Abstract:
PURPOSE: A gas sensor using cobalt oxide of nano porous structure and a manufacturing method thereof are provided to manufacture a gas sensor with small primary particles since a porous gas sensor is made of Co3O4 which has nano porous structure. CONSTITUTION: A manufacturing method of a gas sensor using cobalt oxide of nano porous structure comprises following steps. The Co3O4 particle having the nano structure is formed. A film is formed by the particle and a Co3O4 gas sensitive layer of the nano porous structure is formed. The amino acid is added in the Co precursor, so the hydrothermal synthesis reaction is raised(S2). The organic acid is added more in the Co precursor and the hydrothermal synthesis reaction is raised. Oxalic acid is used as the organic acid.
Abstract translation:目的:提供一种使用纳米多孔结构的氧化钴的气体传感器及其制造方法,由于多孔气体传感器由具有纳米多孔结构的Co 3 O 4制成,因此制造具有小一次粒子的气体传感器。 构成:使用纳米多孔结构的氧化钴的气体传感器的制造方法包括以下步骤。 形成具有纳米结构的Co 3 O 4颗粒。 由该颗粒形成膜,形成纳米多孔结构的Co 3 O 4气体敏感层。 在Co前体中加入氨基酸,使水热合成反应升高(S2)。 在Co前体中加入有机酸,提高水热合成反应。 草酸用作有机酸。
Abstract:
트리메틸아민과 같은 휘발성 염기 질소 가스의 선택적 감응이 가능하도록 하는 가스 센서 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 가스 센서는 가스 감응층이 분무열분해법에 의한 산화몰리브덴(MoO 3 ) 분말로부터 형성된 것이다. 본 발명에 따른 가스 센서 제조 방법에서는, 분무열분해법에 의해 산화몰리브덴 분말을 형성한 다음, 이것을 박판 구조로 제작해 가스 감응층을 형성한다. 분무열분해법을 이용하면 미세구조를 쉽게 조절하여 가스 확산에 유리한 구조를 얻고 동시에 2차 입자의 성장을 막아 가스 감도를 큰 폭으로 향상시켜 트리메틸아민 가스에 대한 선택적 감응성을 크게 향상시킬 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A thin film for detecting gas, a gas sensor including the same, and a method for manufacturing a gas sensor and a thin film for detecting gas are provided to manufacture a porous crystalline tin oxide thin film having improved reaction with certain gas, since a thin tin film is anodized and heat-treated. CONSTITUTION: A method for forming a thin film for detecting gas comprises following steps. A thin tin film is formed on a substrate. A thin tin film is anodized, so that a porous amorphous tin oxide film may be formed. The porous amorphous tin oxide film is heat-treated, so that the porous crystalline tin oxide thin film may be formed.
Abstract:
나노소재를 이용한 기체 센서 및 그 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 나노소재를 이용한 기체 센서는 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막이 차례로 증착되어 있는 반도체 기판과; 상기 실리콘 질화막 상에 형성된 복수개의 IDE 패턴 형태의 히터 어레이로 이루어진 히터전극과; 상기 히터전극 상에 형성되며, 전극 단자부 이외의 부분에 적층되어 있는 절연층과; 상기 절연층 상에 형성된 복수개의 IDE 패턴 형태의 센서 어레이로 이루어진 센서전극과; 상기 센서전극 상에 형성되며, 나노튜브 또는 나노선이 상기 센서전극과 전기적으로 접촉하도록 분산되어 있는 감지부; 및 상기 감지부 및 전극 단자부 이외의 부분에 적층되어 있는 상부 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 기체 센서는 하나의 센서로서 다양한 오염 기체를 고감도로 감지할 수 있고, 성능의 재현성이 우수하다.
Abstract:
PURPOSE: A gas sensor using an indium oxide nano-porous spherical structure, and a manufacturing method thereof are provided to easily find out noxious gasses, such as explosiveness and poison. CONSTITUTION: A manufacturing method of a gas sensor using an indium oxide nano-porous spherical structure is as follows. A mixture of an In precursor, metallic salt, and amino acid is obtained(S1). A template is added in the mixture, and stirred. Sediment is obtained by coating the surface of the template with an In material(S2). The template is removed from the sediment, and In2O3 fine powder with a nano-porous hollow structure is formed(S3). A film is formed by the fine powder, and a gas sensitive layer is formed by heating the film.