加热装置、真空加热方法和薄膜制造方法

    公开(公告)号:CN103080366A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201280002579.4

    申请日:2012-06-28

    CPC classification number: H01M10/04 C23C14/24 C23C14/243 C23C14/562

    Abstract: 一种加热装置,其具备:应在真空中被加热的被加热体;构成为能够从被加热体分离、并且在自身与被加热体之间形成有间隙的加热体;和用于向间隙导入传热气体的气体导入路径。被加热体通过传热气体由加热体加热。加热装置的例子是蒸着装置(30)。被加热体的例子是保持蒸镀材料,并且具有供蒸发了的蒸镀材料通过的开口部的贮藏容器(9)。加热体的例子是可拆装地收纳贮藏容器(9)、并且为了对贮藏容器(9)内的蒸镀材料进行加热而具有加热器(20)的加热容器(10)。气体导入路径的例子是气体导入管(11)。

    薄膜形成方法及成膜装置
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102016103B

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN200980105248.1

    申请日:2009-02-10

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/042 C23C14/30

    Abstract: 本发明提供一种薄膜形成方法,该方法是通过在真空中将从成膜源(27)飞来的粒子堆积在衬底(21)上而形成薄膜的方法。具体而言,以由在成膜源(27)与衬底(21)之间设定有运行路径的去路与返路的可动式的环形带(11)限定衬底(21)的表面的成膜区域(DA)的方式在成膜源(27)与衬底(21)之间配置环形带(11)的状态下,将粒子堆积在衬底(21)上。衬底(21)典型地为具有挠性的长条衬底。从卷出辊(23)向卷取辊(26)将粒子堆积在输送中的衬底(21)上。

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