Abstract:
A plasma accelerating apparatus and a plasma processing system having the same are provided to supply uniformly a plasma beam to an etching substrate or a sputtering target by forming obliquely one of an inner wall and an outer wall of a plasma channel. A channel(110) includes an inner wall(112), an outer wall(114) surrounding the inner wall, and an end wall(116) for forming an outlet(110a) in order to open one end of the outer wall by connecting the inner wall and the other end of the outer wall. A gas supply unit(120,190) supplies gas to the inside of the channel. A plasma generating/accelerating unit(130) generates a plasma beam by supplying ionization energy to the gas of the channel and accelerates the plasma beam to the outlet. The inner wall of the channel and at least one of the outer walls are formed obliquely at a constant angle in order to approach the outlet to a center of the channel.
Abstract:
RF 탑 채널 신호의 이상 유무 판별을 통한 최적 기록 파워 결정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 RF 탑 채널 신호의 이상 유무 판별을 통한 최적 기록 파워 결정방법은 데이터의 기록 시작 명령이 인가되는 단계, 광기록 매체의 PCA 내의 카운터 영역을 검사하여 OPC를 수행할 소정 위치를 결정하고, PCA 내의 테스트 영역에 EFM 신호를 기록하는 단계, PCA에 수 회 기록된 테스트 데이터를 순차적으로 독출시 생성되는 RF 탑 채널 신호 및 RF 바툼 채널 신호를 A/D 샘플링한 후, 샘플링된 RF 탑 채널 신호의 노이즈 레벨을 체크하는 단계 및 샘플링된 RF 탑 채널 신호의 노이즈 레벨이 미리 설정된 소정 기준치보다 큰 경우, 최적 기록 파워 검출에 에러가 발생한 것으로 판단하여, 현재 OPC 수행중인 PCA 내의 소정 영역을 포기하고, PCA 내의 소정 신규 영역에서 OPC를 재수행하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 탑 채널 신호의 이상 유무를 간단히 판별하여 탑 채널 신호에 이상이 있는 경우, OPC를 재수행함으로써 보다 정확하게 최적 기록 파워를 결정할 수 있는 장점이 있다. OPC, PCA, RF, 노이즈, 탑 채널 신호, 바툼 채널 신호
Abstract:
전자기유도 가속장치를 위한 전자회전공명장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 전자회전공명(Electron Cyclotron Resonance) 플라즈마(plasma)방법에 의한 전자회전공명장치를 설계함에 있어 전자기파를 사용하지 않고 무선 바이어스(RF bias)에 의한 전기장을 이용한다. 상기의 전기장은 전자회전공명장치 내부에 회전하는 전자의 회전 주파수와 일치되게 시간적으로 변하면서 전자의 회전에 공명이 발생하게 한다. 이러한 공명에 의하여 가열된 전자가 이온화를 촉진하여 플라즈마의 생성효율을 극대화한다. 이에 의하여, 전자기파를 발생하기 위한 장치 및 전자기파를 전자회전공명장치로 전달하기 위한 가이드(guide) 등의 장치를 필요로 하지 아니한다. 전자회전공명장치, 플라즈마, 공진, 가속기, 코일, RF-bias, 식각
Abstract:
감마 곡선의 해석을 이용한 최적 기록 파워 결정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 감마 곡선의 해석을 이용한 최적 기록 파워 결정방법은 데이터의 기록 시작 명령이 인가되는 단계, 광기록 매체의 PCA 내의 카운터 영역을 검사하여 OPC를 수행할 소정 위치를 결정하고, PCA 내의 테스트 영역에 EFM 신호를 기록하는 단계, PCA 영역에 수 회 기록된 테스트 데이터를 순차적으로 독출시 생성되는 RF 신호를 샘플링하여 검출된 최대 레벨의 광량과 최소 레벨의 광량에 기초하여 변조도를 산출하고, 변조도로부터 커브 피팅(curve fitting)에 의해 변조도 곡선을 추정하는 단계, 변조도 곡선으로부터 감마 곡선을 산출하고, 산출된 감마 곡선이 3차 함수 이상의 고차함수에 대응하는 곡선인지 판단하는 단계 및 감마 곡선이 3차 함수 미만의 소정 함수에 대응하는 곡선인 경우, 감마 곡선에 기초하여 최적 기록 광파워를 결정하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, OPC 수행시 얻어진 감마곡선이 3차 함수 이상의 고차함수에 대응하는 곡선인 경우, 노이즈가 있는 것으로 판단하고 OPC를 재수행한다. 따라서, OPC 수행시 보다 정확하게 최적 기록 광파워를 검출할 수 있는 장점이 있다. OPC, PCA, 변조도, 감마 곡선, 노이즈
Abstract:
