公开(公告)号：CN101219731A

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200810003121.6

申请日：2008-01-10

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 中岛规雄 ,  秋山拓生 ,  伊藤靖久 ,  和田荣治

IPC: B65G1/04 ,  B65G49/05 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/5104 ,  B65G1/0457 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种桥式输送系统，将侧缓冲器(30)的支柱(34～37)用连杆(38、39)连接，将支柱(34～37)折叠。在无尘室的布置变更时，能够将缓冲器折叠，以使其不会成为障碍。