公开(公告)号：KR1019980049438A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：KR1019960068152

申请日：1996-12-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1343

Abstract: 본 발명은 평면 구동 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 기판 위에 다수의 공통 전극이 형성되어 있고, 공통 전극 상부에 게이트 절연막이 덮여 있으며, 게이트 절연막 위에는 공통 전극들 사이에 화소 전극이 형성되어 있다. 이러한 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터가 형성되어 기판 사이의 간격을 유지하는 다수의 기둥이 형성되어 있는데 이 기둥들은 화소 전극의 상부 또는 공통 전극의 상부에 유기막 또는 비전도성 무기막으로 형성되어 있다. 또한, 본 발명에 따른 평면 구동 액정 표시 장치의 제조 방법은 제1 기판에 공통 전극 및 화소 전극을 형성하는 단계, 전극 상부에 유기막을 전면적으로 도포하는 단계, 사진 식각을 통해 유기막 기둥을 형성하는 단계를 포함한다. 여기서, 유기막 기둥을 박막 트랜지스터 기판 위가 아닌 컬러 필터 기판 위에 형성을 하는 것도 가능하다. 이러한 평면 구동 액정 표시 장치 및 제조 방법에서는 유기막 기둥이 화소전극 또는 공통 전극 상부에 위치하기 때문에 빛의 투과 특성의 저하 없이 셀 간격을 유지하는 역할을 하며, 사진 식각의 방법으로 유기막 기둥을 형성하기 때문에 동일한 규격의 기둥의 형성이 가능하여 셀 간격의 균일성이 확보된다.

公开(公告)号：KR1019970028758A

公开(公告)日：1997-06-24

申请号：KR1019960013912

申请日：1996-04-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이정길 ,  남효락 ,  이정호

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1343

Abstract: 5매 마스크를 사용하여 제조된 액정표시장치의 게이트 전극패턴의 언더컷을 제거하기 위해 , 게이트전극 물질층 및 패턴화된 캡핑 금속층상에 형성된 포토레지스트를 리플로시켜 게이트전극을 습식식각하는 방법, 게이트 전극 물질층 및 캡핑 금속층 양자를 건식식각 하는 방법 및 게이트전극 물질층의 1차 습식식각 -캡핑 금속층의 습식식각-게이트전극 물질층의 2차 습식식각하는 게이트 전극 형성방법이 개시되어 있다.

公开(公告)号：KR100670062B1

公开(公告)日：2007-01-16

申请号：KR1020000047001

申请日：2000-08-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이정호 ,  남효락

IPC: G02F1/1335

Abstract: 절연 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성한 후 그 위에 적색, 녹색, 청색의 색 필터를 형성한다. 다음, ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전 물질로 이루어진 공통 전극을 기판 전면에 형성한 후, 공통 전극 위에 감광성 유기 절연막을 도포한다. 이때, 감광성 유기 절연막 대신에 음성 또는 양성의 감광막, 규소가 포함된 규소 절연막 등을 도포할 수도 있다. 다음, 슬릿 패턴이나 반투과막을 포함하는 마스크를 이용하여 감광성 유기 절연막을 패터닝하여 두께가 다른 패턴을 형성한다. 여기서, 유기 절연막은 음성, 양성 모두를 쓸 수 있으나 슬릿 패턴을 포함하는 마스크를 사용하는 경우에는 음성 유기 절연막을 사용하는 것이 유리하며, 반투과막을 포함하는 마스크를 사용하는 경우에는 양성 유기 절연막을 사용하는 것이 유리하다. 이와 같이, 슬릿 패턴이나 반투과막을 포함하는 마스크를 이용하여 형성된 얇은 유기 절연막은 프린지 필드를 형성하여 광시야각을 확보할 수 있으며, 두꺼운 유기 절연막은 스페이서로 하여 셀 갭을 줄여 응답 속도를 향상시키며, 다른 두께를 갖는 유기 절연막을 한 번의 사진 공정으로 형성하여 공정 수를 줄일 수 있다.
유기 절연막, 슬릿 패턴, 반투과막, 스페이서, 셀 갭, 응답 속도

公开(公告)号：KR100529555B1

公开(公告)日：2006-03-03

申请号：KR1019970055514

申请日：1997-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 노수귀 ,  남효락

IPC: G02F1/136

Abstract: 한 기판 내에 박막 트랜지스터, 컬러 필터 및 차광막을 모두 형성한다. 화소 전극은 유동성이 있는 ITO를 컬러 필터 상부에 도포하고, 컬러 필터 자체를 비저항이 낮은 물질로 형성함으로써 화소 전극을 따로 형성하지 않고 컬러 필터가 화소 전극의 역할을 겸하게 할 수도 있다. 이 기판과 대응되는 또 다른 기판에는 투명 전극만 전면적으로 형성한 후 조립함으로써 액정 표시 장치를 완성할 수 있다. 이와 같이, 박막 트랜지스터, 컬러 필터 및 차광막 공정을 비롯한 그 외의 성막 공정이 한 기판에 집중되어 있어서 또 다른 한 기판 공정을 단순화 할 수 있다. 따라서, 하나의 기판에 대해서는 얇은 두께의 기판을 사용하는 것이 가능해 진다.

