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公开(公告)号：WO2018088771A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/KR2017/012523
申请日：2017-11-07
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , G01N23/223
CPC classification number: C23C16/455 , C23C16/52 , G01N23/223
Abstract: X선 형광분석 원자층 증착 장치는, 기판을 지지하며, 공정 공간을 제공하는 반응 챔버, 상기 공정 공간 내의 제1 진공 상태에서, 화학-흡착 공정을 통하여 상기 기판 상에 박막을 형성하기 위하여 공정 가스 공급 라인을 통하여 공급되는 공정 가스를 공급하는 가스 공급 모듈, 상기 공정 공간 내에 상기 제1 진공 상태보다 높은 제2 진공 상태에서, 상기 기판 상에 형성된 박막으로부터 발생한 X선 형광 물질을 분석하여 상기 박막에 관한 정보를 실시간으로 확보할 수 있는 검출 공정을 수행하는 X선 형광 분석 모듈 및 상기 제1 진공 및 제2 진공 상태로 사이에 진공도를 스위칭하는 스위칭 진공 모듈을 포함한다.
Abstract translation: 一种X射线荧光原子层沉积设备包括：反应室，用于支撑衬底并提供处理空间;处理空间内的第一真空状态; 气体供应模块，用于供应通过处理气体供应管线供应的处理气体以在所述基板上形成薄膜， 包括切换模块真空切换真空的通过X射线荧光分析模块和所述第一真空和第二真空分析的荧光体之间的相似度，用于执行检测处理，可以获取信息与所述薄膜实时 。
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公开(公告)号：KR101543858B1
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：KR1020130132081
申请日：2013-11-01
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
Abstract: 본발명은난류를유발하여나노입자상에원자층을균일하게증착할수 있는원자층증착장치에관한것이다. 본발명의일실시예에의한원자층증착장치는수평위치를달리하는복수의퍼지가스유입구가형성된챔버; 상기챔버에존재하는유체를이동시키기위한펌프; 상기챔버와상기펌프사이에위치하여상기유체의유량을조절할수 밸브; 상기복수의퍼지가스유입구로유입되는퍼지가스의유입기간및 유량을조절하는유량조절부; 및상기펌프, 상기밸브, 및상기유량조절부를제어하는제어부를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140108096A
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020130132081
申请日：2013-11-01
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
Abstract: The present invention relates to an apparatus for depositing an atomic layer. The apparatus can uniformly deposit the atomic layer on nanoparticles by generating turbulence. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for depositing an atomic layer may include a chamber on which a plurality of fuzzy gas inlets, arranged on different horizontal locations, are formed; a pump which transfers fluid existing in the chamber; a water valve which is located between the chamber and the pump and can adjust a flux of the fluid; a flux adjusting part which adjusts influx time and the flux of fuzzy gas entering into the fuzzy gas inlets; and a controlling part which controls the pump, the valve, and the flux adjusting part.
Abstract translation: 本发明涉及沉积原子层的装置。 该装置可以通过产生湍流将原子层均匀地沉积在纳米颗粒上。 根据本发明的一个实施例，用于沉积原子层的装置可以包括：在其上形成布置在不同水平位置上的多个模糊气体入口的腔室; 传送存在于腔室中的流体的泵; 位于腔室和泵之间并可调节流体通量的水阀; 调节进入模糊气体入口的模糊气体的流入时间和通量的通量调节部; 以及控制泵，阀和通量调节部的控制部。
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公开(公告)号：KR1020140107843A
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020130021923
申请日：2013-02-28
Applicant: 현대자동차주식회사 , 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/45576 , C23C16/4417 , C23C16/45544 , C23C16/52
Abstract: The present invention relates to an apparatus for uniform atomic layer deposition (ALD) on powder using multi-directional and sequential supply of a source. According to an embodiment of the present invention, the apparatus may include: a reactor having a plurality of precursor supplying holes formed thereon; and a controlling part which controls the precursor supplying hole to be sequentially opened and closed.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用多向和顺序供应源的粉末上的均匀原子层沉积（ALD）装置。 根据本发明的实施例，该装置可以包括：反应器，其上形成有多个前体供应孔; 以及控制部件，其控制前驱体供给孔依次打开和关闭。
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公开(公告)号：KR101990683B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020170089441
申请日：2017-07-14
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101550500B1
公开(公告)日：2015-09-04
申请号：KR1020130132098
申请日：2013-11-01
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
Abstract: 본발명은대용량의파우더를효율적으로이송하여원자층을증착할수 있는파우더이송형원자층증착장치에관한것이다. 본발명의일실시예에의한파우더이송형원자층증착장치는서로격리되어있는복수의전구체챔버; 상기복수의전구체챔버내에모두관통되고, 다공성물질로이루어진이송부; 및주입된파우더를상기이송부를따라이송하게하기위한펌프를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR101679903B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020130099055
申请日：2013-08-21
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C28/00
Abstract: 제논플래시램프를이용한원자층증착장치및 방법이개시된다. 제논플래시램프를이용한원자층증착장치는제논플래시램프를이용순간적인복사열로어닐링공정을수행함으로써사용자가어닐링공정을원하는표층박막에만어닐링공정을적용할수 있다.
