公开(公告)号：KR100561866B1

公开(公告)日：2006-03-17

申请号：KR1020040013564

申请日：2004-02-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정창훈 ,  임성택 ,  정재우 ,  이재창

IPC: B41J2/045

Abstract: 압전 방식 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식 잉크젯 프린트헤드는, 서로 접합되는 두 개의 기판, 즉 하부 기판과 상부 기판을 구비한다. 하부 기판과 상부 기판의 접합면을 기준으로 그 각각에 대칭되게 잉크 유로가 형성된다. 잉크 유로는, 잉크 도입구와 매니폴드를 가진 공통 유로와 다수의 리스트릭터와 다수의 압력 챔버와 다수의 노즐을 가진 개별 유로를 포함한다. 하부 기판과 상부 기판 각각의 바깥쪽 표면에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래와 동일한 크기의 압력 챔버에 보다 큰 구동력을 제공할 수 있으므로 잉크 토출 성능이 향상되며, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소되므로 제조 공정이 단순화되어 제조 비용이 저감된다.

公开(公告)号：KR100561864B1

公开(公告)日：2006-03-17

申请号：KR1020040013562

申请日：2004-02-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임승모 ,  유경희 ,  정재우

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/162 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646

Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 노즐 플레이트 표면에 소수성 코팅막을 형성하는 방법이 개시된다. 개시된 소수성 코팅막 형성 방법은, 다수의 노즐이 형성된 노즐 플레이트를 준비하는 단계와, 노즐 플레이트의 표면에 금속층을 형성하는 단계와, 금속층을 덮는 보호막을 형성하는 단계와, 보호막을 선택적으로 식각하여 금속층 중 노즐 플레이트의 바깥쪽 표면에 형성된 부분을 노출시키는 단계와, 노즐 플레이트를 황 화합물이 함유된 용액 내에 침지하여 노출된 금속층의 표면에 황 화합물로 이루어진 소수성 코팅막을 형성하는 단계를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 노즐 플레이트의 바깥쪽 표면에만 선택적으로 균일한 소수성 코팅막을 용이하게 형성할 수 있게 되므로, 노즐을 통한 잉크 액적의 토출 성능이 향상된다.

公开(公告)号：KR1020050087637A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：KR1020040013561

申请日：2004-02-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이화선 ,  정재우 ,  임승모 ,  강성규

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2002/14491 ,  Y10T29/42

Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 압전 액츄에이터 및 그 형성 방법이 개시된다. 개시된 압전 액츄에이터는, 압력 챔버를 가진 유로형성 기판 위에 형성되는 하부 전극과, 유로형성 기판 위에 상기 하부 전극과 절연되도록 형성되며, 그 상면에 전압 인가용 구동 회로가 본딩되는 본딩 패드와, 압력 챔버에 대응하는 위치의 하부 전극 위에 형성되며, 그 일단은 본딩 패드 위까지 연장된 압전막과, 압전막 위에 형성되며, 그 일단은 압전막의 일단을 넘어서 본딩 패드의 상면에 접촉되도록 연장된 상부 전극을 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 압전막의 면적이 줄어 들어 액츄에이터의 응답 속도가 높아지게 되고, 액츄에이터에 전압 인가용 구동 회로를 보다 견고하고 안정되며 용이하게 연결할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1020040082740A

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：KR1020030017388

申请日：2003-03-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임승모 ,  정재우 ,  이재창

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/314 ,  Y10T29/42

Abstract: PURPOSE: A piezoelectric actuator of an ink jet print head and a method for fabricating the same are provided to prevent a piezoelectric film from being broken when a polling process is carried out or the ink jet print head is driven. CONSTITUTION: A piezoelectric actuator(120) of an ink jet print head is provided on an upper portion of a vibrating plate(113) forming an upper wall of a pressure chamber(114) so as to transfer driving force to the pressure chamber(114) by deforming the vibrating plate(113). The piezoelectric actuator(120) has a lower electrode(121) acting as a common electrode, a piezoelectric film(122), which is deformed as current applied thereto, and an upper electrode(123) acting as a driving electrode. The lower electrode(121), the piezoelectric film(122) and the upper electrode(123) are sequentially stacked on the vibrating plate(113).

