적은 상부에 증착피막을 갖는 석영유리지그를 제공하는 것이다.
    홍연석-함유 석영유리가 제공되며, 석영유리 기질내에 작은 구형이나 작은 둥근 모서리 혹은 예리한 모서리의 3차원 영역 형태의 α-홍연석이 분산되어 있으며, 그 α-홍연석 구형 또는 영역 각각의 직경은 01.㎛∼1000㎛이며, 그 함량은 최소 10중량％이다.
    상기 홍연석 함유 석영유리는 용융점이 20℃이상 차이가 난다.
    2가지 이상의 결정질 이산화규소 파우더를 그 중 가장 높은 융점을 갖는 이산화규소의 량이 10-80중량％되게 혼합한 후, 혼합물중 가장 낮은 융점과 가장 높은 융점보다 낮은 온도사이의 온도로 가열함으로써 제조된다.
    이같은 홍연석-함유 석영유리로된 석영유리지그가 제공되며, 그 지그표면은 플라즈마 에칭에 대하여 저항성이 큰 증착박막이 입혀져 있으며, 그 박막은 석영유리의 열팽창 계수와 거의 같은 열팽창 계수를 갖는 물질로 이루어져 있어 가열시 입자가 발생하여 실리콘 웨이퍼를 오염시킬 염려가 없게 된다.

    능동 광섬유
    273.
    发明公开
    능동 광섬유 审中-实审
    有源光纤

    公开(公告)号：KR1020170138995A

    公开(公告)日：2017-12-18

    申请号：KR1020177025023

    申请日：2016-02-08

    Applicant: 커먼웰스 오브 오스트레일리아 레프리젠티드 바이 디파트먼트 오브 디펜스, 디펜스 사이언스 앤드 테크놀로지 오가니제이션

    Inventor： 다니엘제이 ,  클락슨앤드류더블유. ,  시마콥니키타

    IPC: G02B6/02 ,  G02B6/036 ,  C03C25/42 ,  C03C3/04 ,  H01S3/067

    CPC classification number: H01S3/0405 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C25/1063 ,  C03C25/42 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/3488 ,  G02B6/02395 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03694 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06733 ,  H01S3/094003

    Abstract: 본발명은코어, 상기코어를실질적으로둘러싼내부클래딩으로서, 상기코어와상기내부클래딩이펌프방사선을전파하는형태의구역을형성하는내부클래딩, 상기내부클래딩을실질적으로둘러싼, 하나이상의제3 굴절률을갖는하나이상의제3 물질로구성된외부클래딩으로서, 상기제3 굴절률이상기제2 굴절률보다작고, 상기외부클래딩이상기코어와상기내부클래딩까지펌프방사선을한정하는, 외부클래딩, 및상기외부클래딩을실질적으로둘러싼, 열전도성물질로구성된피막을포함하는능동광섬유로서, 상기내부클래딩이상기펌프방사선이능동광섬유의길이를통하여전파됨에따라상기펌프방사선의흡수에대한공간홀 연소의영향을감소시키는형태이고, 상기피막의열 전도성물질이상기구역과상기피막의외부표면사이에서감소된온도상승을지지하는, 능동광섬유에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明是一个核心，包围在一个基本上，芯的芯和内包层的内侧包层，以形成区的形状的内包层传播的泵浦辐射，基本上环绕所述内包层，一个或多个第三折射率 的外包层由至少一个第三物质的具有第三折射率至少比基体2，折射率，所述外包层相移器芯并限定泵浦辐射对于内包层，外包层，更小，基本上由所述外部包层包围 作为活性光纤，包括涂层，其由导热材料制成，在根据传播的形式表示通过有源光纤的长度内包层相移器泵浦辐射降低了空间烧孔的泵辐射的吸收的影响，所述薄膜 支持热导体材料相区和膜外表面之间温度升高降低的有源光纤， 它是。

    합성 석영 유리 기판의 제조 방법
    274.
    发明公开
    합성 석영 유리 기판의 제조 방법 审中-实审
    合成石英玻璃基板的制造方法

    公开(公告)号：KR1020170105419A

    公开(公告)日：2017-09-19

    申请号：KR1020170028088

    申请日：2017-03-06

    Applicant: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤

    Inventor： 이시츠카,요코 ,  와타베,아츠시 ,  하라다,다이지츠 ,  다케우치,마사키

    IPC: C03B33/037 ,  G01N21/23 ,  B24B7/24

    CPC classification number: C03B33/02 ,  B28D5/00 ,  C03C3/06 ,  C03C15/00 ,  C03C17/28 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/50 ,  C03C2218/114 ,  C03C2218/32 ,  G01B11/06 ,  G01N21/23

