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公开(公告)号：CN104253069A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410287742.7
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 本发明的处理设备构成为在由容器支撑体支撑着容器的状态下，容器侧接合面与支撑体侧接合面接合，供给孔或者排出孔与连通孔连通，容器侧接合面是至少连通孔的周围平坦地形成，支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状。
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公开(公告)号：CN107265032B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201710207102.4
申请日：2017-03-31
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , H01L21/673 , H01L21/677
Abstract: 气体供给装置（3）具备配管（19）、质量流量控制器（20）、多个连接部（18），前述多个连接部（18）与被收纳于供给收纳部（1a）的容器（W）连接，前述配管（19）将气体向多个连接部（18）分岔地供给，前述质量流量控制器（20）控制在配管（19）内流通的气体的流量，配管（19）具备第1配管（23）、第2配管（24）、分岔配管（26），前述第1配管（23）被相对于供给收纳部（1a）的每一个设置，前述第2配管（24）被比第1配管（23）靠上游侧地设置，前述分岔配管（26）使被从第2配管（24）供给的气体向第1配管（23）分岔，质量流量控制器（20）被设置于第2配管（24），且被设置于设置区域（E2）。
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公开(公告)号：CN108689066B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201810258171.2
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , B65G1/06 , H01L21/673 , H01L21/677
Abstract: 本发明涉及一种收纳架，该收纳架具备分别收纳容器的多个收纳部，容器在其底面具备被支承部、以及用于向容器的内部供给气体的供气部，并且在沿铅垂方向观察时，容器的重心位于被支承部与供气部之间，多个收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承容器的被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触供气部而从供气部向容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于收纳部的容器的侧面接触而限制容器向水平方向的移动，容器仅由支承面与喷嘴支承。
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公开(公告)号：CN108689066A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810258171.2
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , B65G1/06 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/02 , B65D83/28 , H01L21/67359 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , B65G1/0492 , B65G1/06
Abstract: 本发明涉及一种收纳架，该收纳架具备分别收纳容器的多个收纳部，容器在其底面具备被支承部、以及用于向容器的内部供给气体的供气部，并且在沿铅垂方向观察时，容器的重心位于被支承部与供气部之间，多个收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承容器的被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触供气部而从供气部向容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于收纳部的容器的侧面接触而限制容器向水平方向的移动，容器仅由支承面与喷嘴支承。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104253069B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201410287742.7
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 本发明的处理设备构成为在由容器支撑体支撑着容器的状态下，容器侧接合面与支撑体侧接合面接合，供给孔或者排出孔与连通孔连通，容器侧接合面是至少连通孔的周围平坦地形成，支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状。
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公开(公告)号：CN107808843A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201710805509.7
申请日：2017-09-08
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67393 , H01L21/67276 , H01L21/67386 , H01L21/6773 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , H01L21/67303 , H01L21/02057 , H01L21/67017
Abstract: 一种容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部，前述收纳架具有多个收纳部作为收纳部组，前述气体供给装置相对于各收纳部，经由分岔型的供给配管，供给净化气体，前述搬运装置相对于收纳部搬运容器，前述控制部控制搬运装置的动作。控制部控制搬运装置的动作，使得在相对于收纳部组所包括的收纳部最先收纳容器时，相对于从供给配管的端部区域供给净化气体的收纳部搬运容器。
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公开(公告)号：CN107804636A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201710805482.1
申请日：2017-09-08
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/00
Abstract: 在物品收纳架（1）的前方形成搬运空间（S1），在物品收纳架（1）处具备将在上下方向上相邻的收纳部（1a）彼此之间间隔的多个上下间隔体，在壁部（43）和多个收纳部（1a）之间形成在上下方向上延伸的流路空间（S2）多个收纳部（1a）的每一个位于流路空间（S2）和搬运空间（S1）之间，连通于流路空间（S2）及搬运空间（S1），供气部（51）具备来自外部的气体流入的流入口（53），并且连通于搬运空间（S1）的上端部及流路空间（S2）的上端部，在供气部（51）具备引导部，前述引导部以搬运空间（S1）内的气压比流路空间（S2）内的气压小的方式，将从流入口（53）流入的气体向流路空间（S2）和搬运空间（S1）引导。
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公开(公告)号：CN107265032A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710207102.4
申请日：2017-03-31
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/0407 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 气体供给装置（3）具备配管（19）、质量流量控制器（20）、多个连接部（18），前述多个连接部（18）与被收纳于供给收纳部（1a）的容器（W）连接，前述配管（19）将气体向多个连接部（18）分岔地供给，前述质量流量控制器（20）控制在配管（19）内流通的气体的流量，配管（19）具备第1配管（23）、第2配管（24）、分岔配管（26），前述第1配管（23）被相对于供给收纳部（1a）的每一个设置，前述第2配管（24）被比第1配管（23）靠上游侧地设置，前述分岔配管（26）使被从第2配管（24）供给的气体向第1配管（23）分岔，质量流量控制器（20）被设置于第2配管（24），且被设置于设置区域（E2）。
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公开(公告)号：CN104249898B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201410287642.4
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/67
CPC classification number: G01N33/0009 , H01L21/67253 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供物品保管设备的检查装置，能高精度地测定向运送容器供给的惰性气体的流量。包括惰性气体供给部的物品保管设备所使用的检查装置，包括由于被载置支撑部支撑的检查装置的自重而与供给喷嘴接合的检查用给气口，被载置支撑部支撑的状态下的沿着水平面的方向的重心位置与运送容器被载置支撑部支撑的状态下的运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致，检查被载置支撑部支撑的状态下的惰性气体的供给状态，其中，惰性气体供给部具有供给喷嘴，供给喷嘴是配设在对运送容器进行载置支撑的载置支撑部的喷嘴，喷嘴由于被载置支撑部支撑的运送容器的自重而与给气口接合，向运送容器的内部注入惰性气体，运送容器在底部形成惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳基板。
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