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公开(公告)号：CN103292686B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310003704.X
申请日：2013-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/272
Abstract: 本发明提供一种图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头，该图像传感器是成为比以往的线阵图像传感器更简单的光学系统的结构并且能够进行高速检测的干涉条纹等条纹图像用的图像传感器。图像传感器(10)具备配置在受光面上的两个以上的直线状的像素列，根据各像素(2)的受光量对基于来自被照射体的反射光产生的有规则的条纹进行拍摄。像素列中的至少两个像素列(线(1)、线(2))配置为成大致90度的交角，获取投射于受光面的条纹中的以大致90度交叉的两个方向的线状条纹的像。
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公开(公告)号：CN106197206A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510382532.0
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B3/008 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构(310)，其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括：探头主体(302)，其用于内置轴运动机构；以及探头模块(304)，其被支承于探头主体，并用于内置旋转运动机构，并支承触针，探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此，在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。
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公开(公告)号：CN1769837A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510117189.3
申请日：2005-11-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 日高和彦
IPC: G01B11/30
Abstract: 一种表面性状测定装置，其具有近场测定机构(30)，该近场测定机构(30)具有：近场探针(33)，其在受到激光照射时在顶端部形成近场光；激光源(35)，其发射出照射在该近场探针上的激光；光子检测器(38)，其检测近场探针与被测定物(1)接近时所产生的近场光的散射效果；驱动器(32)，其使近场探针和被测定物朝向彼此接近、离开的方向位移，该表面性状测定装置还具有激光测长机构(20)，该激光测长机构(20)利用激光来测定基准面(24)与位于近场探针的顶端部附近的被测定物之间的相对距离，或者基准位置与近场探针之间的相对距离。
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公开(公告)号：CN111141200B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201911058456.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)，其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置，运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC)，以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如，包含所有或至少一部分扰动器)，并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中，导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积，且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。
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公开(公告)号：CN107631712B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110631448A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910502516.9
申请日：2019-06-11
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了能够以高精度且在短时间内测量物体表面的测量装置和测量方法。本发明的一个方面是用于测量物体表面在第一方向和与第一方向正交的第二方向上的位置的测量装置。该测量装置包括：可移动体，其具有供物体安装的安装部、彼此不共面的第一表面和第二表面；第一标尺部，其被设置为对第一表面加压并沿着与第一表面的法线方向平行的第一标尺轴线测量第一标尺位置；第二标尺部，其被设置为对第二表面加压并沿着与第二表面的法线方向平行的第二标尺轴线测量第二标尺位置；第一探针，其具有设定在与第二方向平行的探针轴线上且设定在第一标尺轴线和第二标尺轴线的交点处的位置测量的基准点；以及第二探针，其测量沿着探针轴线的位置。
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公开(公告)号：CN104976980B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510154456.8
申请日：2015-04-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 种形状测量机,其包括杆、臂、检测部、转动支点部和测量力调整部。与工件接触的测量触头设置于所述杆。所述臂的端部与所述杆接合。所述转动支点部用作所述杆和所述臂的转动运动的支点。所述检测部检测所述臂的转动运动的位移量。所述转动支点部的十字弹簧根据所述转动运动的位移量赋予所述杆和所述臂绕所述转动运动的轴的扭矩。测量力调整部赋予所述杆和所述臂沿所述十字弹簧产生的扭矩的相反方向的扭矩,该扭矩是由彼此相对配置的至少两个磁性构件之间的磁力产生的引力所产生的。
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公开(公告)号：CN106197353A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510382391.2
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/007 , G01B5/012
Abstract: 本发明涉及一种测量探头。测量探头(300)包括测针(306)、轴运动机构(310)以及旋转运动机构(334)，其中，轴运动机构(310)具备能够使移动构件(312)位移的一对第1隔膜结构体(314、315)，而且旋转运动机构(334)具备能够使旋转构件(336)位移的第2隔膜结构体(340)，在轴向(O)上的、一对第1隔膜结构体(314、315)之间配置有第2隔膜结构体(340)，第1隔膜结构体(314、315)分别相对于第2隔膜结构体(340)配置在彼此对称的距离。由此，能够实现轴向长度的缩短和轻量化，而且能够减小形状误差提升测量精度。
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公开(公告)号：CN103292686A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310003704.X
申请日：2013-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/272
Abstract: 本发明提供一种图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头，该图像传感器是成为比以往的线阵图像传感器更简单的光学系统的结构并且能够进行高速检测的干涉条纹等条纹图像用的图像传感器。图像传感器(10)具备配置在受光面上的两个以上的直线状的像素列，根据各像素(2)的受光量对基于来自被照射体的反射光产生的有规则的条纹进行拍摄。像素列中的至少两个像素列(线(1)、线(2))配置为成大致90度的交角，获取投射于受光面的条纹中的以大致90度交叉的两个方向的线状条纹的像。
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