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公开(公告)号：CN113242992A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201980083819.X
申请日：2019-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 控制装置控制法布里‑帕罗干涉滤光器，该法布里‑帕罗干涉滤光器具有：一对镜部，其经由空隙互相相对；及一对驱动电极，其经由该空隙互相相对，且一对镜部间的距离根据蓄积于一对驱动电极间的电荷而变化。控制装置具备：第1驱动源，其使用电流作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；第2驱动源，其使用电压作为控制参数而被控制，使一对镜部间的距离变化；及控制部，其在蓄积于一对驱动电极间的电荷与一对驱动电极间的电压的关系中，以在将包含电压的最大值的区域设为第1区域时，在第1区域中通过第1驱动源使一对镜部间的距离变化，在第1区域以外区域的至少一部分中，通过第2驱动源使一对镜部间的距离变化的方式，控制第1驱动源及第2驱动源。
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公开(公告)号：CN113167995A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980080024.3
申请日：2019-09-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学滤光器装置具备法布里‑珀罗干涉滤光器及电阻测定部。法布里‑珀罗干涉滤光器具备：第1构造体，其具有第1表面、及第2表面；第2构造体，其具有第3表面；第1镜部，其设置于第1构造体；第2镜部，其以隔着空隙而与第1镜部相对的方式设置于第2构造体；第1驱动电极，其设置于第1构造体；第2驱动电极，其设置于第2构造体；第1端子及第3端子，其电连接于第1驱动电极；及第2端子，其电连接于第2驱动电极。第1驱动电极从第1表面与第3表面相对的相对方向观察时与空隙重叠。在相对方向上，第1驱动电极与空隙之间的距离短于第2表面与空隙之间的距离。电阻测定部电连接于第1端子及第3端子，测定第1驱动电极的电阻值。
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公开(公告)号：CN111406206A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880075330.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。
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公开(公告)号：CN111357092A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880073818.2
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里-帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里-帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里-帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN109477959A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780041830.0
申请日：2017-07-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里-珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)；及第一端子(15)；并且，中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d)，第一内侧面(23d)以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103842783B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201280049208.1
申请日：2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0259 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806 , G01J2003/2816
Abstract: 分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过的光透过基板（3）、被配置于第2镜层（23）侧并且检测透过了干涉滤光部（20）的光的光检测基板（4）、被配置于干涉滤光部（20）与光透过基板（3）之间的第1耦合层（11）。空腔层（21）以及第1耦合层（11）是硅氧化膜。
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公开(公告)号：CN105683726A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480059031.2
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G01J3/45 , G01J5/04 , G01J5/20 , G02B26/001
Abstract: 本发明所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于：具备：法布里-珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)；光检测器(3)，检测透过光透过区域(11)的光；垫片(4A,4B)，在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10)；芯片键合树脂(5)，粘结法布里-珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。
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公开(公告)号：CN103857994B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280049225.5
申请日：2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L31/1896 , G01J3/02 , G01J3/0259 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J2003/1234 , G02B5/28 , G02B5/284 , H01L31/0232
Abstract: 分光传感器（1）的制造方法具备：第1工序，通过对被设置于处理基板上的表面层实施蚀刻从而形成空腔层（21）；第2工序，在第1工序之后将第1镜层（22）形成于空腔层（21）上；第3工序，在第2工序之后将光透过基板（3）接合于第1镜层（22）上；第4工序，在第3工序之后从空腔层（21）除去处理基板；第5工序，在第4工序之后将第2镜层（23）形成于已除去了处理基板的空腔层（21）上；第6工序，在第5工序之后将光检测基板（4）接合于第2镜层上。
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公开(公告)号：CN104520696A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380042452.X
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
Abstract: 本发明表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备：基板21，其具有表面21a；细微结构部24，其形成于表面21a上并具有多个柱脚27；导电体层23，其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。
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公开(公告)号：CN113358223B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202110544596.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
Abstract: 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其设置有光透过区域；光检测器，其检测透过光透过区域的光；封装体，其具有开口，收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器；及光透过部，其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面，且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下，法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置，光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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