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    MEMS素子
    3.
    发明专利
    MEMS素子 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017073581A

    公开(公告)日：2017-04-13

    申请号：JP2015197297

    申请日：2015-10-05

    Applicant: 新日本無線株式会社

    Inventor： 臼井 孝英 ,  荒木 新一

    IPC: B81B3/00 ,  H01L29/84 ,  H04R19/04

    Abstract: 【課題】 感度低下が発生しないMEMS素子を提供する。 【解決手段】 基板上にスペーサーを挟んで固定電極を含むバックプレートと可動電極とを配置することでエアーギャップを形成し、バックプレートあるいは可動電極の少なくともいずれか一方に、エアーギャップ側に突出する環状の突起部を備える。この突起部は、可動電極に形成されたスリットよりスペーサー側の周辺空間に突出するように配置する。 【選択図】 図2

    MEMS素子
    4.
    发明专利
    MEMS素子 审中-公开
    MEMS元件

    公开(公告)号：JP2015188947A

    公开(公告)日：2015-11-02

    申请号：JP2014066083

    申请日：2014-03-27

    Applicant: 新日本無線株式会社

    Inventor： 臼井 孝英 ,  藤井 宏和 ,  福留 隆雄 ,  千葉 雅彦

    IPC: H04R19/04 ,  B81B3/00

    Abstract: 【課題】MEMS素子の感度を向上させながら、膜の破損を防止するMEMS素子の構造を提供する。 【解決手段】バックチャンバー17を備えた基板1と、この基板上に、スペーサー18を挟んで固定電極13と可動電極6とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子であって、可動電極の一部に、可動電極に過大な圧力が印加されたとき、その圧力をその裏面側に通過させるベント構造7、8を備えるとともに、通常動作時にはそのベント構造を覆う可動蓋部3、11を備えている。 【選択図】図3

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够提高MEMS元件的灵敏度并防止对膜的损害的MEMS元件的结构。解决方案：具有衬底1的MEMS元件，其具有形成在衬底上的气隙的后室17 通过在隔离件18上布置固定电极13和可动电极6，包括：可移动电极的一部分上的通气结构7,8，当向可动电极施加过大的压力时，将压力传递到其后侧; 以及在正常操作期间覆盖通风结构的可移动盖部分3,11。

    圧電発振器及びその製造方法
    9.
    发明专利
    圧電発振器及びその製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2017139717A

    公开(公告)日：2017-08-10

    申请号：JP2016022557

    申请日：2016-02-09

    Applicant: 新日本無線株式会社 ,  リバーエレテック株式会社

    Inventor： 福留 隆雄 ,  臼井 孝英 ,  荒木 新一 ,  石原 誠一 ,  幸田 義行 ,  木下 義則 ,  小澤 翔 ,  齊藤 勉 ,  河田 耕太郎

    IPC: H03B5/32

    Abstract: 【課題】振動素子の搭載が容易で、振動素子と基板とのクリアランスも一定となる等により、歩留まりを改善することができ、また小型化にも寄与できるようにする。 【解決手段】シリコン第1基板(第1ウェーハ)1の表面側に、回路部3が形成されると共に、略平板状の裏面には水晶振動子9が搭載される。この水晶振動子9は、マウント電極7の上に導電性接着剤8で接続され、マウント電極7に接続されたスルーホールビア6を介して回路部3に接続される。一方、シリコン第2基板(第2ウェーハ)には、水晶振動子9を収納する大きさの凹部10が形成されており、この凹部10内に水晶振動子9を収める状態として第1基板1と第2基板2を重ねて接合することで、発振器パッケージが製作される。前記スルーホールビア6は、マウント電極7の水晶振動子9との接続部から外れた位置に配置する。 【選択図】図1

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