    Abstract: [해결수단] 합성석영유리블록을준비하는공정과, 상기합성석영유리블록중, 절단가공할때의절단면에평행면과그것에대향하는면의 2면에대해서, 복굴절률을측정하는파장에서의투과율이 99.0%/㎜이상인액체를도포하는공정과, 한쪽의도포면으로부터입사되고, 다른쪽의도포면으로부터출사되는광에의해합성석영유리블록의복굴절률을측정하는공정과, 얻어진복굴절률에기초하여, 얻어지는합성석영유리기판의사이즈에따라합성석영유리블록을절단하는두께를결정하는공정과, 결정된절단두께에따라절단하는공정을 포함하는합성석영유리기판의제조방법. [효과] 본발명에따르면, 제조공정의비교적빠른단계의슬라이스공정전에, 후의연마공정에필요한여유를미리예측하여슬라이스시의두께를결정할수 있고, 원료의합성석영유리블록의손실분을저감시키고, 합성석영유리기판의생산성을높여, 경제적으로합성석영유리기판을제조할수 있다.

    Abstract translation: [解决问题的手段]一种制备合成石英玻璃块的工序，其中，所述合成石英玻璃块，其中，在测量中，双折射为所述表面的第二侧的切削加工99.0时面向于此平行面的波长eseoui透过率的切割表面 和施加液态或多个％/㎜的工序，是入射一侧的涂布表面上，该方法的基础，并用于通过从其他的，所得到的合成石英的涂布表面发射的光测量所述合成石英玻璃块服装折射率的双折射性上 用于制备包括根据确定切割合成石英玻璃块与所述玻璃基板的尺寸的厚度，切割厚度确定的过程中切割的工序的合成石英玻璃衬底的过程。 [效果]根据本发明，在制造过程中的相对早期阶段切片过程之前，以预测用于随后的抛光工艺所需要的裕量，并且可以确定在时间片的厚度，并降低原料的石英玻璃块的合成的损失， 合成石英玻璃基板可以通过提高合成石英玻璃基板的生产率而经济地制造。

    ＳｉＯ２ 그래뉼레이트의 합성 석영 유리의 제조 방법 및 이에 적합한 ＳｉＯ２ 그래뉼레이트
    275.
    发明公开
    ＳｉＯ２ 그래뉼레이트의 합성 석영 유리의 제조 방법 및 이에 적합한 ＳｉＯ２ 그래뉼레이트 审中-实审
    生产SIO2颗粒和SIO2颗粒的合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号：KR1020160037771A

    公开(公告)日：2016-04-06

    申请号：KR1020150133917

    申请日：2015-09-22

    Applicant: 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지

    Inventor： 호프만아힘 ,  카이저토마스 ,  오터마티아스 ,  퀸보도

    IPC: C03B19/06

    CPC classification number: C03B19/066 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B2201/02 ,  C03C3/06 ,  C03C11/00 ,  C03C12/00 ,  C03C2201/02

    Abstract: SiO그래뉼레이트의용융에의한불투명합성석영유리의공지된제조방법은비정질 SiO1차입자를합성하는단계, 비정질 SiO1차입자를과립화하여개방형기공 SiO그래뉼레이트를형성시키는단계, 개방형기공 SiO그래뉼레이트를소결온도에서소결기간동안소결분위기중에서가열함으로써소결하여치밀화 SiO그래뉼레이트를형성시키는단계, 및치밀화 SiO그래뉼레이트를용융온도에서용융시켜합성석영유리를형성시키는단계의방법단계를포함한다. 이로부터출발하여, 개방형기공 SiO그래뉼레이트를여전히사용하면서도, 석영유리의저발포투명성분의저비용제조를가능하게하는방법을제시하기위해, 본발명에따르면, 방법단계 (c)에따른소결동안, 한편으로는치밀화 SiO그래뉼레이트가여전히개방형기공을포함하고, 다른한편으로는 1700 nm의파장에서, 동일한재료의석영유리과립의적외선투과 T의 50∼95% 범위에있는재료특이적적외선투과 T을나타내도록, 소결분위기, 소결온도및 소결지속기간을조정하는것이제안된다.

