公开(公告)号：WO2008155296A2

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/EP2008057498

申请日：2008-06-13

Applicant: EPCOS AG ,  SCHAEUFELE ANSGAR ,  LEIDL ANTON ,  SAUER WOLFGANG

Inventor： SCHAEUFELE ANSGAR ,  LEIDL ANTON ,  SAUER WOLFGANG

IPC: H03H9/24

CPC classification number: H03H9/173 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/09 ,  H03H9/174

Abstract: The invention relates to a component (1) in which the attachment of the component (1) is performed in a stress-reduced manner. The component (1) can rest on a membrane (4) or be held by a spring element (2). The membrane (4) or the spring element (2) is located above a depression (6) or an opening (7) partially bridged by the membrane (4). The membrane (4) preferably has an elastic modulus that is less than or equal to the elastic modulus of the component (1) or of the substrate (3). The component (1) can be covered in a planar manner entirely or partially on two sides with metal electrodes (10).

Abstract translation: 提出了一种装置（1），其中所述组分（1）的悬浮液在电压降为方式。 所述装置（1）可以休息或在膜（4）通过弹簧元件（2）保持。 所述膜（4）或位于凹部（6）或开口上方的弹簧元件（2）（7），其部分地由膜桥接（4）。 优选地，所述膜（4）的弹性模量小于或等于所述组件的弹性模量（1）或底物（3）。 成分（1）可以完全或部分地覆盖aufzwei两侧平面金属电极（10）。

公开(公告)号：WO2008022619A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：PCT/DE2007/001414

申请日：2007-08-07

Applicant: EPCOS AG ,  RUILE, Werner ,  LEIDL, Anton

Inventor： RUILE, Werner ,  LEIDL, Anton

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5698

Abstract: Es wird ein Drehbewegungssensor mit mindestens einem elektroakustischen Resonator angegeben, in dem eine akustische Oberflächenwelle anregbar ist. Eine Drehbewegung des Resonators um eine Drehachse ruft die Änderung der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle hervor. Dies bewirkt die Änderung der Resonanzfrequenz des Resonators. Der Drehbewegungssensor umfasst vorzugsweise Schwingstrukturen (30), die in Wellenausbreitungsrichtung und in Transversalrichtung schwingfähig sind.

Abstract translation: 它与至少一个电声谐振器中指定是在其中一个表面声波可被激发的旋转运动传感器。 谐振器以旋转轴的旋转运动导致在波的传播速度的变化。 这导致谐振器的谐振频率的变化。 旋转传感器优选地包括振动结构（30），其能够摆动的在波传播方向上和在横向方向上。

公开(公告)号：WO2006089641A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：PCT/EP2006/001121

申请日：2006-02-08

Applicant: EPCOS AG ,  LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WOLFF, Ulrich

Inventor： LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WOLFF, Ulrich

IPC: H04R17/02 ,  H04R19/04

CPC classification number: H04R1/2838 ,  H04R1/283 ,  H04R17/02 ,  H04R2201/003

Abstract: Die Erfindung betrifft ein hochempfindliches MEMS-Mikrofon mit verbessertem Signalrauschverhältnis. Die Erfindung gibt in einer Ausführung ein piezoelektrisches Mikrofon mit einer vorzugsweise elektrisch an eine Membran (M1) gekoppelten Hilfsmembran (M2) an. In einer weiteren Ausführung ist eine Membran mit einem elektrischen Regelkreis zu Kompensation eines Membranhubs versehen.

