公开(公告)号：KR1020110109962A

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：KR1020110027811

申请日：2011-03-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마츠도타츠오 ,  코시미즈치시오

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G01B9/02021 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02071 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0675 ,  H01L22/12 ,  H01L21/3065

Abstract: 원하는 기회에 소모 부재의 소모량을 측정할 수 있는 소모량 측정 방법을 제공한다. 플라즈마에 노출되는 상면(25a) 및 서셉터(12)에 대향하는 하면(25b)을 가지는 포커스링(25)의 소모량을 측정할 때, 서셉터(12)에 대향하는 하면(57b) 및 포커스링(25)에 대향하는 상면(57a)을 가지는 기준편(57)을 포커스링(25)과 열적으로 결합하고, 상면(25a) 및 하면(25b)에 대해 수직으로 포커스링(25)에 저코히어런스광을 조사하여 포커스링(25) 내를 두께 방향으로 왕복하는 저코히어런스광의 제 1 광로 길이를 계측하고, 상면(57a) 및 하면(57b)에 대해 수직으로 기준편(57)에 저코히어런스광을 조사하여 기준편(57) 내를 두께 방향으로 왕복하는 저코히어런스광의 제 2 광로 길이를 계측하고, 제 1 광로 길이 및 제 2 광로 길이의 비율에 기초하여 포커스링(25)의 소모량을 산출한다.