    Abstract translation: 通过SiO_2颗粒的熔融制造合成石英玻璃的方法包括以下步骤： 合成无定形SiO_2一次粒子; 制造无定形SiO_2一次粒子以形成开孔SiO_2颗粒; 通过在烧结气氛中在烧结温度下烧结开孔SiO 2颗粒并在烧结期间烧结开孔SiO_2颗粒，形成致密SiO_2颗粒; 并在熔融温度下熔化致密的SiO 2颗粒以形成合成石英玻璃。 为了提供石英玻璃的低泡透明组分的廉价生产方法，尽管仍然使用开孔SiO 2颗粒，但是在根据本发明的步骤（c）中的烧结期间调节烧结气氛，烧结温度和烧结持续时间 发明使得致密化的SiO 2颗粒一方面仍然包括开孔，另一方面表现出在1700nm波长下的材料特异性红外透射率T_1700，其中透射率在红外透射率的50-95％的范围内 T_1700石英玻璃颗粒相同的材料。

    엑시머 자외선등 장치용 대형 합성석영유리판
    277.
    发明公开
    엑시머 자외선등 장치용 대형 합성석영유리판 无效
    用于EXCIMER紫外线灯装置的大规模合成石英玻璃板

    公开(公告)号：KR1020050093663A

    公开(公告)日：2005-09-23

    申请号：KR1020040061465

    申请日：2004-08-04

    Applicant: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤

    Inventor： 오시마타까유끼 ,  야마가따시게루 ,  후지노끼아키라

    IPC: C03C10/14

    CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  C03C4/0092 ,  C03C2201/02 ,  G02B1/00

    Abstract: This invention is to provide a synthetic quartz glass plate for an excimer UV lamp device, which is good in light extraction efficiency over the whole surface and realizes uniform irradiation energy density when it is used as a window material for the excimer UV lamp device. The synthetic quartz glass plate for the excimer UV lamp device is formed from synthetic quartz glass synthesized by a flame hydrolysis method using a high purity silicon compound as a raw material. The synthetic quartz glass plate for the excimer UV lamp device emitting vacuum ultra-violet rays having wavelengths of 150-250 nm is characterized in that the total length of the outer peripheries of the plate is ≥ 1,500 mm, the fluctuation width in thickness is ≤ 1 mm, the warp is ≤ 0.5%, the surface roughness Ra is ≤ 50 nm, the birefringence is ≤ 10 nm/cm, and no bubble having a major diameter of ≥ 1 mm is contained.

    Abstract translation: 本发明提供一种用于准分子UV灯装置的合成石英玻璃板，其在整个表面上的光提取效率良好，并且当其用作准分子UV灯装置的窗口材料时实现均匀的照射能量密度。 用于准分子UV灯装置的合成石英玻璃板由使用高纯度硅化合物作为原料的火焰水解法合成的合成石英玻璃形成。 用于发射具有150-250nm波长的真空紫外线的准分子UV灯装置的合成石英玻璃板的特征在于，板的外周的总长度≥1500mm，厚度的波动宽度≤ 1mm，翘曲≤0.5％，表面粗糙度Ra≤50nm，双折射≤10nm/ cm，不含大于1mm的长径的气泡。

    실리카 글래스 조성물 및 이를 이용한 실리카 글래스 제조방법
    279.
    发明授权
    실리카 글래스 조성물 및 이를 이용한 실리카 글래스 제조방법 有权
    二氧化硅玻璃组合物和使用其的二氧化硅玻璃的制造方法

    公开(公告)号：KR100230457B1

    公开(公告)日：1999-11-15

    申请号：KR1019970050968

    申请日：1997-10-02

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 백영민 ,  윤영식

    IPC: C03C3/04

    CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/34

    Abstract: 본 발명은 실리카 글래스 조성물 및 이를 이용한 실리카 글래스의 제조방법에 관한 것이다. 상기 실리카 글래스 조성물은 평균입경이 5×10
    -3 내지 1×10
    -1 ㎛이고 비표면적이 50 내지 400㎡/g인 열분해 실리카(pyrogenic silica)와, 상기 열분해 실리카의 응집체(agglomerate)로서 평균입경이 2 내지 15㎛이고, 상기 열분해 실리카보다 비표면적이 작은 열처리 실리카(heat-treated silica)를 포함하고 있는 것을 그 특징으로 한다. 본 발명의 실리카 글래스 조성물을 이용하면 건조후 균열이 거의 발생되지 않으며 소결후 수축율이 현저하게 낮아진 실리카 글래스 튜브를 제조할 수 있다. 그리고 대형의 실리카 글래스 튜브를 제조하는 것도 가능해진다.

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