公开(公告)号：KR100944946B1

公开(公告)日：2010-03-02

申请号：KR1020090010496

申请日：2009-02-10

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 윤의준 ,  권성훈

IPC: H01L21/027 ,  H01L33/02

Abstract: 패턴이 형성된 기판 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 패턴이 형성된 기판 제조방법은 기판 상의 산화물 비드 패턴을 형성하고자 하는 위치에 선택적인 결합력을 갖는 제1결합제 패턴을 형성하고, 기판과의 결합력보다 제1결합제와의 결합력이 더 큰 제2결합제를 산화물 비드에 코팅한다. 그리고 제2결합제가 코팅된 산화물 비드를 기판 상에 도포하여, 제2결합제가 코팅된 산화물 비드를 제1결합제 패턴 상에 형성하고, 기판을 열처리한다. 본 발명에 따른 다른 패턴이 형성된 기판 제조방법은 산화물 비드가 분산된 용액을 준비하고, 기판 상에 패턴을 형성한 다음, 기판 상에 마이크로 채널이 형성되도록 임시 구조물을 기판의 상방에 설치한다. 그리고 산화물 비드가 분산된 용액을 마이크로 채널에 주입하여 기판 상에 산화물 비드를 고정시키고, 기판을 열처리한다. 본 발명에 의하면, 저렴한 산화물 비드를 원하는 형태로 기판 위에 패터닝할 수 있게 되어 건식 식각시 기판에 가해지는 손상을방지할 수 있고, 식각과정이 없어서 소자 수율 저하 문제가 없어서 결과적으로 소자의 양산성이 증가된다. 또한 건식식각을 위한 고가의 장비투자가 불필요하여 경제적으로 유리할 뿐 아니라 단시간 내에 많은 양의 기판을 제작할 수 있는 높은 생산성을 가지게 된다.

公开(公告)号：KR1020090042211A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：KR1020090010496

申请日：2009-02-10

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 윤의준 ,  권성훈

IPC: H01L21/027 ,  H01L33/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0037

Abstract: A manufacturing method of a substrate on which a pattern is formed is provided to prevent damage applied to a substrate in a dry etching by patterning an oxide bead on a substrate with a desired shape. A temporary structure is installed on a top of a substrate in order to form a micro channel on a substrate. A bead mixture is formed by mixing an oxide bead and a polymer bead. The oxide bead and the polymer bead are assembled on the substrate by injecting the bead mixture to the micro channel(S220). The temporary structure is separated from the substrate. The substrate is sintered after removing the polymer bead(S240). A refractive index of the oxide bead is 1.2~2.0.

Abstract translation: 提供其上形成有图案的基板的制造方法，以通过在所需形状的基板上图案化氧化物珠来防止在干蚀刻中对基板的损伤。 为了在基板上形成微通道，将临时结构安装在基板的顶部。 通过混合氧化物珠粒和聚合物珠粒形成珠粒混合物。 通过将珠粒混合物注射到微通道（S220）将氧化物珠粒和聚合物珠粒组装在基材上。 临时结构与基板分离。 在除去聚合物珠之后烧结基材（S240）。 氧化物珠的折射率为1.2〜2.0。

公开(公告)号：KR1020090035280A

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：KR1020070100472

申请日：2007-10-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  정수은 ,  박욱

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/004

CPC classification number: B81B1/004 ,  B81C1/00119

Abstract: A system for fabricating and handling microstructure of energy-cured materials is provided to manufacture a microstructure moved according to various forms of treatment units and to accurately control the positional of the manufactured microstructure. A system for fabricating and handling microstructure(90) of energy-cured materials comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure by selectively curing the energy-curable fluid(31); and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern.

Abstract translation: 提供了一种用于制造和处理能量固化材料的微结构的系统，以制造根据各种形式的处理单元移动的微结构并且精确地控制所制造的微结构的位置。 用于制造和处理能量固化材料的微结构（90）的系统包括能量源; 变形单元，其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管（30），其通过选择性地固化所述能量可固化流体（31）产生微结构; 和处理单元（36），根据恒定图案移动，排列或组合微结构。

公开(公告)号：KR100875900B1

公开(公告)日：2008-12-26

申请号：KR1020070055934

申请日：2007-06-08

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/20 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00111 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0159

Abstract: 본 발명은 마스크를 사용하지 아니하는 광유체적 리소그래피 시스템으로서,본 발명의 일측면은 광원; 상기 광원에서 제공되는 광을 변조하는 공간 광 변조기; 및 내부에 광경화성 액체가 흐르며, 상기 공간 광 변조기에서 제공되는 상기 변조된 광에 따라 상기 광경화성 액체를 선택적으로 경화하여 출력하는 마이크로유체관을 구비하는 광유체적 리소그래피 시스템을 제공한다.

Abstract translation: 提供了一种光流体无掩模光刻系统。 光流光刻系统包括光源; 用于调制由光源提供的光的空间光调制器; 以及包含在其中流动的光固化液体的微流体通道，其中微流体通道根据由空间光调制器提供的调制光选择性地固化光固化液体。

公开(公告)号：KR1020080082698A

公开(公告)日：2008-09-12

申请号：KR1020070023261

申请日：2007-03-09

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권성훈 ,  박영준 ,  김수환

IPC: G06K19/07 ,  G06K17/00 ,  H04B5/02

CPC classification number: G06K19/0723 ,  G06K19/0728

Abstract: An optical ID tag, and a reader and a system thereof are provided to reduce an area of the ID tag largely by using a solar cell and a light emitter instead of an antenna occupying the largest area in a usual RFID(Radio Frequency IDentification) tag, and simplify a signal transmission circuit by converting a baseband signal into an optical signal and transceiving the optical signal without using any RF circuit. A solar cell(110) converts optical energy received from an optical ID reader into electric energy for operating an optical ID tag. Light received from the optical ID reader includes information and the solar cell transfers an electric reception signal corresponding to the information to an ID circuit(130). A light emitter(120) outputs an optical signal corresponding to the electric signal received from the ID circuit. A wavelength of light emitted from the light emitter is identical with the wavelength of the light inputted to the solar cell. The ID circuit is operated by the electric energy supplied from the solar cell and transfers the electric signal corresponding to ID information to the light emitter, and includes a memory(131) for storing the ID information.

Abstract translation: 提供光学ID标签以及阅读器及其系统以通过使用太阳能电池和光发射器代替在通常的RFID（射频识别）标签中占据最大区域的天线来大大减小ID标签的面积 并且通过将基带信号转换为光信号并且在不使用任何RF电路的情况下收发光信号来简化信号传输电路。 太阳能电池（110）将从光学ID读取器接收的光能转换成用于操作光学ID标签的电能。 从光学ID读取器接收的光包括信息，并且太阳能电池将与该信息对应的电接收信号传送到ID电路（130）。 光发射器（120）输出与从ID电路接收的电信号对应的光信号。 从发光体发射的光的波长与输入到太阳能电池的光的波长相同。 ID电路由从太阳能电池提供的电能进行操作，并将与ID信息相对应的电信号传送到发光器，并且包括用于存储ID信息的存储器（131）。