Abstract translation: 目的：提供喷墨打印头的压电致动器及其制造方法，以防止在执行轮询处理或喷墨打印头被驱动时压电膜被破坏。 构成：喷墨打印头的压电致动器（120）设置在形成压力室（114）的上壁的振动板（113）的上部，以将驱动力传递到压力室（114） ）使振动板（113）变形。 压电致动器（120）具有用作公共电极的下电极（121），作为电流施加的电压变形的压电膜（122）和用作驱动电极的上电极（123）。 下电极（121），压电膜（122）和上电极（123）依次层叠在振动板（113）上。

公开(公告)号：KR1020030050477A

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：KR1020010080908

申请日：2001-12-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재우 ,  이재창 ,  임승모

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1618 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2002/14306 ,  B41J2002/14475

Abstract: PURPOSE: An ink jet printer head of a piezoelectric type is provided to enhance a junction characteristic of a substrate, and to reduce a number of the substrate by stacking and connecting three single crystal silicon substrate. CONSTITUTION: An ink jet head is formed by stacking a plurality of thin plate. A nozzle(11a) is formed on a first plate. A reservoir(12a) and an ink outlet(12b) are formed at a second plate. The ink inlet(13a) and the ink outlet(13b) are formed at a third plate. The ink inlet(14a) and the ink outlet(14b) are formed at a fourth plate. A pressure chamber(15a) communicated to the ink inlet(14a) and the ink outlet(14b) are formed at a fifth plate. A driving electrode(20) and a piezoelectric film(21) are formed at a sixth plate. The above plates are stacked and connected sequently.

Abstract translation: 目的：提供一种压电型喷墨打印机头，以增强基板的结特性，并通过堆叠和连接三个单晶硅基板来减少多个基板。 构成：通过堆叠多个薄板形成喷墨头。 喷嘴（11a）形成在第一板上。 在第二板上形成储存器（12a）和墨水出口（12b）。 墨水入口（13a）和墨水出口（13b）形成在第三个板上。 墨水入口（14a）和墨水出口（14b）形成在第四个板上。 在第五板上形成连通到墨水入口（14a）和墨水出口（14b）的压力室（15a）。 驱动电极（20）和压电膜（21）形成在第六板上。 上述板块后续堆叠并连接。

公开(公告)号：KR100366767B1

公开(公告)日：2003-01-06

申请号：KR1019990055277

申请日：1999-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이경일 ,  박준식 ,  황학인 ,  최연식 ,  박광범 ,  신상모 ,  김성진 ,  정재우

IPC: B41J2/045

Abstract: PURPOSE: A piezoelectric actuator manufacturing method is provided to optimize an actuator to have a larger displacement for lowering an ink discharge voltage and increasing the integration degree at a same voltage by reducing the size of a vibration plate. CONSTITUTION: A piezoelectric actuator manufacturing method includes the steps of realizing a relationship among a piezoelectric constant, electric fields and a center displacement of a vibration plate(1), realizing a relationship between an area of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate, realizing a relationship between a ratio of a width of a piezoelectric element(2) with respect to a width of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate, realizing a relationship between an aspect ratio of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate, realizing a relationship between a thickness of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate when a thickness ratio between the vibration plate and the piezoelectric element is fixed, realizing a relationship between the thickness of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate when the thickness of the piezoelectric element is fixed uniformly, realizing a relationship between the thickness of the piezoelectric element and the center displacement of the vibration plate in case of a silicon substrate, realizing a relationship between the thickness of the vibration plate and the center displacement of the vibration plate when a maximum thickness of the piezoelectric element is determined, and realizing a relationship between the thickness of the piezoelectric element and the center displacement of the vibration plate when a minimum thickness of the vibration plate is determined.

