公开(公告)号：CN111052873B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN201780093717.7

申请日：2017-09-06

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 有田廉 ,  渡边谦资 ,  西村真一

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08

Abstract: 本发明的目的是提供一种抑制异常放电的发生的活性气体生成装置的构造。并且，在本发明的活性气体生成装置中，供电体(23)设在高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的上方，具有在俯视时将高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的整体覆盖的形状。供电部(33A及33B)分别设在接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的下方，具有在俯视时将接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的整体覆盖的形状。

公开(公告)号：CN114982382A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202080091607.9

申请日：2020-12-24

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 有田廉 ,  渡边谦资

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不使活性气体的生成量降低地能够实现供电空间中的绝缘耐性的提高。本发明的活性气体生成装置(100)中的箱体(7)具有沿着中央底面区域(78)的外周设置且形成高度高于中央底面区域(78)的周边阶差区域(79)。通过设置在周边阶差区域(79)上的高压电极用介电膜(1)而设置对供电空间(8)与包含放电空间(3)的活性气体生成空间之间的气体流动进行分离的气体分离构造。设置在箱体(7)外部的真空泵(15)将供电空间(8)设定为真空状态。

公开(公告)号：CN114128408A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080018521.3

申请日：2020-02-27

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 有田廉 ,  渡边谦资

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明的目的在于比较低价地提供具有防止电极用介电膜的破损现象的电极构造的活性气体生成装置。本发明在高压侧电极构成部(1)在电极用导电膜(10)的下表面上设置电极用主要介电膜(11)，在电极用主要介电膜(11)的下方隔开上方主要·追加电介质间距离(d21)配置电极用追加介电膜(12)。电极用主要介电膜(11)俯视时具有将电极用导电膜(10)全部包含在内、比电极用导电膜(10)大的形成面积。电极用追加介电膜(12)俯视时具有将电极用导电膜(10)包含在内、比电极用导电膜(10)稍大且比电极用主要介电膜(11)小的形成面积。接地侧电极构成部(2)也具有与高压侧电极构成部(1)的上述特征同样的特征。

公开(公告)号：CN112166650A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201880093516.1

申请日：2018-05-30

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 有田廉 ,  渡边谦资 ,  西村真一

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08

Abstract: 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不变更孔板部的构造就能够有意图地减弱设置在孔板部下方的处理空间的电场强度。并且，在本发明中，高电压侧电极构成部(1)还具有与金属电极(10)相独立地形成在电介质电极(11)的上表面上的导电膜(12)。导电膜(12)在俯视时设置在至少一个气体喷出孔(9)与金属电极(10)之间，并且导电膜(12)被设定为接地电位。