Abstract:
PURPOSE: A cone-jet mode static spray device is provided to stably maintain the spray status of a cone-jet spray nozzle; and enable the execution of continuous spray. CONSTITUTION: A cone-jet mode static spray device comprises a cone-jet spray nozzle(200) which gets a precursor in a liquid state from an individual supplying unit(100) and which sprays the supplied precursor to a processed substrate through a nozzle block(220) in a cone shape; and a high voltage impression device(300) which permits the high voltage the sprayed precursor to be charged; a guide spray unit(400) that sprays following the direction of the cone-jet spray nozzle from the outer circumference of the cone-jet spray nozzle. A guide spray unit includes a guide nozzle(410) in which a gas inflow path is formed following the outer circumference of the cone-jet spray nozzle; and a gas supply unit(420) which supplies the gas to the guide nozzle. An inlet hole is formed on a side to let gas be supplied from the gas supply unit in the guide nozzle and a nozzle hole is formed on one end adjacent to the nozzle block of the cone-jet spray nozzle to let gas be sprayed. Three dummy nozzles that are arranged separately to be nearest to the cone-jet spray nozzle are arranged to have equal angles toward at least one of the cone-jet spray nozzle. The processed substrate is mounted on a stage(500) and an earth terminal is formed to make ground connection. [Reference numerals] (300) High voltage impression device; (421) Gas hydraulic pressure adjusting unit
Abstract:
본 발명은, 염료감응형 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지가 장착되는 진공 챔버를 구비하는 진공 챔버부; 광전극 블록 파우더를 상기 기판 측으로 전송시키기 위한 운송 가스를 제공하는 운송 가스부 및 상기 운송 가스부를 통하여 전달되는 상기 광전극 블록 파우더 및 상기 운송 가스를 포함하는 광전극 블록 에어로졸을 상기 염료감응형 태양전지 기판으로 분사시키는 노즐을 구비하는 에어로졸 증착부;를 구비하는 염료감응형 태양전지 에어로졸 증착 장치 및 이의 증착 방법을 제공한다.
Abstract:
본 발명은, 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 용액의 금속 파우더 액적을 상기 태양전지 기판으로 토출하여 상기 태양전지 기판 상에 그리드 전극을 형성하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 금속 파우더 용액을 공급하는 금속 파우더 공급부를 구비하는 금속 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 전압을 인가하는 전압 공급부; 및 상기 금속 파우더 공급부에 용액 공급 제어 신호를 그리고 상기 전압 공급부에 전압 공급 제어 신호를 인가하는 제어부를 구비하는 태양전지 그리드 전극 제조 장치 및 태양전지 그리드 전극 제조 방법을 제공한다.
Abstract:
본 발명은 항균 코팅층 형성 장치에 관한 것으로, 전기 방사 유닛과 정전기 스프레이 유닛을 이용하여 하나의 기판에 정기 방사 유닛에 의한 섬유와 정전기 스프레이 유닛에 의한 전구체를 동시에 혼합 코팅할 수 있고, 전구체로서 TiO 2 입자를 적용함으로써, 광촉매 효과에 의해 항균 성능을 발휘할 수 있는 혼합 코팅층을 형성할 수 있으며, TiO 2 입자의 부착성이 향상되고, 사용 기판에 대한 제한이 없어 항균 성능의 기판을 더욱 다양한 분야에 이용할 수 있으며, 다각 기둥 형태의 회전 바디에 기판을 안착하고, 회전 바디의 회전 방향을 따라 이격 배치되는 다수개의 전기 방사 유닛 및 정전기 스프레이 유닛을 통해 서로 다른 코팅 물질을 기판에 순차적으로 혼합 코팅할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 혼합 코팅층의 특성을 더욱 다양하게 조절할 수 있는 항균 코팅층 형성 장치를 제공한다.