반도체 소자제조용 스피너 설비

    公开(公告)号:KR1019970051935A

    公开(公告)日:1997-07-29

    申请号:KR1019950067566

    申请日:1995-12-29

    Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조공정중 사진공정장비에 사용되는 스피너 장비에 관한 것으로 특히 설비의 구조를 개선하여 공정시간을 단축시킬 수 있도록한 사진공정정용 스피너 장비에 대한 것이다.
    종래의 스피너 설비는 공정의 처리속도가 늦어 상대적으로 후속공정인 스텝퍼의 공정진행 속도를 따라가지 못하여 수율이 저하되는 문제점이 있었다.
    본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 코터부와 현상부를 구비한 스피너설비에 아암과 코터 및 현상기를 추가로 형성하여 공정의 진행속도를 높여주도록 한 것이다.

    포토 공정 도포 장치의 드레인 포토 레지스트 재사용 시스템
    22.
    发明公开
    포토 공정 도포 장치의 드레인 포토 레지스트 재사용 시스템 无效
    光处理涂布机的光阻再利用系统

    公开(公告)号:KR1019950025911A

    公开(公告)日:1995-09-18

    申请号:KR1019940001899

    申请日:1994-02-02

    Abstract: 본 발명은 반도체 포토(photo) 공정의 포토레지스트(photoresist : 이하 P/R이라 한다)도포장치에 사용되는 P/R 공급 시스템에 관한 것으로 1) 스텍필터부의 카트리지를 통해 자동 드레인되는 감광액을 P/R 바틀부로 리턴되도록 배관계를 형성하거나, 2) 중간 탱크부에서 기포를 제거하기 위하여 자동 드레인 되는 감광액 및 스텍 필터부의 카트리지를 통해 드레인되는 감광액을 모두 P/R 바틀부로 리턴되도록 배관계를 형성함으로써 P/R 손실을 줄여 원가절감 및 생산성 증가를 달성할 수 있을 뿐 아니라 바틀 교체 주기 연장으로 인해 가동을 향상에 기여할 수 있는 고신뢰성의 포토 공정 도포장치의 드레인 P/R 재사용 시스템을 실현할 수 있게 된다.

    홈알에프 시스템에서 장애인용 서비스 방법
    23.
    发明授权
    홈알에프 시스템에서 장애인용 서비스 방법 失效
    家庭射频系统残疾人的服务方式

    公开(公告)号:KR100601595B1

    公开(公告)日:2006-09-22

    申请号:KR1019980049496

    申请日:1998-11-18

    Inventor: 김나연 박경신

    Abstract: SWAP을 기반으로 하는 홈알에프 시스템내에서의 장애인을 위한 서비스 방법이 개시되어 있다. 본 발명은 정상사용모드와 장애 사용모드가 설정된 복수개의 노드와 CP(Control Point)를 구비하여 SWAP(Shared Wireless Access Protocol)을 채용하는 홈알에프(Home RF) 시스템에서 장애인을 위한 서비스 방법에 있어서, 상기 홈알에프(Home RF) 단말의 시퀀스를 통해 각 노드를 정상 사용 모드에서 장애인 사용 모드로 전환하는 과정, 상기 과정에서 설정된 장애인 사용 모드를 소정 패킷의 일부 비트에 할당하여 상기 SWAP의 소정 프레임을 통해 전송하는 과정, 상기 과정에서 전송된 패킷을 분석하여 장애인 모드로 전환된 각 노드에 대한 장애인용 서비스 모드로 설정되는 과정, 상기 과정에서 요청된 장애인용 서비스에 맞추어 통화 데이터를 변환하는 과정을 포함한다.

    고속으로동기하는위상동기루프(PLL)장치및방법
    24.
    发明公开
    고속으로동기하는위상동기루프(PLL)장치및방법 失效
    用于高速同步的相位锁定环路的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020000046484A

    公开(公告)日:2000-07-25

    申请号:KR1019980063170

    申请日:1998-12-31

    Inventor: 박경신

    Abstract: PURPOSE: A phase locked loop device synchronizing at a high speed is provided to maintain the phase noise characteristics excellently by operating the PLL synchronization at a high speed. CONSTITUTION: A phase detector(202) detects a phase difference between a reference frequency and a feedback oscillation frequency and outputs a DC voltage. A voltage controlled oscillator(204) changes the oscillation frequency by the DC voltage detected from the phase detector(202). A memory(212) stores voltage data controlling the voltage controlled oscillator corresponding to a range of a tuning frequency. A microprocessor(206) reads the voltage controlled data, calculates a code value corresponding to the tuning frequency, and synchronizes the reference frequency and the feedback oscillation frequency.

