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公开(公告)号：KR1020160018890A
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：KR1020140101448
申请日：2014-08-07
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56 , H01M4/86 , H01M4/8657 , H01M4/88 , H01M4/8828 , H01M4/9083 , H01M4/92 , H01M4/926 , H01M8/10
Abstract: 연료전지용전극은탄소를포함하는전도성코어(core) 및상기전도성코어의표면을덮도록형성되며전이금속질화물를포함하는셀(shell)로구비된코어셀지지체및 상기셀의표면에부착된백금족나노파티클로이루어진촉매층을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够防止内聚和腐蚀的燃料电池用电极及其制造方法以及燃料电池用膜电极接合体。 用于燃料电池的电极包括：由包括碳的导电芯组成的核心电池支架和形成为覆盖导电芯的表面并包括过渡金属氮化物的外壳; 以及由壳体的表面附着的铂族纳米粒子构成的催化剂层。
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公开(公告)号：KR101590720B1
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020140110732
申请日：2014-08-25
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/40
CPC classification number: C23C16/45527 , C23C16/40 , C23C16/45534
Abstract: 원자층증착공정을이용한금속인산화물박막의형성방법에있어서, 챔버내에금속전구체가스를공급하여대상체상에금속전구체를화학적으로흡착시킨다. 챔버로부터금속전구체가스중 미반응부분을제1 퍼지가스로제거한후, 챔버내에인산증기를포함하는인 전구체가스로공급하여, 대상체상에흡착된금속전구체및 인산증기를반응시킨다. 이후, 챔버로부터인 전구체가스중 미반응부분및 반응부산물을제2 퍼지가스로제거한다.
Abstract translation: 使用原子层沉积工艺形成金属磷氧化物薄膜的方法将金属前体气体提供到室中以化学吸附目标物体上的金属前体。 在使用第一吹扫气体从室中除去金属前体气体中的未反应部分之后，将含有磷酸蒸汽的磷前体气体供给到室中，以使吸附在目标物体上的金属前体和磷酸蒸汽彼此反应 。 随后，使用第二吹扫气体从室中除去磷前体气体中的未反应部分和反应副产物。
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公开(公告)号：KR101535354B1
公开(公告)日：2015-07-10
申请号：KR1020130131380
申请日：2013-10-31
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 본발명은나노입자를진동을가진파장을이용하여분산시켜개별나노입자에균일하게증착할수 있는분산을이용한원자층증착장치에관한것이다. 본발명의일실시예에의한분산을이용한원자층증착장치는파우더챔버; 상기파우더챔버와연결되어기체가상기파우더챔버로이동될수 있는가스이동관; 일정주파수의진동을일으킬수 있는파장을발생시키는파장발생부; 상기파장발생부의파장발생을제어하는파장제어부; 및상기파우더챔버및 상기파장발생부를수용하고, 상기파장발생부에서발생한파장이상기파우더챔버로전달수있도록소정매질이채워질수 있는매질챔버를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150028371A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：KR1020130099055
申请日：2013-08-21
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C28/00
CPC classification number: C23C16/448 , C23C16/24 , C23C16/34 , C23C16/44 , C23C16/4411 , C23C16/4412 , C23C16/4486 , C23C16/45525 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C28/00
Abstract: 제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치 및 방법이 개시된다. 제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치는 제논 플래시 램프를 이용 순간적인 복사열로 어닐링 공정을 수행함으로써 사용자가 어닐링 공정을 원하는 표층 박막에만 어닐링 공정을 적용할 수 있다.
Abstract translation: 在本发明中公开了一种原子层沉积装置和使用氙闪光灯的方法。 使用氙闪光灯的原子层沉积装置可以仅使用用户希望通过使用氙闪光灯进行瞬时辐射热的退火处理来进行退火处理的表面层的薄膜进行退火处理。
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