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公开(公告)号：JP2015066649A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2013204632
申请日：2013-09-30
Applicant: 新日本無線株式会社
Inventor： 臼井 孝英
Abstract: 【課題】MEMS素子の破壊を防止するとともに、感度の低下や変動を抑制することができるMEMS素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】バックチャンバー21を備えた基板11上に、スペーサー14を挟んで固定電極15と可動電極13とを配置するMEMS素子であって、スペーサーを構成する絶縁膜を少なくとも3層以上の多層膜とし、それぞれの膜のエッチングレートが違う条件でスペーサーをエッチング除去することで、断面が「くの字」形状、あるいはジグザグ形状に形成する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种MEMS元件，其可以防止其破损并降低灵敏度的变化，以及制造MEMS元件的方法。解决方案：在其中文具电极15和可动电极 13设置在配备有间隔件14的后室21的基板11上，构成间隔件的绝缘膜形成为具有至少三层以上的多层膜，通过蚀刻除去间隔物， 各个膜的蚀刻速率彼此不同，从而形成L字形或Z字形的横截面。
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公开(公告)号：JP2018117206A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2017005735
申请日：2017-01-17
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】感度の向上と小型化を同時に達成できるMEMS素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】シリコン基板1上に形成した可動電極3と固定電極5が、エアーギャップ12を介して配置されたMEMS素子であって、シリコン基板の可動電極側の領域の一部を残して除去された領域の第1のバックチャンバー8と、基板に連続し、残された基板の一部に複数の貫通孔7によって区画された領域からなる第2のバックチャンバー10とを備える。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2017120974A
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：JP2015256231
申请日：2015-12-28
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】感度の向上に好適なMEMS素子を提供する。 【解決手段】MEMS素子の可動電極を連結部11によって固定電極5を含むバックプレートに固定する。固定された可動電極は、連結部の両端に外圧を受けて振動する第1の可動領域3aと連結部11から離れた位置に配置された第2の可動領域3bとを含んでいる。この第2の可動領域3bは固定電極5と対向配置され、第1の可動領域3aが受けた外圧の大きさを容量変化として検知する。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2017069594A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015189162
申请日：2015-09-28
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】MEMS素子の感度を向上させながら、エアーギャップ側に変位する可動電極の破損を防止するMEMS素子の構造を提供する。 【解決手段】スペーサー11を挟んで固定電極5を含むバックプレートと可動電極3とを配置することでエアーギャップが形成されているMEMS素子であって、バックプレートあるいは可動電極3に対向する固定電極5側に突出する環状あるいは柱状のストッパー構造12を備えている。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JP2016192628A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：JP2015070631
申请日：2015-03-31
Applicant: 新日本無線株式会社
Inventor： 臼井 孝英
Abstract: 【課題】音響抵抗を高めるための突起部を備えながら、応力集中による破壊が発生しないMEMS素子を提供する。 【解決手段】突起部はバックプレートに環状に配置された複数の突起部からなる第1の突起列9aと、第1の突起列の内側に環状に配置された複数の突起部からなる第2の突起列9bからなる。エアギャップ内に生じた圧力がバックチャンバー側に伝わる経路は、第1の突起列9aを構成する突起部の一つと隣接する第2の突起列9bを構成する突起部との間の、固定電極5と窒化膜が一体となったバックプレートと可動電極との間に形成される第1の経路と、突起部と突起部と対向する可動電極との間に形成される第2の経路とを有する。第1の経路の少なくとも一部は、第1の突起列9aを構成する突起部と第2の突起列9bを構成する突起部が環状に延出する延出方向に圧力が伝わるように開口している。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种MEMS元件，其中不会发生由于应力集中引起的击穿，同时包括用于增强声阻的突起。解决方案：突起包括第一突起列9a，其包括环形地设置在背面上的多个突起 以及包括多个突出部的第二突出排9b，其环状地设置在第一突起列的内侧。 用于传递在气隙中产生的压力的路径具有形成在集成固定电极5和氮化物膜的背板与可动电极之间的第一路径，在构成第一突起排9a的一个突起和构成相邻的第二突起 突出排9b，以及形成在突起和面向突起的可动电极之间的第二路径。 第一路径的至少一部分是打开的，使得在构成第一突起排9a的凸起的环形延伸方向上的压力和构成第二突出排9b的突起的压力被传递。图3
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公开(公告)号：JP2015099108A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：JP2013239469
申请日：2013-11-20
Applicant: 新日本無線株式会社
Inventor： 臼井 孝英
Abstract: 【課題】薄膜に加わる応力を電気的に検知することができる応力検知用素子および応力検知方法を提供する。 【解決手段】固定されてる第1の電極部13b、被測定用の薄膜16と一体となっている第2の電極部13aがエアギャップ21を介して配置されており、第2の電極部は、薄膜の応力に応じて左右に回転するように支持されている。その結果、薄膜の応力が所定の場合には、第1の電極部と第2の電極部の相対位置は常にほぼ等しくなり、第1の電極部と第2の電極部との間の容量値は所定の値となる。しかし、薄膜の応力が変化した場合、第1の電極部と第2の電極部の相対位置が変化し、第1の電極部と第2の電極部との間の容量値は、所定の値からずれ、薄膜の応力変化を検知できる構成となっている。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够对施加到薄膜上的应力进行电检测的应力检测元件和应力检测方法。解决方案：应力检测元件被构造成使得固定的第一电极部分13b和第二电极部分15b 与被测量的薄膜16一体地设置穿过气隙21，并且第二电极部被支撑以响应于薄膜的应力而横向旋转; 因此，当薄膜的应力为规定值时，第一电极部分的位置总是相对于彼此基本上与第二电极部分的位置相同，并且第一电极部分 并且所述第二电极部分是规定值; 然而，当薄膜的应力变化时，第一电极部分的位置与第二电极部分的位置相比变化，并且第一电极部分和第二电极部分之间的电容值从 规定值，从而可以检测薄膜的应力变化。
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