公开(公告)号：CN1463467A

公开(公告)日：2003-12-24

申请号：CN02802116.9

申请日：2002-02-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小畠厳贵 ,  白樫充彦 ,  粂川正行 ,  齐藤孝行 ,  当间康 ,  铃木作 ,  山田薰 ,  槙田裕司

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/6723 ,  B23H5/08 ,  C25F7/00 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67173

Abstract: 提供一种电解处理装置，包括：与工件接触或靠近的处理电极；用于向工件供电的馈送电极；离子交换器，设置在工件和处理电极之间以及工件和馈送电极之间的空间的至少之一中；用于在处理电极和馈送电极之间施加电压的电源；和液体输送部件，用于向工件与处理电极和馈送电极中的至少一个之间的空间输送液体，所述离子交换器存在于其中。还提供一种具有该电解处理装置的衬底处理设备。