Abstract translation: 目的：提供一种压电致动器制造方法，以通过减小振动板的尺寸来优化致动器以具有用于降低墨水排出电压的较大位移并且增加在相同电压下的集成度。 本发明的压电致动器制造方法包括以下步骤：实现压电常数，电场与振动板（1）的中心位移之间的关系，实现振动板的面积与振动的中心位移之间的关系 实现压电元件（2）的宽度相对于振动板的宽度的比率与振动板的中心位移之间的关系，实现振动板的纵横比与中心之间的关系 当振动板和压电元件之间的厚度比被固定时，实现振动板的厚度和振动板的中心位移之间的关系，实现振动板的厚度和 振动板在压电层厚度时的中心位移 在硅基板的情况下，实现压电元件的厚度与振动板的中心位移之间的关系，实现当振动板的厚度与振动板的中心位移之间的关系 确定压电元件的最大厚度，并且当确定振动板的最小厚度时，实现压电元件的厚度与振动板的中心位移之间的关系。

公开(公告)号：KR100327252B1

公开(公告)日：2002-03-23

申请号：KR1019990024962

申请日：1999-06-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이승돈 ,  정재우

IPC: B41J2/045

Abstract: 본발명은잉크젯프린트헤드액츄에이터와그의제조방법에관한것으로서, 평판의진동판과, 이진동판에일체로결합되고, 판면에상하로관통되어소정의잉크를유입및 유출시키게되는다수개의챔버가일정한간격으로형성되며, 챔버는진동판측상단부로부터하단부로수평단면적이점차적어지는형상이고, 챔버간격벽인챔버벽은진동판측상단부로부터하단부로수평단면적이점차넓어지는형상으로되는챔버판과, 이진동판의챔버와대응되는면에적층되고, 전기적인힘에의해서변형과복원을반복하면서기계적인변형을하는압전체와이 압전체에전원을공급하는전극을결합한형상이며, 진동판을휨변형시키는구동수단으로되며, 상기압전체의변형과복원시발생되는수평력(Fh)과진동판의휨 변형시발생되는휨모멘트(M)와챔버판의접합력을 F라고하고, 이에의한저항모멘트(M)를 M= F· d(d는챔버벽의접합면에서그 중심으로부터챔버측단부간접합되는저항길이)라할 때, 저항모멘트(M)는총 모멘트(M)보다는적어도큰 식 F· d >> M+ Fh · h를만족토록하므로서챔버판에형성되는챔버의진동판측수평단면적이보다확장되고, 챔버간격벽인챔버벽의유로판부재와의접합단면이진동판측과연결되는단면적보다넓게형성되게하므로서진동판의휨변형모멘트를보다증강되게하여헤드의사용수명이연장될수 있도록하는데특징이있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种喷墨打印头致动器及其制造的方法中，作为整体地联接到隔膜和板的二进制铜板，是在板表面上通过上下多个室由此进入和离开以规则的间隔在给定墨水的 室壁具有水平横截面从隔膜的上端到下端逐渐变宽的形状，以及具有腔室板的腔室板 被层压到一个相应的表面，形状，其结合了一个电极，用于由所述电功率供电给压电体和机械变形该压电物质，重复所述变换和恢复，以及一个振动板与驱动器装置，用于弯曲变形时，压电的 F被称为变形和恢复弯矩（M）和在该水平力（FH）的弯曲变形过程中产生的压力室板的粘结力，并从所产生的和，在阻力矩膜片（M ）对于M = F·d（长度d是电阻），其从中心拉哈勒在腔室壁的接合面中，至少比电阻力矩（M）neunchong力矩（M）公式F更大的总和室侧端部间接·d >> M + Fh的·H hameuroseo以往hameuroseo延伸得比形成在所述腔室板的腔室的振动板侧的水平横截面面积，从而在腔室壁上的流场板部件之间的接合部分的腔室间隙壁形成为比连接到振动板一侧的截面积更宽满足该膜片的一 这样可以进一步增加变形的弯曲力矩，从而延长头部的使用寿命。

