Abstract:
본 발명은 FET형 바이오센서에 관한 것이다. 상기 FET형 바이오센서는, 소스, 드레인, 게이트 영역이 형성된 반도체 기판, 상기 소스, 상기 드레인, 상기 게이트 전극과 각각 연결되는 다수 개의 금속 배선층, 상기 게이트 전극과 상기 금속 배선층들 간의 전기적 절연을 위하여 형성되는 절연층, 소자를 보호하기 위하여 상기 절연층의 표면에 형성하는 소자 보호막, 상기 소자 보호막 및 상기 절연층을 개재하여 상기 게이트 전극의 상부에 형성되는 금속 박막, 상기 금속 박막위에 형성되는 자기조립 단분자막을 구비한다. 상기 금속 박막과 상기 게이트 전극의 사이의 절연층 및 소자 보호막에 하나 또는 다수개의 비아홀을 형성하고, 상기 비아홀의 내부에는 전기전도성 물질을 충진하여 상기 금속 박막과 상기 게이트 전극을 전기적 연결시킨다. FET, 바이오센서, Aspect Ratio
Abstract:
본발명의실시예는오폐수관리시스템에관한것이다. 특히, 본실시예에서는오폐수관의내부에 LADAR 모듈이배치될수 있고, LADAR 모듈과연결된제1 관리모듈이오폐수관의외벽부에배치될수 있으며, 설정개수의제1 관리모듈들과신호전달가능하게연결된제2 관리모듈에의해서오페수관의내부상태가관제센터에실시간으로전달될수 있다. 따라서, 본발명에서는 LADAR 모듈을이용하여오폐수관을실시간으로모니터링할수 있으며, 관제센터가오폐수관을유지보수및 교체를적기에실시할수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A solar cell using a core-shell nanowire is provided to obtain high efficiency by forming an electrode after a previously manufactured core-shell nanowire is laminated on a substrate in parallel. CONSTITUTION: A first electrode (20) is laminated on a substrate (10). A core-shell nanowire (30) is horizontally laminated on the first electrode. The core-shell nanowire includes a core part (31) and a shell part (33) to surround the core part. The core part of the core-shell nanowire is formed with an n-type semiconductor. The shell part of the core-shell nanowire is formed with a p-type semiconductor. A second electrode (40) is connected to the core part of the core-shell nanowire on both ends of the core-shell nanowire.
Abstract:
본 명세서에서는 ZnO 나노선을 이용한 UV 센서 제조 방법 및 UV 센서를 제공한다. 본 명세서의 일 실시예에 따른 ZnO 나노선을 이용한 UV 센서 제조 방법은 기판에 나노선 FET 소자를 형성하는 단계, 상기 소자에서 형성된 나노선에 Ti 나노 입자를 형성하는 단계, 및 상기 Ti 나노입자를 열공정으로 산화시켜 TiO 2 나노입자를 상기 나노선의 표면에 코팅시키는 단계를 포함한다.
Abstract:
PURPOSE: An apparatus for displaying three dimensional images is provided to improve the reality of the three dimensional images by efficiently using light. CONSTITUTION: A first polarized light separator(111) separates incident light into S-wave polarized light and P-wave polarized light. A second polarized light separator(112) separates the separated S-wave polarized light into S-wave polarized light and P-wave polarized light. A first liquid crystal display device(121) reflects and modulates the separated S-wave polarized light or P-wave polarized light from the second polarized light separator into P-wave polarized light and S-wave polarized light. A third polarized light separator(113) separates the separated P-wave polarized light into S-wave polarized light and P-wave polarized light. A second liquid crystal display device reflects and modulates the P-wave polarized light and the S-wave polarized light into S-wave polarized light and P-wave polarized light.
Abstract:
본 발명은 티타늄막을 이용한 FET형 바이오센서에 관한 것이다. 상기 FET형 바이오센서는 동일한 반도체 기판위에 형성되는 기준신호용 소자 및 센서용 소자를 구비하며, 상기 기준 신호용 소자는 상기 반도체 기판에 형성된 소스, 드레인, 게이트 절연막, 다결정 실리콘층, 제1 금속층 및 제2 금속층으로 이루어지며, 상기 센서용 소자는 소스, 드레인, 게이트 절연막, 반도체 박막, 제4 금속층, 제3 금속층으로 이루어진다. 상기 제2 금속층은 상부에 자기조립단분자막이 형성되지 않도록 하기 위하여 상기 제1 금속층 위에 형성되며, 상기 제3 금속층은 상부에 자기조립단분자막이 형성될 수 있도록 하기 위하여 상기 제4 금속층 위에 형성된다. 상기 기준 신호용 소자의 제1 금속층과 상기 센서용 소자의 제4 금속층은 티타늄 박막으로 이루어지며, 상기 제2 금속층은 플래티늄(Pt) 박막으로 이루어지며, 상기 제3 금속층은 금(Au)으로 이루어진다. 바이오센서, 센서용소자, 기준신호용 소자, 티타늄