公开(公告)号：KR100467986B1

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：KR1019960051325

申请日：1996-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  김준화

IPC: G03F1/68 ,  G03F7/26

Abstract: 본 발명에 의한 캐논 마스크는, 니콘장비를 이용하여 제1 투명기판상에 서로 소정 간격 이격되도록 제1 차광막 패턴을 형성하고, 제2 투명기판상에 차광막과 감광막을 순차적으로 형성한 후, 제1 투명기판과 제2 투명기판을 제1 차광막 패턴과 감광막이 서로 마주보도록 밀봉재를 이용하여 조립하고, 이어, 조립된 제1 투명기판의 배면에서 후면 노광을 실시하여 감광막 패턴을 형성한 후, 제1 차광막 패턴이 형성된 제1 투명기판을 제거하고, 감광막 패턴을 마스크로하여 제2 차광막 패턴을 형성하며, 감광막 패턴을 제거하여 얻어진다. 종래의 캐논 마스크 제조시 소요되는 제작기간보다 짧은 기간 내에 국내제작이 가능하면서도 제조비용 또한 다운(down)시킬 수 있는 고신뢰성의 캐논 마스크를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1020040110448A

公开(公告)日：2004-12-31

申请号：KR1020030039778

申请日：2003-06-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  이덕중 ,  김성봉 ,  오상우 ,  이정호 ,  강성철 ,  강호민

IPC: B05C5/02

CPC classification number: B05C5/02 ,  B05C11/00

Abstract: PURPOSE: Provided is a device for coating a photosensitizer solution of semiconductor devices or liquid crystal display devices by using a slit nozzle, which permits the nozzle to be maintained and repaired with ease. CONSTITUTION: The coating device comprises: a processing table(100) on which a substrate(10) is mounted; a nozzle(200) for applying a photosensitizer solution(20) on the substrate; a photosensitizer solution supplying device for supplying the photosensitizer solution to the nozzle; and a moving unit (500) having an arm(510) to which the nozzle is attached and a guide rail(520) formed at one end of the arm and connected to the arm in such a manner that the nozzle can be moved along the substrate. In the coating device, the arm of the moving unit has a sliding groove(511), wherein the sliding groove is formed so that the nozzle can be moved slidably in the direction perpendicular to the scanning direction, the scanning direction being a direction along which the photosensitizer solution is applied while the nozzle is moved along the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种通过使用狭缝喷嘴涂覆半导体器件或液晶显示装置的光敏剂溶液的装置，其允许容易地维护和修复喷嘴。 构成：涂布装置包括：安装基板（10）的处理台（100）; 用于将光敏剂溶液（20）施加到所述基底上的喷嘴（200） 用于将光敏剂溶液供应到喷嘴的光敏剂溶液供应装置; 以及具有安装喷嘴的臂（510）的移动单元（500）和形成在臂的一端并且连接到臂的导轨（520），使得喷嘴可以沿着 基质。 在涂布装置中，移动单元的臂具有滑动槽（511），其中滑动槽形成为使得喷嘴能够在垂直于扫描方向的方向上可滑动地移动，扫描方向是沿着扫描方向 当喷嘴沿衬底移动时，应用光敏剂溶液。

公开(公告)号：KR1020040106004A

公开(公告)日：2004-12-17

申请号：KR1020030037181

申请日：2003-06-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  강호민 ,  강성철

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A coating apparatus is provided to a coating solution supply arm parallel to the plane of a substrate, thereby form a coating layer having an uniform thickness on the substrate by using a balance poise for poising the coating solution supply arm. CONSTITUTION: A coating apparatus comprises a substrate support unit(1), a coating solution supply unit, and a balance poise(6). The coating solution supply unit includes a coating solution supply arm(3) and a support frame(4) for supporting the coating solution supply arm, wherein the coating solution supply arm is extended to be parallel to the plane of a substrate. The coating solution supply arm has a supply nozzle(31) distant from the plane of the substrate. The balance poise is installed at the support frame, wherein the balance poise is disposed in the opposite direction of the extension direction of the coating solution supply arm.

Abstract translation: 目的：向涂布液供给臂平行于基板的平面设置涂布装置，通过平衡度使涂布液供给臂平坦化，在基板上形成均匀厚度的涂布层。 构成：涂覆装置包括基板支撑单元（1），涂布液供应单元和平衡阀（6）。 涂布液供给单元包括用于支撑涂布液供给臂的涂布液供给臂（3）和支撑框架（4），其中涂布液供给臂被延伸成平行于基板的平面。 涂布液供给臂具有远离基板的平面的供给喷嘴（31）。 平衡泊安装在支撑框架处，其中平衡泊布置在与涂布溶液供应臂的延伸方向相反的方向上。

公开(公告)号：KR1020040102521A

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：KR1020030034013

申请日：2003-05-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  오상우 ,  강호민

IPC: G03F7/16

Abstract: PURPOSE: A coating device is provided to carry out selective coating with a photosensitive liquid to only desired area by forming pluralities of discharging parts in a nozzle, and thus to minimize the amount of the photosensitive liquid and to eliminate an additional process for removing certain parts of the coated layer. CONSTITUTION: The coating device comprises: a supporting plate; a nozzle for spraying the photosensitive liquid to a substrate mounted on the supporting plate; a device for supplying the photosensitive liquid to the nozzle; and a transferring device to relatively move the nozzle and the substrate, wherein the nozzle has pluralities of discharging parts(220a, 220b, 220c) for the photosensitive liquid.