公开(公告)号：KR100327251B1

公开(公告)日：2002-03-23

申请号：KR1019990024959

申请日：1999-06-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김일 ,  정재우 ,  유영석

IPC: B41J2/045

Abstract: 본발명은박판의진동판과챔버판의사이에보호박막이일체로적층되도록한 후챔버판의후가공에의해서보다정밀하게챔버가형성될수 있도록하는잉크젯프린트헤드의액츄에이터와그의제조방법에관한것으로서, 본발명은금속재의박판으로구비되는챔버판과진동판을에칭정지층인보호박막과일체로결합되도록한 후챔버판을리소그라피공정과에칭공정에의해패터닝하여챔버판에는다수의챔버가균일한크기와간격으로형성되도록하는것으로서, 이때챔버판과진동판의사이에개입시키게되는보호박막은챔버를형성시에칭정지층으로이용되며, 제품에적용되어서는잉크와의접촉에의한진동판의부식등이방지되게하므로서제작성과제품성능이향상될수 있도록하는것이다.

公开(公告)号：KR100327248B1

公开(公告)日：2002-03-04

申请号：KR1019990021346

申请日：1999-06-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재우 ,  유영석 ,  장광균

IPC: B41J2/16

Abstract: 본발명은잉크젯프린트헤드용폴리이미드계노즐의표면에폴리이미드계노즐과금속층을접착시켜주기위한접착층을진공증착법에의하여형성하는단계와; 형성된접착층위에전도성이우수한전도층을진공증착법에의하여형성하는단계와; 상기접착층과전도층으로구성된시딩층이형성된폴리이미드계노즐에발수물질을도금하는단계와; 도금된노즐을열처리하고발수물질을공석석출시키는단계를포함하는잉크젯프린트헤드용폴리이미드계노즐의발수처리방법에관한것으로, 우수한가공성을가진폴리이미드계노즐의표면만발수처리하여반영구적잉크젯프린트헤드에적용함으로써잉크젯프린트헤드의수율을향상시킬수 있으며, 노즐에발수특성이우수한발수층이균일하게형성되어노즐구멍크기의불균일성이배제되므로인쇄품질이우수한효과가있다.

公开(公告)号：KR1020020006736A

公开(公告)日：2002-01-26

申请号：KR1020000040091

申请日：2000-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재우 ,  권명종 ,  유영석

IPC: B41J2/235

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method for a vibration plate and a chamber of an ink jet print head is provided to reduce the plating time by using a thin plate type metal as a chamber plate instead of forming the chamber plate by electroforming, and simplify the thickness control of parts with improved thickness deviation. CONSTITUTION: A manufacturing method for a vibration plate and a chamber of an ink jet print head includes the steps of preparing a chamber plate(10) in the shape of thin metal plate of desired thickness, forming an etching-suspension layer(14) on the chamber plate, forming a vibration plate(16) of a desired thickness on the etching-suspension layer by electroforming, patterning a lower part of the chamber plate, and forming chambers(12) by etching the patterned chamber plate.

Abstract translation: 目的：提供一种用于振动板和喷墨打印头的室的制造方法，通过使用薄板型金属作为室板来减少电镀时间，而不是通过电铸形成室板，并且简化厚度控制 的部件具有改善的厚度偏差。 构成：用于振动板和喷墨打印头的室的制造方法包括以下步骤：制备具有所需厚度的薄金属板形状的室板（10），形成蚀刻悬浮层（14）到 室板，通过电铸在蚀刻悬浮层上形成期望厚度的振动板（16），图案化室板的下部，以及通过蚀刻图案化的室板来形成室（12）。