公开(公告)号：CN111512229A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880082630.4

申请日：2018-10-30

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 土村智孝 ,  川岛敬史 ,  金子明弘 ,  小川伦弘 ,  白川三千纮 ,  古谷创 ,  崎田享平

IPC: G03F7/039 ,  G03F1/60 ,  G03F1/78 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种可获得灵敏度优异的抗蚀剂膜且可获得LER性能优异的图案，并且能够抑制图案形成时的图案崩塌的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，提供一种使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法、带抗蚀剂膜的空白掩模、光罩的制造方法以及电子元件的制造方法。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含：树脂X，其具有以通式(I)表示的重复单元A、具有酸分解性基的重复单元B以及选自由以通式(II)表示的重复单元c1等的重复单元C；化合物Y，其为通过光化射线或放射线的照射而碱性降低的碱性化合物或铵盐化合物；及光产酸剂Z，其为化合物Y以外的化合物。

公开(公告)号：CN110537148A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201880026076.8

申请日：2018-04-12

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 白川三千纮 ,  古谷创 ,  藤田光宏 ,  土村智孝 ,  川岛敬史 ,  小川伦弘 ,  金子明弘 ,  冈宏哲 ,  白石康晴

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种Z-因子良好且能够形成图案崩塌得到抑制的图案的EUV光用感光性组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物含有规定的树脂及光产酸剂，或者含有具有含光产酸基团的重复单元的规定的树脂，且满足要件1和要件2。要件1：由式(1)求出的A值为0.14以上。式(1)：A＝([H]×0.04+[C]×1.0+[N]×2.1+[O]×3.6+[F]×5.6+[S]×1.5+[I]×39.5)/([H]×1+[C]×12+[N]×14+[O]×16+[F]×19+[S]×32+[I]×127)。要件2：EUV光用感光性组合物中的固体成分浓度为2.5质量％以下。

公开(公告)号：CN104781340B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380056918.1

申请日：2013-11-05

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 上平茂生 ,  福田诚 ,  小川伦弘 ,  牧野雅臣 ,  水村理俊 ,  樱井靖也

IPC: C08L67/00 ,  C08K5/29 ,  H01L31/049 ,  H01L31/048 ,  C07C251/16

CPC classification number: C07C251/16 ,  B32B7/12 ,  B32B27/08 ,  B32B27/18 ,  B32B27/30 ,  B32B27/306 ,  B32B27/36 ,  B32B2307/21 ,  B32B2307/3065 ,  B32B2307/4026 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/7265 ,  B32B2457/12 ,  C08G63/916 ,  C08J5/18 ,  C08J2367/03 ,  C08K5/29 ,  H01L31/049 ,  Y02E10/50 ,  C08L67/00

Abstract: 本发明的课题在于提供抑制烯酮亚胺化合物及烯酮化合物的挥散、充分发挥封端功能并且不会引起聚酯增粘的包含烯酮亚胺化合物的聚酯膜。本发明涉及一种聚酯树脂组合物，其特征在于，包含下述通式(1)所示的烯酮亚胺化合物和聚酯。通式(1)中，R1及R2分别独立地表示可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的烷氧基羰基、可以具有取代基的氨基羰基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的酰基或可以具有取代基的芳氧基羰基，R1‑C(＝C)‑R2部分结构的分子量为320以上。R3表示可以具有取代基的烷基或可以具有取代基的芳基。

公开(公告)号：CN105814136A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480067229.5

申请日：2014-12-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 上平茂生 ,  福田诚 ,  小川伦弘 ,  水村理俊

IPC: C08L67/00 ,  C07C257/06 ,  C07C257/08 ,  C07C317/40 ,  C08G63/91 ,  C08J5/18 ,  C08K5/29 ,  H01L31/049

CPC classification number: C08G63/916 ,  C07C257/06 ,  C07C257/08 ,  C07C317/40 ,  C07C323/20 ,  C07C2601/14 ,  C08G63/91 ,  C08J5/18 ,  C08J7/045 ,  C08J2367/02 ,  C08J2423/00 ,  C08J2429/04 ,  C08J2433/08 ,  C08J2467/00 ,  C08K5/29 ,  H01L31/049 ,  Y02E10/50 ,  C08L67/00

Abstract: 本发明的课题在于提供一种聚酯树脂组合物，其在制造工序中不会产生刺激性气体，且即使在含有末端封端剂的情况下也不会使聚酯树脂的粘度上升。本发明涉及一种含有下述通式(1)所表示的亚氨基醚化合物及聚酯的聚酯树脂组合物。本发明还涉及一种生成亚氨基醚化合物、羧酸酯的方法、聚酯薄膜、太阳能电池模块用背板及太阳能电池模块。R2表示可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的环烷基、可以具有取代基的芳基或可以具有取代基的烷氧基，R3表示特定的烷基或特定的芳基，R11、R12及R13分别独立地表示氢原子、可以具有取代基的烷基或可以具有取代基的芳基。

公开(公告)号：CN103097461A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201180043950.7

申请日：2011-09-06

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 福田诚 ,  樱井靖也 ,  竹上龙太 ,  小川伦弘

IPC: C08L67/00 ,  C08G63/91 ,  C08J5/18 ,  C08K5/49 ,  C08L71/02 ,  H01L31/042

CPC classification number: C08G63/916 ,  C08G65/22 ,  C08J5/18 ,  C08J2367/02 ,  C08K5/1515 ,  C08K5/50 ,  C08L71/02 ,  C09D171/02 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/049 ,  H02S40/10 ,  Y02E10/50 ,  C08L67/00

Abstract: 一种聚酯膜，其特征在于，包含聚酯(A)、由以下通式表示的单官能性缩水甘油醚化合物(B)和反应促进剂(C)，所述聚酯膜能够实现抑制凝胶化、降低成膜时的挥发性，并且粘着性和耐候性优异。在下式中，R1表示具有1个或多于1个碳原子的脂肪族烃基，R2和R3各自独立地表示具有2个或多于2个碳原子的亚烷基(条件是R2和R3互不相同)，n表示1以上的整数，且m表示0以上的整数。