Abstract translation: 目的：提供一种涂覆装置，通过在喷嘴中形成多个排出部件，将光敏液体选择性地涂覆到所需区域，从而使感光液体的量最小化，并消除用于去除某些部件的附加处理 的涂层。 构成：涂布装置包括：支撑板; 用于将感光液体喷射到安装在支撑板上的基板上的喷嘴; 用于将光敏液体供给到喷嘴的装置; 以及用于相对移动喷嘴和基板的转印装置，其中喷嘴具有用于感光液体的多个排出部分（220a，220b，220c）。

公开(公告)号：KR1020020013307A

公开(公告)日：2002-02-20

申请号：KR1020000047001

申请日：2000-08-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이정호 ,  남효락

IPC: G02F1/1335

Abstract: PURPOSE: A color filter substrate for an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to obtain a large viewing angle by forming a multi-domain without patterning a common electrode. CONSTITUTION: A BM(Black Matrix,12) is formed on a substrate(11), and an RGB(Red,Green,Blue) color filter(13) is formed between the BM and the substrate. A common electrode(14) made of ITO(Indium Tin Oxide) or IZO(Indium Zinc Oxide) is formed on the color filter. The common electrode is also formed on the BM. The common electrode on the BM is recessed, compared to one formed on the color filter. Photosensitive organic insulating films(16,17) are patterned on the common electrode. The organic insulating films have different thickness depending on the positions. The organic insulating film(16) formed on the common electrode on the color filter is thinner than the other film(17) formed on the recessed part of the common electrode. A multi-domain is formed with a fringe field by a protrusion pattern of the photosensitive organic insulating film without patterning the common electrode of the color filter. Therefore, the LCD obtains a large viewing angle.

Abstract translation: 目的：提供一种用于LCD（液晶显示器）的滤色器基板，通过在不构图公共电极的情况下形成多畴来获得大的视角。 构成：在基板（11）上形成BM（黑矩阵12），并且在BM和基板之间形成RGB（红，绿，蓝）滤色器（13）。 在滤色器上形成由ITO（氧化铟锡）或IZO（氧化铟锌）制成的公共电极（14）。 公共电极也形成在BM上。 与在滤色器上形成的公共电极相比，BM上的公共电极是凹陷的。 在公共电极上图案化感光性有机绝缘膜（16,17）。 根据位置，有机绝缘膜的厚度不同。 形成在滤色器上的公共电极上的有机绝缘膜（16）比形成在公共电极的凹部上的另一膜（17）薄。 通过感光性有机绝缘膜的突起图案，在不形成滤色器的公共电极的情况下，通过边缘场形成多畴。 因此，LCD获得大的视角。

公开(公告)号：KR1020000066502A

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：KR1019990013666

申请日：1999-04-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 노수귀 ,  남효락

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1335

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a color pattern on array type active matrix substrate is provided to improve the process efficiency by forming a color pattern through an electrodeposition method. CONSTITUTION: A method for manufacturing a color pattern on array type active matrix substrate comprises the steps of: forming a gate electrode layer(2) and a gate insulating layer(3) on a base substrate(1); forming an active pattern(4) on the gate insulating layer; forming an electrodepositing plate(8) on the gate insulating layer apart from the active pattern; covering the active pattern, forming a source and a drain electrode layer(5,6) on the gate insulating layer, and patterning the source and the drain layers; forming an organic layer(7) on the electrodepositing plate; patterning the organic layer and forming a color pattern(9) of a predetermined size on the electrodepositing plate; patterning the organic layer and forming a pixel electrode layer on an upper portion of the organic layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造阵列型有源矩阵基板上的彩色图案的方法，以通过电沉积法形成彩色图案来提高工艺效率。 构成：在阵列型有源矩阵基板上制造彩色图案的方法包括以下步骤：在基底（1）上形成栅电极层（2）和栅绝缘层（3）; 在所述栅极绝缘层上形成有源图案（4）; 在所述栅极绝缘层上形成与所述活性图案分开的电沉积板（8）; 覆盖有源图案，在栅极绝缘层上形成源极和漏极电极层（5,6），并对源极和漏极层进行构图; 在所述电沉积板上形成有机层（7）; 图案化有机层并在电沉积板上形成预定尺寸的颜色图案（9）; 图案化有机层并在有机层的上部形成像素电极层。