公开(公告)号：KR101326711B1

公开(公告)日：2013-11-08

申请号：KR1020120002726

申请日：2012-01-10

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  연한울 ,  이영주 ,  이재갑 ,  이치영 ,  한정석

IPC: H01L21/31

Abstract: 본 발명은 신뢰성이 향상된 반도체 소자 및 그 제조방법을 위하여, 하부 구조체, 하부 구조체 상에 형성된 MPTMS(mercaptopropyltrimethoxysilane)를 포함하는 장벽층, 장벽층 상에 형성된 도전층을 포함하는, 반도체 소자 및 그 제조방법이 제공된다.

Abstract translation: 对于可靠性，本发明是改进的半导体器件及其制造方法，所述下部结构的方法，其包括形成在其下的结构，包括形成在所述阻挡层中，半导体器件及其制造的方法上的导电层的MPTMS（巯基丙基）的势垒层 等等。

公开(公告)号：KR101531154B1

公开(公告)日：2015-06-25

申请号：KR1020140017385

申请日：2014-02-14

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  연한울

IPC: H01L27/115

CPC classification number: H01L27/11507

Abstract: 본발명은양호한소자특성을가지는비정질산화물박막기반의저항변화소자및 그제조방법을위하여, 제 1 전극, 상기제 1 전극상의제 2 전극, 및상기제 1 전극과상기제 2 전극사이에개재된비정질산화물박막을포함하는저항변화소자를제공한다. 상기비정질산화물박막은내부에금속입자들이분산되어분포하며, 상기비정질산화물박막에전기장이인가될때 상기금속입자들이상기제 1 전극과상기제 2 전극을전기적으로연결하는전도성필라멘트)의적어도일부를형성할수 있다.

Abstract translation: 本发明提供了一种电阻开关装置，其包括第一电极，形成在第一电极上的第二电极和位于第一电极和用于电阻式开关装置的第二电极之间的非晶氧化物薄膜，其基于 具有高器件特性的无定形氧化物薄膜及其制造方法。 金属颗粒分布在无定形氧化物薄膜中。 当施加电场时，金属颗粒形成电连接第一电极和第二电极的导电细丝的至少一部分。

公开(公告)号：KR1020130081749A

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：KR1020120002726

申请日：2012-01-10

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  연한울 ,  이영주 ,  이재갑 ,  이치영 ,  한정석

IPC: H01L21/31

CPC classification number: H01L21/76843 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76877 ,  H01L21/76898

Abstract: PURPOSE: A semiconductor device and a manufacturing method thereof are provided to secure an even step coverage property by using a self-assembled monolayer. CONSTITUTION: A barrier layer (120) comprises a Mercapto Propyl Tri Methoxy Silane (MPTMS). The barrier layer comprises a monomolecular film. The MPTMS is formed on a substructure (110). A conductive layer (130) is formed on the barrier layer. The conductive layer comprises a copper.

Abstract translation: 目的：提供一种半导体器件及其制造方法，以通过使用自组装单层来确保均匀阶梯覆盖性。 构成：阻挡层（120）包含巯基丙基三甲氧基硅烷（MPTMS）。 阻挡层包含单分子膜。 MPTMS形成在子结构（110）上。 导电层（130）形成在阻挡层上。 导电层包括铜。

公开(公告)号：KR101244919B1

公开(公告)日：2013-03-18

申请号：KR1020120000478

申请日：2012-01-03

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  연한울 ,  이영주

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A device for evaluating the leakage current of a dielectric layer and a method for fabricating the same are provided to prevent thermo mechanical stress from being concentrated in a specific region. CONSTITUTION: A substrate includes silicon and a scalloped part. An insulating layer(120a) is formed on the substrate. A diffusion barrier layer(130a) is formed on the insulating layer. A conductive pad(140a) is formed on the diffusion barrier layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于评估介电层的漏电流的装置及其制造方法，以防止热机械应力集中在特定区域。 构成：衬底包括硅和扇形部分。 在基板上形成绝缘层（120a）。 在绝缘层上形成扩散阻挡层（130a）。 导电焊盘（140a）形成在扩散阻挡层上。

公开(公告)号：KR101365996B1

公开(公告)日：2014-02-24

申请号：KR1020120051692

申请日：2012-05-15

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  김병준 ,  연한울 ,  신해아슬

IPC: G01N3/20

Abstract: 본 발명은 한 번의 실험으로 다양한 조건에서 유연 기판 구조체의 열화특성을 분석할 수 있는 평가방법을 제공한다. 본 발명의 일 관점에 따르면 적어도 일면에 평가대상체가 형성된 유연 기판 구조체의 상기 일면 또는 상기 일면의 반대면인 타면의 양측부를 서로 대향하도록 배치된 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트에 각각 결합시키는 단계; 상기 제 1 플레이트에 나란한 방향으로 상기 제 2 플레이트가 왕복 슬라이딩 이동하며, 상기 제 2 플레이트가 왕복 슬라이딩 이동하는 동안 상기 유연 기판 구조체의 서로 다른 복수의 영역 각각에 서로 다른 응력모드가 인가되는 단계;를 포함하며, 상기 서로 다른 복수의 영역 각각에는 적어도 하나의 평가대상체가 배치되도록 하는, 유연 기판 구조체의 열화특성 평가방법이 제공된다.

公开(公告)号：KR1020130127865A

公开(公告)日：2013-11-25

申请号：KR1020120051692

申请日：2012-05-15

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 주영창 ,  김병준 ,  연한울 ,  신해아슬

IPC: G01N3/20

CPC classification number: G01N3/20 ,  G01N2203/0023 ,  G01N2203/0064 ,  G01N2203/0066

Abstract: The present invention provides an evaluation method for analyzing the degradation of a flexible substrate structure in various conditions. According to one point of view of the present invention, the prevent invention provides the method for evaluating the degradation of the flexible substrate structure comprising: a step for coupling both sides of the flexible substrate structure having one side on which a target evaluating object is formed to first and second plates facing each other; and a step for applying different stress modes to multiple sections of the flexible substrate structure while the second plate slidingly reciprocates in parallel to the first plate, wherein at least one target evaluating object is arranged on the multiple sections.

Abstract translation: 本发明提供一种用于分析各种条件下柔性基板结构的劣化的评价方法。 根据本发明的一个观点，本发明提供了一种用于评估柔性基板结构的劣化的方法，包括：将柔性基板结构的两侧连接起来的步骤，所述柔性基板结构的一侧上形成有目标评估对象 到彼此面对的第一和第二板; 以及在所述第二板与所述第一板平行地滑动地往复运动的情况下，将不同的应力模式应用于所述柔性基板结构的多个部分的步骤，其中至少一个目标评估对象被布置在所述多个部分上。