본 발명은 DVD 플레이어 동작 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 DVD 플레이어마다 초기 재생 시에 각각 다른 오프셋 값을 설정하고 조정하는 DVD 플레이어의 오프셋 조정 장치 및 방법에 관한 것이다. DVD 플레이어의 오프셋 조정 장치는 DVD 플레이어 초기 재생 시마다 기준 횟수만큼 오프셋 값으로 광 픽업에 구비된 포토다이오드에 의해 광 디스크로부터 검출되는 ABCD 신호를 합산한 SUM 신호, 광 픽업에 구비된 포커스 렌즈의 위치 조정값, 광 디스크를 회전시키는 CLV 조정값, 광 디스크의 편차 조정값을 측정하고 평균하여 기준 오프셋 값을 설정하는 오프셋 측정부, 오프셋 측정 횟수를 카운트하는 카운터, 오프셋 측정 횟수가 기준 횟수와 같아지면, 측정된 오프셋을 평균하여 DVD 플레이어의 기준 오프셋 값으로 설정하는 연산부, DVD 플레이어 초기 재생 시에 측정된 오프셋 값과 기준 오프셋 값을 비교하는 비교부 및 비교 결과 이후 DVD 플레이어 초기 재생 시에 측정된 오프셋 값과 기준 오프셋 값이 다른 경우, DVD 플레이어 초기 재생 시에 측정된 오프� �� 값을 기준 오프셋 값으로 조정하는 오프셋 조정부를 포함한다.
Abstract:
컴팩트 디스크 드라이브의 에러 처리방법이 개시된다. 본 발명에 의하면, 오디오 전용 디스크인 CDDA 디스크에 기록된 오디오 파일 재생 중 스크래치와 같은 디스크 결함으로 인해 재생에러가 발생되어 현재 재생중인 곡을 재생할 수 없는 경우, 자동으로 다음 곡이 재생되도록 처리함으로써 연속적으로 오디오 파일을 재생할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A method and a device for preventing malfunction of a disk driver is provided to prevent the malfunction due to the 3T correction function by selectively performing the 3T correction function depending on an operation state of the disk driver. CONSTITUTION: A DSP(Digital Signal Processor)(104) is equipped with a function to correct a 3T signal by using an RF(Radio Frequency) signal generated depending on the operation of the disc driver. A system controller(105) turns on the 3T correction function if the operation state is a stable state by monitoring the operation state of the disc driver. After turning on the 3T correction function, the system controller monitors the operation state of the disc driver and turns off the 3T correction function if the operation state is an unstable state.
Abstract:
A gas exhausting apparatus is provided to exhaust the air around a connector through an exhausting unit by forming a negative pressure inside an adapter. A gas exhausting apparatus includes an adapter(200) and an exhausting unit. An adapter surrounds a part of a gas supply line(140) and a connector(150). The adapter is composed of an upper adapter(210) and a lower adapter(220). The upper adapter and the lower adapter include a corresponding flange. The upper adapter and the lower adapter are combined by the flange. A fitting(230) is formed in one side of the upper adapter. The exhausting unit is connected to the adapter by the fitting. The exhausting unit includes a flexible pipe(251) and a vacuum unit. The flexible pip is connected to the fitting. The vacuum unit forms the negative pressure in the flexible pipe. A gap is formed between the adapter and the connector. The air passing through the gap with the gas around the connector is exhausted through the exhausting unit.
Abstract:
OPC기록과 OPC측정 완료 후 광원구동특성 학습 재수행을 통한 OPC수행방법 및 이를 적용한 광기록장치가 제공된다. 본 OPC수행방법은, OPC를 위한 시험기록인 OPC기록과 OPC기록상태 측정인 OPC측정을 수행하는 단계, OPC기록과 OPC측정이 완료된 후에 광원의 구동특성을 학습하여 광원구동특성을 획득하는 학습단계, 및 OPC기록상태와 학습단계에서 획득한 광원구동특성을 이용하여 광원에서 최적 기록파워의 광이 출사되도록 하는 광원구동레벨인 최적 광원구동레벨 결정하는 OPC계산단계를 포함한다. 이에 의해, OPC계산은 온도 상승 후의 광원구동특성에 기반하여 이루어지기에, 최적 광원구동레벨이 정확하게 결정된다. 파워학습, OPC기록, OPC측정, OPC계산