    Abstract translation: 目的:提供以高速同步的锁相环装置,以通过高速操作PLL同步来保持相位噪声特性。 构成:相位检测器(202)检测参考频率和反馈振荡频率之间的相位差,并输出直流电压。 压控振荡器(204)通过从相位检测器(202)检测到的直流电压来改变振荡频率。 存储器(212)存储控制与调谐频率范围对应的压控振荡器的电压数据。 微处理器(206)读取压控数据,计算与调谐频率对应的代码值,并使参考频率和反馈振荡频率同步。

    이동통신시스템의오디오레벨제어장치및방법

    公开(公告)号:KR1019990060303A

    公开(公告)日:1999-07-26

    申请号:KR1019970080525

    申请日:1997-12-31

    Inventor: 박경신

    Abstract: 이동전화기 및 소형컴퓨터로 구성되는 복합단말기의 오디오 레벨 제어장치가, 이동전화모드 및 컴퓨팅 작업모드를 감지하는 스위치를 구비하며, 스위치의 모드에 따라 컴퓨팅 작업 모드시 상기 이동전화기의 오디오신호의 레벨을 자동으로 크게 증폭한다.

    반도체소자 제조용 스텝퍼
    26.
    发明公开
    반도체소자 제조용 스텝퍼 无效
    用于半导体器件制造的步进器

    公开(公告)号:KR1019970051934A

    公开(公告)日:1997-07-29

    申请号:KR1019950067563

    申请日:1995-12-29

    Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조공정중 포토 리소그래피에 사용되는 스텝퍼치의 구조에 관한것으로, 특히 노광장치에서 사용되는 램프의 강도 저하를 방지할 수 위한 반도체소자 제조용 스텝퍼에 대한 것이다.
    종래의 스텝퍼의 광학계 구조는 UV단파가 렌즈 열화 및 유기이온과의 반응을 가속시키며, 각종 유기이온의 조명계 침투를 차단할 수 없어서 램프의 강도가 저하되는 문제점이 있었다.
    본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, UV에 의한 상기 렌즈의 열화를 차단하는 필터수단 및 광학계내의 유기이온 물질을 제거하기 위한 공기정화수단을 포함하여, 조명계의 열화 및 각종 유기이온과 UV단파와의 반응도를 둔화 시키고, 각종 유기이온의 조명계 침투를 차단하여 램프의 강도가 저하되는 것을 효과적으로 감소시킬 수 있도록 한 것이다.

    화학기상성장 장치의 보트와 본체의 접촉구조

    公开(公告)号:KR1019970027361A

    公开(公告)日:1997-06-24

    申请号:KR1019950040098

    申请日:1995-11-07

    Abstract: RF 출력회로의 출력이 접촉구조를 통해서 웨이퍼가 적재되어 있는 보트가 연결되며, 상기한 보트에 적재되어 있는 웨이퍼는 일정한 간격을 두고 서로 마주보면서 배치되어 전극역할을 함으로써 RF 파워에 의해 플라즈마 필드가 형성되도록 하는 화학기상성장 장치에 있어서, 상기한 접촉구조는, 상기한 보트의 하단부에 고정되어 있는 보트측 고정 컨택트와, 상기한 보트측 고정 컨택트의 길이보다 소정치만큼 유격차를 가지며 상기한 보트의 하단부에 설치되어 보트측 유동 컨택트와, 상기한 보트측 유동 컨택트가 탄성을 가지도록 하기 위한 스프링과, 상기한 보트측 고정 컨택트 및 보트측 유동 컨택트와 면접촉되기 위한 한쌍의 홈이 설치되어 있는 본체측 컨택트를 포함하여 이루어지며, 유격차를 가짐으로써 정렬이 이루어지도록 하고, 접촉면적을 넓힘으로써 접촉을 견고하게 할 수 있는 효과를 가진 화학기상성장 장치의 보트와 본체의 접촉구조를 제공한다.

