有机层组成物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN109478015B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN201680087729.4

    申请日:2016-10-18

    Abstract: 本发明揭示一种有机层组成物及使用有机层组成物的图案形成方法,有机层组成物包含:聚合物,包含由化学式1表示的结构单元;添加剂,在作为含芳族环化合物的结构中包含经取代或未经取代的胺基、经取代或未经取代的乙烯基、经取代或未经取代的乙炔基、叠氮基及腈基中的至少一者;以及溶剂。化学式1与在说明书中所定义的相同。本发明因包含预定聚合物及预定添加剂而在以旋涂方法进行涂布的同时具有提高的耐蚀刻性的有机层组成物。由有机层组成物制造的有机层具有提高的膜密度及膜平坦度。

    聚合物、有机层组合物以及形成图案的方法

    公开(公告)号:CN110734528A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201910644580.0

    申请日:2019-07-17

    Abstract: 本申请公开一种包含由化学式1表示的第一化合物与由化学式2表示的第二化合物的反应产物的聚合物、包含聚合物的有机层组合物以及使用有机层组合物形成图案的方法。根据本发明的有机膜组合物在通过旋涂方法施加时可具有改进的平坦化特征和间隙填充特征,同时确保耐蚀刻性。[化学式1](CHO)n1-Ar1-X-Ar2-(CHO)n2[化学式2]Ar3-(OH)m化学式1及化学式2的定义与在说明书中的描述相同。

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