Abstract translation: 本发明涉及一种高度灵敏的MEMS麦克风具有改进的信号噪声比。 本发明提供了在一个实施例中的压电麦克风具有优选电连接到膜（M1）耦合辅助膜（M2）。 在另一个实施例中，具有电控制电路的膜被提供给补偿隔膜中风。

公开(公告)号：WO2006089640A3

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：PCT/EP2006/001120

申请日：2006-02-08

Applicant: EPCOS AG ,  LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WOLFF, Ulrich

Inventor： LEIDL, Anton ,  PAHL, Wolfgang ,  WOLFF, Ulrich

IPC: H04R17/02

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Mikrofonmembran (M1), die zwei piezoelektrische Schichten (PS1, PS2) mit gleichsinnig gerichteten c-Achsen aufweist. In der mittleren Metallschicht ist eine erste elektrisch leitende Fläche (E11) ausgebildet, die mit einem ersten elektrischen Potential beaufschlagt ist. Die piezoelektrischen Schichten (PS1, PS2) sind jeweils zwischen der mittleren Metallschicht (ML2) und einer außenliegenden Metallschicht (ML1, ML3) angeordnet. In einer bevorzugten Variante weist die Membran (M1) bezüglich der Schichtenfolge und der Schichtendicke einen weitgehend symmetrischen Aufbau auf.

公开(公告)号：WO2003069775A1

公开(公告)日：2003-08-21

申请号：PCT/DE2003/000363

申请日：2003-02-07

Applicant: EPCOS AG ,  LEIDL, Anton ,  KNAUER, Ulrich ,  RUILE, Werner ,  PENG, Lijun

Inventor： LEIDL, Anton ,  KNAUER, Ulrich ,  RUILE, Werner ,  PENG, Lijun

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02929 ,  H03H9/02897

Abstract: Für ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement wird vorgeschlagen, die Elektrodenstruktur (ES) über einer mechanisch stabilen Anpassungsschicht (AS) anzuordnen, die zum Ab-bau des elektromechanischen Stresses dient. Weitere Verbesse-rungen der Leistungsverträglichkeit werden mit zusätzlichen Zwischenschichten (ZS) und seitlich oder ganzflächig über der Elektrodenstruktur aufgebrachten Passivierungsschichten (PS) erzielt.

Abstract translation: 对于利用声波的工作提出了通过机械稳定的适配层AS，其用于机电应力的向下结构安排电极结构ES。 更好地改善-lored电源兼容性可以与附加的中间层ZS和侧或在电极结构的整个表面来实现施加钝化PS。

公开(公告)号：WO1998037412A1

公开(公告)日：1998-08-27

申请号：PCT/EP1998000429

申请日：1998-01-27

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  LEIDL, Anton

Inventor： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

IPC: G01N33/28

CPC classification number: F16H57/041 ,  F01M11/10 ,  G01N27/221 ,  G01N29/022 ,  G01N33/2888 ,  G01N2291/0258 ,  G01N2291/02818 ,  G01N2291/02863 ,  G01N2291/0422 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0427

Abstract: The invention relates to a sensor device for determining material parameters of a liquid medium, comprising two interdigital transuducers (12, 14) for generating an electroacoustic wave from the one (12) interdigital transducer to the other (14) interdigital transducer. The two interdigital transducers (12, 14) are connected to a first evalutation circuit to determine the viscosity, viscoeleasticity and/or density of the liquid medium on the basis of the resonance frequency determined and/or the damping of the electroacoustic wave. One of the interdigital transducers (12) is also connected to a second evaluation circuit for determining the dielectric constant and/or the conductivity of the liquid medium on the basis of the complex electric impedance of said interdigital transducer (12). A frequency different from the resonance frequency of the electroacoustic wave is used to determine said complex electric impedance by means of the second evaluation circuit.

Abstract translation: 一种传感器设备，用于检测用于所述叉指换能的产生从（12）的叉指式换能器的电声波到另一个（14）由两个叉指式换能器（12，14）的液体介质中的材料参数。 两个叉指式换能器（12，14）被连接所确定的谐振频率和/或与第一评估电路电声波的用于确定粘度，粘弹性和/或液体介质的密度的衰减的基础上。 一个叉指式换能器（12）还连接到一个第二评估电路，用于借助于确定所述叉指式换能器（12），其中，用于所述复电阻抗测定的复电阻抗的基础上，该液体介质的介电常数和/或电导率的第二评估电路具有 不同的频率是由电声波的谐振频率使用。