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公开(公告)号：CN119815948A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411897362.5
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H10F39/12
Abstract: 本发明涉及一种红外焦平面阵列探测器倒焊互连三维电极的制造方法，包括以下步骤：(1)在红外探测器芯片上旋涂光刻胶，用掩膜板曝光后显影形成三维胶孔；(2)在芯片表面镀复合金属膜；(3)旋涂保护光刻胶，对芯片进行紫外光弱泛曝光，显影去除保护光刻胶表面的薄层光刻胶，露出顶部复合金属膜；(4)蚀刻去除顶部复合金属膜；(5)使用有机溶剂去胶获得三维电极。本发明方法工艺兼容性好，制作的三维电极一致性好，适合大面积生产。
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公开(公告)号：CN119812890A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411934188.7
申请日：2024-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于自对准刻蚀的太赫兹半导体激光器的制造方法，包括如下步骤：(1)在外延晶片上镀金属膜；(2)在外延晶片上依次旋涂底层光刻胶和顶层光刻胶；(3)形成底层光刻胶内缩的光刻胶结构；(4)制作上电极金属条；(5)形成脊条和吸收边；(6)制作下电极金属条；(7)完成前道工艺；(8)完成器件封装。本发明实现上电极金属条始终与脊条居中对齐，通过控制光刻显影参数实现调节吸收边宽度，克服了现有技术中光刻对准误差大致使脊条两侧吸收边宽度不一致的缺陷。
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公开(公告)号：CN111668698B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202010553366.7
申请日：2020-06-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/34 , H01S5/02257 , B23K26/38 , B23K26/70 , B24B29/02
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器及其制备方法，所述激光器包括前端面和后端面；所述后端面与所述激光器的脊条形结构的长度方向垂直，所述前端面包含两个斜面，斜面与所述脊条形结构长度方向的垂直面形成倾斜角，使得所述前端面和所述后端面的反射率和透射率不同。本发明相比单一倾斜端面，角形倾斜端面采用两个对称的斜面来耦合输出激光，使得总的输出激光发散性降低，有效改善了输出激光的光束质量。
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公开(公告)号：CN109462140B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201811583153.8
申请日：2018-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种射频注入调制的片上太赫兹双频梳装置，包括太赫兹量子级联激光器和T型偏置器，所述太赫兹量子级联激光器在同一水平面上同时具有两个激光谐振腔，两个激光谐振腔分别具有各自的上电极和增益介质，并共享同一个下电极，分别独立工作；两个激光谐振腔各自的上电极分别通过不同的T型偏置器同时与不同的RF源和直流源的正极连接，两个激光谐振腔共同的下电极与各自的直流源的负极连接；其中，一个T型偏置器与RF源之间设有环形器，所述环形器通过低噪声放大器与频谱分析仪相连；所述两个激光谐振腔的相隔500‑5000μm。本发明能够稳定输出光模式，扩大输出频谱范围，实现太赫兹波段双频梳光谱。
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公开(公告)号：CN107171166B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201710532857.1
申请日：2017-07-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S1/00
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器锁相系统及锁相方法，锁相系统包括：太赫兹光源模块，用于实现太赫兹信号的输出；太赫兹信号下变频模块，与太赫兹光源模块相连接，用于接收所述太赫兹信号并产生太赫兹信号的拍频信号；锁相模块，与太赫兹信号下变频模块相连接，用于接收所述拍频信号并产生驱动补偿信号，所述驱动补偿信号输入至太赫兹光源模块，用于实现太赫兹量子级联激光器的锁相。通过上述方案，本发明率先采用太赫兹量子阱探测器对太赫兹信号进行下变频，实现快速准确的提取混频信号；选用多模太赫兹量子级联激光器代替传统的射频倍频链太赫兹本振源，利用自身的拍频信号实现下变频显著降低了锁相技术系统构建的难度与复杂度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109273983A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811257281.3
