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公开(公告)号：CN105277148A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510425447.8
申请日：2015-07-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B15/04
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/008
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置。在具备通过设置于测针(12)的一端并与被测定物(球B)接触的顶端球(14)来进行仿形测定的仿形测头(10)的形状测定装置中，通过顶端球位移检测部(11)检测仿形测头(10)的顶端球(14)的位移，检测使被测定物(B)和仿形测头(10)相对地移动的移动机构的位移，计算顶端球(14)接触被测定物(B)的接触方向与上述测针(12)的轴向之间所形成的角度(θ)，将根据上述角度(θ)对通过顶端球位移检测部(11)检测出的顶端球(14)的位移进行校正所得到的值作为校正值进行输出，将上述校正值和上述移动机构的位移相加来计算测定值。
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公开(公告)号：CN103673963A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310398126.4
申请日：2013-09-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持扫描探头的滑块。标尺单元检测所述滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据所述滑块和所述尖端球体的位移，计算测量值，其中，所述校正滤波器包括第一和第二滤波器。所述第一滤波器基于从所述标尺单元到所述滑块的尖端的频率传递特性，校正所述滑块的位移。所述第二滤波器输出通过基于从所述滑块的尖端到所述尖端球体的频率传递特性来校正通过所述第一滤波器校正后的值而获得的值，作为校正值。所述加法器输出通过对所述校正值和所述尖端球体的位移进行相加所获得的测量值。
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公开(公告)号：CN1136430C
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN98104416.6
申请日：1998-02-10
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/401 , G01B21/045
Abstract: 本发明揭示一种对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量方法及测量装置。在采用接触触发式测量头(70)对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量装置和测量方法中，对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值及速度进行检测，根据这些坐标值、速度及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间求得接触时的坐标值。
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公开(公告)号：CN1217785A
公开(公告)日：1999-05-26
申请号：CN98800150.0
申请日：1998-02-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B7/012
Abstract: 触针1具有压电元件支承部件1C,用以支承并固定压电元件21－24,压电元件支承部分1C是规则多边形体,与触针1正交的截面是规则多边形。压电元件21－24分别安装在规则多边形体的每一侧面上,并产生从压电元件21－24输出的信号的和、差和平方和,并根据所产生的信号产生接触检测信号。计算从压电元件21－24输出的信号的和,并获取作用在触针轴上的应变分量,计算从压电元件21－24输出的信号的差,并获得作用在触针轴上的弯曲应变分量。
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公开(公告)号：CN105277148B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201510425447.8
申请日：2015-07-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B15/04
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/008
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置。在具备通过设置于测针(12)的一端并与被测定物(球B)接触的顶端球(14)来进行仿形测定的仿形测头(10)的形状测定装置中，通过顶端球位移检测部(11)检测仿形测头(10)的顶端球(14)的位移，检测使被测定物(B)和仿形测头(10)相对地移动的移动机构的位移，计算顶端球(14)接触被测定物(B)的接触方向与上述测针(12)的轴向之间所形成的角度(θ)，将根据上述角度(θ)对通过顶端球位移检测部(11)检测出的顶端球(14)的位移进行校正所得到的值作为校正值进行输出，将上述校正值和上述移动机构的位移相加来计算测定值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104864827B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201510081931.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机和坐标测量机的校正矩阵计算方法。第一校正分量计算处理单元基于第一检测值和第二检测值来计算校正矩阵的对角分量。通过如下测量来获得第一检测值和第二检测值：使校准基准体和探测器在校准基准体的表面的法线方向上彼此相对地移动，以使得测量端部与校准基准体的表面在一点处相接触。第二校正分量计算处理单元基于第三检测值和第四检测值来计算校正矩阵的非对角分量。在测量端部的中心与校准基准体的基准点或基准线之间的相对距离维持恒定的情况下、通过使用测量端部对校准基准体的表面的扫描测量来获得第三检测值和第四检测值。
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公开(公告)号：CN105588533A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510753225.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/045 , G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部，运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过仿形测头的校准处理检测出的滑动件移动量和前端球位移量来计算校正矩阵的对角成分，基于该对角成分计算校正用过滤器的校正系数，从而对校正用过滤器进行设定。
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公开(公告)号：CN104864827A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510081931.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/00 , G01B5/00
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机和坐标测量机的校正矩阵计算方法。第一校正分量计算处理单元基于第一检测值和第二检测值来计算校正矩阵的对角分量。通过如下测量来获得第一检测值和第二检测值：使校准基准体和探测器在校准基准体的表面的法线方向上彼此相对地移动，以使得测量端部与校准基准体的表面在一点处相接触。第二校正分量计算处理单元基于第三检测值和第四检测值来计算校正矩阵的非对角分量。在测量端部的中心与校准基准体的基准点或基准线之间的相对距离维持恒定的情况下、通过使用测量端部对校准基准体的表面的扫描测量来获得第三检测值和第四检测值。
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公开(公告)号：CN104848826A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510087881.X
申请日：2015-02-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B5/016 , G01B21/045 , G01B21/20
Abstract: 本发明涉及一种形状测量设备和形状测量误差校正方法。计算器包括第一滤波器、第二滤波器和加法装置。所述第一滤波器将基于从标尺到被测物放置部的第一频率传递特性对由标尺检测到的移位台的移位进行校正得到的值输出为第一校正值。所述第二滤波器将基于从端部球到端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值输出为第二校正值。所述加法装置通过将所述第二校正值与由所述端部球移位检测器检测到的所述端部球的移位相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN101769704B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201010002203.6
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有测量触头；移动机构，其移动测头；以及控制装置，其控制移动机构。控制装置具备根据移动机构的移动量以及测头的移动量来算出测量触头的位置的测量值算出部(53)。测量值算出部(53)具备：校正参数算出部(531)，其根据测量被测量物时的测量条件算出用于校正测头的移动量的校正参数；校正部(532)，其根据校正参数对测头的移动量进行校正；以及移动量合成部(533)，其通过对移动机构的移动量和由校正部(532)校正后的测头的移动量进行合成来算出测量触头的位置。
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