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公开(公告)号：KR1019980024284A
公开(公告)日：1998-07-06
申请号：KR1019970045568
申请日：1997-09-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/312
Abstract: 본 발명은 제 1 규정된 위치에서 액체-도포 부재로부터 객체에 코팅액을 도포함으로써 객체상에 막을 형성하는 장치 및 방법을 제공한다. 제 1 위치에서 코팅액을 도포하기 전에 제 2 규정된 위치에서 코팅액이 도포된다. 불순물-검출 장치는 제 2 위치에서 도포된 코팅액내에 함유된 불순물을 검출한다. 입자-카운팅 장치가 제공되며, 스위칭 장치가 코팅액의 소스로부터 액체-도포 부재로 연장되는 액체-공급 파이프상에 제공된다. 이 스위칭 장치는 액체-도포 부재와 불순물-검출 장치 사이에서 코팅액의 공급을 스위칭한다. 이와 같이 하여 코팅액내의 불순물이 모니터될 수 있다.
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