항균 구조물 및 이의 제조 방법
    3.
    发明申请
    항균 구조물 및 이의 제조 방법 审中-公开
    抗菌结构及其生产方法

    公开(公告)号:WO2016076581A1

    公开(公告)日:2016-05-19

    申请号:PCT/KR2015/011972

    申请日:2015-11-09

    CPC classification number: A61L2/238

    Abstract: 항균 구조물은 대상체 및 대상체 상에 형성되며, 상기 대상체를 향하여 입사되는 광을 이용하는 광촉매 반응에 의하여 활성 산소종(reactive oxygen species)을 생성하여 항균 기능을 수행하는 실버 프리(silver-free) 나노 박막을 포함한다. 이로써 항균 구조물은 우수한 항균 효과를 가질 수 있다.

    Abstract translation: 抗菌结构包括:物体; 以及通过使用入射光朝向物体的光催化反应产生活性氧的无银纳米薄膜,并且进行抗菌功能。 因此,抗菌结构可以具有优异的抗菌作用。

    국부 원자층 선택 박막 증착 장치
    6.
    发明申请
    국부 원자층 선택 박막 증착 장치 审中-公开
    选择区原子层沉积装置

    公开(公告)号:WO2016186299A1

    公开(公告)日:2016-11-24

    申请号:PCT/KR2016/001938

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 본 발명은, 소스 가스 및 퍼지 가스를 공급하여 기판 표면에 원자층 박막을 증착시키는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치에 있어서, 반응 챔버와, 상기 반응 챔버 내에 배치되고, 일면 상에 기판이 배치되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 상대 가동 가능하게 배치되는 컴비네이션 노즐부와, 상기 기판에 원자층 박막을 형성하기 위한 프리커서 및 산화제를 공급하는 가스 공급부가 구비되고, 상기 컴비네이션 노즐부는, 상기 기판의 일면을 선택적으로 국부 가열시키는 레이저를 조사하는 레이저 코어를 구비하고, 상기 가스 공급부는, 적어도 일부가 상기 레이저 코어에 근접 배치되고 상기 기판의 일면으로 상기 레이저 코어에 의하여 선택적으로 국부 가열되는 영역에 가열된 상기 기판 영역에 흡착되는 프리커서 및 상기 프리커서의 리간드를 제거하는 산화제를 제공하는 것을 특징으로 하는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치를 제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置,其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上,该装置包括:反应室; 设置在所述反应室内的台,设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元,设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元,其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂,其中所述组合喷嘴单元具有激光芯,所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面,并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻,并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域,其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。

    X선 형광분석 원자층 증착 장치 및 X선 형광분석 원자층 증착 방법
    10.
    发明申请
    X선 형광분석 원자층 증착 장치 및 X선 형광분석 원자층 증착 방법 审中-公开
    X射线荧光原子层沉积设备和X射线荧光原子层沉积方法

    公开(公告)号:WO2018088771A1

    公开(公告)日:2018-05-17

    申请号:PCT/KR2017/012523

    申请日:2017-11-07

    CPC classification number: C23C16/455 C23C16/52 G01N23/223

    Abstract: X선 형광분석 원자층 증착 장치는, 기판을 지지하며, 공정 공간을 제공하는 반응 챔버, 상기 공정 공간 내의 제1 진공 상태에서, 화학-흡착 공정을 통하여 상기 기판 상에 박막을 형성하기 위하여 공정 가스 공급 라인을 통하여 공급되는 공정 가스를 공급하는 가스 공급 모듈, 상기 공정 공간 내에 상기 제1 진공 상태보다 높은 제2 진공 상태에서, 상기 기판 상에 형성된 박막으로부터 발생한 X선 형광 물질을 분석하여 상기 박막에 관한 정보를 실시간으로 확보할 수 있는 검출 공정을 수행하는 X선 형광 분석 모듈 및 상기 제1 진공 및 제2 진공 상태로 사이에 진공도를 스위칭하는 스위칭 진공 모듈을 포함한다.

    Abstract translation: 一种X射线荧光原子层沉积设备包括:反应室,用于支撑衬底并提供处理空间;处理空间内的第一真空状态; 气体供应模块,用于供应通过处理气体供应管线供应的处理气体以在所述基板上形成薄膜, 包括切换模块真空切换真空的通过X射线荧光分析模块和所述第一真空和第二真空分析的荧光体之间的相似度,用于执行检测处理,可以获取信息与所述薄膜实时 。

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