晶片封装体及其制造方法
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107221540A

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201710165062.1

    申请日:2017-03-20

    Abstract: 本发明提供一种晶片封装体及其制造方法,该晶片封装体包括一基底,具有一第一表面及与其相对的一第二表面,其中基底具有一晶片区及沿晶片区的边缘延伸的一切割道区。晶片封装体还包括一介电层,设置于基底的第一表面上,其中对应于切割道区的介电层内具有一通槽,且通槽沿切割道区的延伸方向延伸。本发明可维持或改善晶片封装体可靠度及效能,避免基底翘曲,且可进一步缩小晶片封装体的尺寸。

    半导体结构的制造方法
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107039481A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201710116295.2

    申请日:2015-04-23

    Abstract: 一种半导体结构的制造方法,包含下列步骤:使用暂时粘着层将载板贴附于晶圆的第一表面上;将晶圆的第二表面贴附于框体上的紫外光胶带,并移除暂时粘着层与载板;贴附保护胶带于晶圆的第一表面上,其中保护胶带的面积大于晶圆的面积;使得保护胶带凸出于晶圆。照射紫外光于紫外光胶带,使紫外光胶带的粘性消失;贴附切割胶带于保护胶带与框体上,并移除紫外光胶带;使用第一刀具从晶圆的第二表面切割晶圆,而形成多个晶片与晶片间的多个间隙;以及使用宽度小于第一刀具的第二刀具沿间隙切割保护胶带,使得切割后的保护胶带分别凸出于晶片。本发明可提升半导体结构的良率以及制造上的便利性,且可节省在晶片上设置玻璃片的成本。

    剥离装置及利用该装置剥离芯片封装体表面盖层的方法

    公开(公告)号:CN106158691A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510127933.1

    申请日:2015-03-23

    Abstract: 一种剥离装置及利用该装置剥离芯片封装体表面盖层的方法。剥离装置包括:真空吸嘴头,包括具有相对上、下表面的吸盘、贯穿吸盘的上、下表面的真空孔及耦接真空孔和真空泵的中空真空管;平台,位于真空吸嘴头下方且与吸盘对准,使堆叠结构固定于平台上;控制机构,耦接真空吸嘴头,使真空吸嘴头相对于平台被举升或下降;以及第一刀具,包括第一本体及连接第一本体的第一刀刃部。其中盖层被吸盘下表面抵压住并因真孔泵对中空吸管抽真空而被吸附后,第一刀刃部经堆叠结构的第一侧壁切入位于堆叠结构的基底与盖层间的界面层,并通过真空吸取头的吸力及真空吸嘴头被举升所产生的举升力,使得基底与盖层被剥离。

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