구리-탄소 나노섬유 및 그 제조방법
    22.
    发明公开
    구리-탄소 나노섬유 및 그 제조방법 有权
    CU-C NANOFIBER及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020140127541A

    公开(公告)日:2014-11-04

    申请号:KR1020130045993

    申请日:2013-04-25

    Abstract: 본 발명은 내산화 특성과 공정 단순화를 구현할 수 있는 구리-탄소 나노섬유의 제조방법을 위하여, 구리전구체 및 유기물(有機物)을 포함하는 구리전구체-유기물 나노섬유를 형성하는 단계; 및 상기 유기물의 탄소를 산화하고, 동시에, 상기 구리전구체를 구리로 환원하도록 상기 구리전구체-유기물 나노섬유를 선택적 산화 열처리함으로써, 구리-탄소 나노섬유를 형성하는 단계;를 포함하는, 구리-탄소 나노섬유의 제조방법을 제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种能够提供抗氧化性能并实现工艺简化的铜 - 碳纳米纤维的制备方法,提供一种制备铜 - 碳纳米纤维的方法,该方法包括以下步骤: 铜前体 - 有机材料含铜前体和有机材料的纳米纤维; 对铜前体 - 有机材料纳米纤维进行选择性氧化热处理以氧化有机材料的碳,并减少铜前体的铜,从而形成铜 - 碳纳米纤维。

    반도체 소자 및 그 제조방법
    23.
    发明授权
    반도체 소자 및 그 제조방법 有权
    半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR101326711B1

    公开(公告)日:2013-11-08

    申请号:KR1020120002726

    申请日:2012-01-10

    Abstract: 본 발명은 신뢰성이 향상된 반도체 소자 및 그 제조방법을 위하여, 하부 구조체, 하부 구조체 상에 형성된 MPTMS(mercaptopropyltrimethoxysilane)를 포함하는 장벽층, 장벽층 상에 형성된 도전층을 포함하는, 반도체 소자 및 그 제조방법이 제공된다.

    Abstract translation: 对于可靠性,本发明是改进的半导体器件及其制造方法,所述下部结构的方法,其包括形成在其下的结构,包括形成在所述阻挡层中,半导体器件及其制造的方法上的导电层的MPTMS(巯基丙基)的势垒层 等等。

    반도체 소자 및 그 제조방법
    25.
    发明公开
    반도체 소자 및 그 제조방법 有权
    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130081749A

    公开(公告)日:2013-07-18

    申请号:KR1020120002726

    申请日:2012-01-10

    Abstract: PURPOSE: A semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided to secure an even step coverage property by using a self-assembled monolayer. CONSTITUTION: A barrier layer (120) comprises a Mercapto Propyl Tri Methoxy Silane (MPTMS). The barrier layer comprises a monomolecular film. The MPTMS is formed on a substructure (110). A conductive layer (130) is formed on the barrier layer. The conductive layer comprises a copper.

    Abstract translation: 目的:提供一种半导体器件及其制造方法,以通过使用自组装单层来确保均匀阶梯覆盖性。 构成:阻挡层(120)包含巯基丙基三甲氧基硅烷(MPTMS)。 阻挡层包含单分子膜。 MPTMS形成在子结构(110)上。 导电层(130)形成在阻挡层上。 导电层包括铜。

    절연층 누설전류 평가장치 및 그 제조방법
    26.
    发明授权
    절연층 누설전류 평가장치 및 그 제조방법 有权
    用于评估介电层的漏电流的装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR101244919B1

    公开(公告)日:2013-03-18

    申请号:KR1020120000478

    申请日:2012-01-03

    Abstract: PURPOSE: A device for evaluating the leakage current of a dielectric layer and a method for fabricating the same are provided to prevent thermo mechanical stress from being concentrated in a specific region. CONSTITUTION: A substrate includes silicon and a scalloped part. An insulating layer(120a) is formed on the substrate. A diffusion barrier layer(130a) is formed on the insulating layer. A conductive pad(140a) is formed on the diffusion barrier layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于评估介电层的漏电流的装置及其制造方法,以防止热机械应力集中在特定区域。 构成:衬底包括硅和扇形部分。 在基板上形成绝缘层(120a)。 在绝缘层上形成扩散阻挡层(130a)。 导电焊盘(140a)形成在扩散阻挡层上。

    이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 인쇄 박막
    27.
    发明授权
    이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 인쇄 박막 有权
    使用移动快速热退火制造印刷膜的方法和使用其制造的印刷膜

    公开(公告)号:KR101107559B1

    公开(公告)日:2012-01-31

    申请号:KR1020100031849

    申请日:2010-04-07

    Abstract: 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 인쇄 박막이 개시된다. 본 발명의 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법은 금속 나노입자를 용매와 분산제를 포함하는 유기 첨가제와 혼합하여 금속 나노입자 잉크를 형성하는 단계; 상기 금속 나노입자 잉크를 기판에 도포하는 단계; 및 상기 금속 나노입자 잉크가 도포된 기판을 관형의 이동식 열원을 갖는 이동식 급속 열처리 장치를 사용하여 수평으로 이동하면서 급속 열처리하여, 상기 유기 첨가제를 신속하게 제거하면서 금속 나노입자를 조밀한 결정립으로 성장시키는 단계를 포함한다. 본 발명의 이동식 급속 열처리를 이용하여 형성한 인쇄 박막은 두께 방향으로 균일한 미세구조를 가지며, 낮은 비저항을 갖는다. 또한, 이동식 급속 열처리는 열처리 시간이 짧으며, 실온에서 진행하면서도 건조 공정이 별도로 필요하지 않아 공정이 간단하다.

    금속과 탄소나노튜브 복합재료 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 복합재료 박막
    30.
    发明公开
    금속과 탄소나노튜브 복합재료 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 복합재료 박막 有权
    形成金属/碳纳米管复合膜和金属/碳纳米管复合膜的方法

    公开(公告)号:KR1020110093346A

    公开(公告)日:2011-08-18

    申请号:KR1020100013332

    申请日:2010-02-12

    Abstract: PURPOSE: A method for forming a metal/carbon nanotube composite film and a metal/carbon nanotube film manufactured by the same are provided to secure excellent mechanical and electric characteristics against bending and tensile strain by arranging carbon nanotube in a specific direction. CONSTITUTION: A method for forming a metal/carbon nanotube composite film is as follows. Metal nanoparticles and carbon nanotube(10) are dispersed in the same solvent to make composite ink. The composite ink is spread on a substrate(1) and plasticized in a vacuum or inactive atmosphere to restrict the growth of grains and form a thin film. The thin film is plasticized by releasing the vacuum or inactive atmosphere in order to accelerate the growth.

    Abstract translation: 目的:提供用于形成金属/碳纳米管复合膜的方法和由其制造的金属/碳纳米管膜,以通过沿特定方向布置碳纳米管来确保优异的抗弯曲和拉伸应变的机械和电特性。 构成:金属/碳纳米管复合膜的形成方法如下。 将金属纳米颗粒和碳纳米管(10)分散在相同的溶剂中以制备复合油墨。 将复合油墨铺展在基材(1)上并在真空或无活性气氛中增塑以限制晶粒的生长并形成薄膜。 通过释放真空或无活性气氛来增塑薄膜,以加速生长。

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