    트랩(Trap)
    28.
    发明授权
    트랩(Trap) 失效
    陷阱(陷阱)

    公开(公告)号:KR1019940009573B1

    公开(公告)日:1994-10-15

    申请号:KR1019920000808

    申请日:1992-01-21

    Inventor: 김역환 박경신

    Abstract: The trap includes a vacuum chamber in which first and second connection pipes are formed on its both sides, and a plurality of plate mash filters installed to have an opening part which divides the internal space of the vacuum chamber from the first connection pipe and also leads through the adjacent internal space.

    Abstract translation: 捕集器包括真空室,其中在其两侧形成有第一和第二连接管,并且多个板式捣碎过滤器被安装成具有将真空室的内部空间与第一连接管分隔开的开口部分,并且还引导 通过相邻的内部空间。

    직교주파수분할다중화수신기초기주파수동기장치및그방법

    公开(公告)号:KR100453031B1

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:KR1019980059396

    申请日:1998-12-28

    CPC classification number: H04L27/2675 H04L27/2659 H04L2027/0028

    Abstract: Coarse frequency offset estimation method and device in an orthogonal frequency division multiplexing (OFDM) receiver are provided. The coarse frequency offset estimation device includes a buffer for receiving demodulated symbol X(k) and cyclic shifting the symbol X(k) by a predetermined shift amount d and outputting shifted symbol X(k+d), a reference symbol generator for generating a reference symbol Z(k), a counter for counting the shift amount of d, a partial correlation for receiving the shifted symbol X(k+d) and the phase reference symbol Z(k) and calculating a partial correlation valuewith respect to K divided bands, wherein a range of shift amount d is between -N/2 and N/2, and a maximum detector for obtaining a shift amount of d by which the partial correlation value is maximum, and outputting the shift amount of d as an estimated coarse frequency offset value. Thus, stable coarse frequency offset estimation can be performed by a small number of calculations.

    Abstract translation: 提供了正交频分复用(OFDM)接收机中的粗频偏估计方法和装置。 该粗略频率偏移估计装置包括用于接收解调符号X(k)并将符号X(k)循环移位预定移位量d并输出移位符号X(k + d)的缓冲器,用于生成 参考符号Z(k),计数d的移位量的计数器,接收移位符号X(k + d)和相位参考符号Z(k)的部分相关,并计算关于K划分的部分相关值 其中偏移量d的范围在-N / 2和N / 2之间;以及最大值检测器,用于获得偏移量d,其中偏移量d是估计的偏移量,d的偏移量作为估计值 粗略的频率偏移值。 因此,可以通过少量的计算来执行稳定的粗略频率偏移估计。

    이동통신단말기의출력전원제어장치및방법

    公开(公告)号:KR100444273B1

    公开(公告)日:2004-11-03

    申请号:KR1019980031231

    申请日:1998-07-31

    Abstract: PURPOSE: An output power-supply control device outputs the output power-supply of various steps according to a transmission power level(i.e., output level), and reduces a power-consumption. CONSTITUTION: An output power-supply control device includes a battery(10), and converter(20) for converting a DC voltage applied to a battery to a predetermined level DC voltage. Resistors(R4¯R7) are serially connected between an output terminal of the converter and a ground terminal. The switches(50,60) are connected between contact points of the resistors and an output terminal of the converter, are turned on or off by a switching signal. A controller(70) outputs a switching signal which differently divides an output DC voltage of the converter according to a transmitting/receiving mode of the terminal and a transmission power level. Thereby, the output power-supply control device outputs the output power-supply of various steps according to the output level, and reduces a power-consumption.

    Abstract translation: 目的:输出电源控制装置根据发送功率电平(即输出电平)输出各个步骤的输出电源,并减少功耗。 本发明的输出电源控制装置包括电池(10)和将施加在电池上的直流电压转换为规定电平的直流电压的转换器(20)。 电阻器(R4和R7)串联连接在转换器的输出端子和接地端子之间。 开关(50,60)连接在电阻器的接点与变换器的输出端子之间,由开关信号导通或关断。 控制器(70)根据终端的发送/接收模式和发送功率电平输出不同地划分转换器的输出DC电压的切换信号。 由此,输出电源控制装置根据输出电平输出各个步骤的输出电源,并降低功耗。

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