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公开(公告)号：KR100691800B1
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020040114464
申请日：2004-12-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것으로, 스퍼터링으로 비정질 실리콘 박막을 형성하기 때문에, 그 비정질 실리콘 박막에는 수소의 함량이 거의 없어, 탈수소화 공정을 생략하여 고분자 기판의 변형 및 비정질 실리콘 박막에서 크랙의 발생을 방지할 수 있어 소자의 특성이 우수해지는 효과가 있다.
다결정, 실리콘, 수소, 스퍼터링, 변형-
公开(公告)号：KR100605124B1
公开(公告)日：2006-07-28
申请号：KR1020030067795
申请日：2003-09-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B33/10
Abstract: 본 발명은 종이 기판을 이용한 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 말거나 접을 수 있는 얇은 두께의 유연성을 가진 종이 기판으로 사용함으로써, 패널 형태를 좀 더 다양하게 변형할 수 있으며, 또한, 종이기판의 표면에 보호막을, 예컨대 파릴렌으로 이루어진 보호막을 형성함으로써 종이 자체가 가지고 있는 흡습성과, 거친 표면으로 인한 패널의 수명 및 발광 효율 등의 저하를 방지할 수 있도록 한다.
유기, 전계, 발광, 표시, 패널, 종이기판, 파릴렌, 보호막-
公开(公告)号：KR100550377B1
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020020075741
申请日：2002-12-02
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B32B27/00
Abstract: 본 발명은 기능성 고분자 필름 기판에 관한 것으로 보다 자세하게는 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막에 관한것이다.
본 발명의 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막은 기존의 기능성 고분자 필름 기판에 있어서, 하드 코팅막을 페릴렌을 사용하여 하드 코팅한 구조로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 플렉시블 디스플레이 필름기판용 기능성 보호막은 투습율 및 투산소율이 획기적으로 감소되어 가스차단성이 우수해짐에 의해 디스플레이의 신뢰성이 증가하고, 기계적 강도가 다른 필름에 비해 우수한 효과가 있다.
플렉시블 디스플레이, 기능성 보호막, 페릴렌, 고분자 필름-
公开(公告)号：KR100481613B1
公开(公告)日：2005-04-11
申请号：KR1020020028411
申请日：2002-05-22
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/861 , B82Y30/00
Abstract: 본 발명은 연성 고분자 기판에 적용 가능한 박막 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명의 실시예는, 기판 위에 연성 재질의 하부 전극이 형성되고, 상기 기판과 하부 전극의 상부에 유기물질의 절연막이 도포되는 단계, 하부 전극과 대응되는 위치의 절연막의 상부 마스크가 도포되는 단계, 건식 식각을 이용하여 절연막을 패터닝(patterning)하는 단계, 하부전극의 일부 영역에 상부 전극이 형성되는 단계를 포함한다.
따라서, 본 발명은 하부 전극과 상부 전극 사이에 절연막과 마스크를 형성한 박막 다이오드 구조로 인해 연성 고분자 기판에 적용 가능하고, 또한 하부 전극을 연성 재질로 형성하고 절연막을 유기 물질로 형성함으로써 연성 고분자 기판에 적용시 기판의 변형이나 전극의 균열이 방지될 수 있어 소자의 안정성 및 신뢰성이 향상될 수 있는 효과를 제공하여 준다.
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