申请日：2018-10-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器，包括耦合腔、直流源、T型偏置器以及RF源，该耦合腔具有短腔和长腔，其中长腔连接直流源，所述短腔通过T型偏置器和直流源相连，所述T型偏置器还与RF源相连。本发明还提供了该太赫兹量子级联激光器的光谱调制方法。本发明的太赫兹量子级联激光器采用耦合腔结构作为激光器的谐振腔，并用于太赫兹波的光谱调制中，相比于传统的Fabry-Pérot谐振腔难以进一步提高RF注入调制效率的情况，耦合腔结构由于短腔的面积小，能够降低器件电容，从而在太赫兹量子级联激光器锁模操作时提高注入调制效率。
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公开(公告)号：CN108023273A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201610971356.9
申请日：2016-11-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01S5/0651 , H01S1/02 , H01S5/065
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器系统及其表征模式稳定性的方法，所述系统包括：直流驱动源，用于向太赫兹量子级联激光器系统供电；与直流驱动源连接的T型偏置器，用于将直流驱动源提供的信号进行偏置，并将偏置信号提供给太赫兹量子级联激光器，及耦合太赫兹量子级联激光器的拍频信号，并将该拍频信号引出到高速示波器；与T型偏置器一端连接的太赫兹量子级联激光器，用于发生多纵模激射并产生拍频信号；与T型偏置器另一端连接的高速示波器，用于检测拍频信号，并在时域上将该拍频信号合并成眼图。通过本发明的太赫兹量子级联激光器系统及其表征模式稳定性的方法，解决了现有技术中没有有效表征太赫兹量子级联激光器模式稳定性方法的问题。
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公开(公告)号：CN108023272A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201610971330.4
申请日：2016-11-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/06 , H01S5/10 , G01N21/3586 , G01N21/3504
CPC classification number: H01S5/06 , G01N21/3504 , G01N21/3586 , H01S5/10
Abstract: 本发明提供一太赫兹量子级联激光器系统，包括直流源；与其连接的T型偏置器，用于将偏置信号提供给所述激光器，及耦合所述激光器的拍频信号并将该信号引出到环形器；或将偏置信号与射频信号叠加输入所述激光器；与T型偏置器一端连接的环形器，用于隔离射频、拍频信号；与环形器一端连接的频率检测装置，用于检测拍频信号频率；与环形器另一端连接的射频源，用于提供与拍频信号频率相等的射频信号；及与T型偏置器另一端连接的所述激光器，用于产生拍频信号及宽光谱的太赫兹波。通过本发明的太赫兹量子级联激光器系统、气体鉴定系统及方法，解决了现有技术中太赫兹量子级联激光器的光谱范围较窄，无法快速准确地检测出被测气体样品特征谱的问题。
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公开(公告)号：CN107768970A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710847845.8
申请日：2017-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种脉冲模式太赫兹量子级联激光器射频调制系统及方法，其中所述系统包括：一通过一电极片与所述太赫兹量子级联激光器连接的脉冲源，其驱动所述太赫兹量子级联激光器工作在脉冲模式并产生激光器纵模间拍频信号；一通过一微带线与所述太赫兹量子级联激光器连接的T型偏置器；一通过一环形器与所述T型偏置器连接的射频源，其产生一具有设定频率的射频信号；以及与所述环形器连接的频谱分析仪。本发明对于脉冲模式太赫兹量子级联激光器的宽谱成谱具有重要意义。
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公开(公告)号：CN107328472A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710408562.3
申请日：2017-06-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/42
CPC classification number: G01J1/42
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹光谱探测系统及其使用方法，本发明包括用于将直流偏置信号和射频信号耦合的调制模块、对经耦合的调制信号进行单一纵模信号输出的选模模块、对单一纵模信号进行光路传输的探测光路以及对探测光路传输的信号确定THz频谱中特定频点响应并显示的探测模块，其中，调制模块输出信号至选模模块，选模模块与探测光路以及探测模块依次光路连通；选模模块以及调制模块分别由探测模块控制。本发明以THzQCL为光谱光源，采用外腔技术和非相干探测技术对展宽的THz激光光谱进行直接采样，省略了信号同步采样机制，光谱重建速度快，实现开放环境下的远距离THz光谱检测。
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