Abstract translation: 在本发明中公开了一种原子层沉积装置和使用氙闪光灯的方法。 使用氙闪光灯的原子层沉积装置可以仅使用用户希望通过使用氙闪光灯进行瞬时辐射热的退火处理来进行退火处理的表面层的薄膜进行退火处理。
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公开(公告)号：KR1020160018890A
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：KR1020140101448
申请日：2014-08-07
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56 , H01M4/86 , H01M4/8657 , H01M4/88 , H01M4/8828 , H01M4/9083 , H01M4/92 , H01M4/926 , H01M8/10
Abstract: 연료전지용전극은탄소를포함하는전도성코어(core) 및상기전도성코어의표면을덮도록형성되며전이금속질화물를포함하는셀(shell)로구비된코어셀지지체및 상기셀의표면에부착된백금족나노파티클로이루어진촉매층을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够防止内聚和腐蚀的燃料电池用电极及其制造方法以及燃料电池用膜电极接合体。 用于燃料电池的电极包括：由包括碳的导电芯组成的核心电池支架和形成为覆盖导电芯的表面并包括过渡金属氮化物的外壳; 以及由壳体的表面附着的铂族纳米粒子构成的催化剂层。
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公开(公告)号：KR101590720B1
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020140110732
申请日：2014-08-25
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/40
CPC classification number: C23C16/45527 , C23C16/40 , C23C16/45534
Abstract: 원자층증착공정을이용한금속인산화물박막의형성방법에있어서, 챔버내에금속전구체가스를공급하여대상체상에금속전구체를화학적으로흡착시킨다. 챔버로부터금속전구체가스중 미반응부분을제1 퍼지가스로제거한후, 챔버내에인산증기를포함하는인 전구체가스로공급하여, 대상체상에흡착된금속전구체및 인산증기를반응시킨다. 이후, 챔버로부터인 전구체가스중 미반응부분및 반응부산물을제2 퍼지가스로제거한다.
Abstract translation: 使用原子层沉积工艺形成金属磷氧化物薄膜的方法将金属前体气体提供到室中以化学吸附目标物体上的金属前体。 在使用第一吹扫气体从室中除去金属前体气体中的未反应部分之后，将含有磷酸蒸汽的磷前体气体供给到室中，以使吸附在目标物体上的金属前体和磷酸蒸汽彼此反应 。 随后，使用第二吹扫气体从室中除去磷前体气体中的未反应部分和反应副产物。
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公开(公告)号：KR101535354B1
公开(公告)日：2015-07-10
申请号：KR1020130131380
申请日：2013-10-31
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 본발명은나노입자를진동을가진파장을이용하여분산시켜개별나노입자에균일하게증착할수 있는분산을이용한원자층증착장치에관한것이다. 본발명의일실시예에의한분산을이용한원자층증착장치는파우더챔버; 상기파우더챔버와연결되어기체가상기파우더챔버로이동될수 있는가스이동관; 일정주파수의진동을일으킬수 있는파장을발생시키는파장발생부; 상기파장발생부의파장발생을제어하는파장제어부; 및상기파우더챔버및 상기파장발생부를수용하고, 상기파장발생부에서발생한파장이상기파우더챔버로전달수있도록소정매질이채워질수 있는매질챔버를포함할수 있다.
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