公开(公告)号：KR101469533B1

公开(公告)日：2014-12-05

申请号：KR1020130061787

申请日：2013-05-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김원근 ,  한철종 ,  권순형 ,  이정노 ,  오민석 ,  김지완 ,  유병욱 ,  김영훈

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: G01N27/205 ,  G01N15/0826 ,  G01N33/0004 ,  G01N33/0027

Abstract: 본 발명은 물질의 수분, 산소 등을 포함하는 외기의 침투율을 측정하는 장치에 관한 것으로, 본 실시예에 따른 기판의 외기 침투율 측정을 위한 반응 물질 카트리지는 기판을 투과한 외기와의 접촉에 따라 반응하는 반응 물질을 포함하는 반응부; 상기 반응부를 수용하며, 상기 반응 물질의 상기 외기와의 접촉에 따른 변화를 측정하는 측정부에 탈착 가능한 카트리지 몸체; 및 상기 카트리지 몸체를 차폐하며, 상기 반응 물질과 상기 외기의 접촉을 위하여 상기 카트리지 몸체에서 박리되는 차폐수단을 포함한다. 본 발명에 따르면 카트리지화된 가스 투과도 측정 장치 및 방법을 이용함으로써 종래의 기술에 비해 정밀하고 신뢰성 있는 데이터 확보가 가능하여 플렉서블 AMOLED 등의 새로운 응용분야에 필요한 제품의 신뢰성 평가가 용이할 수 있다. 또한 기판이 수용되는 부분도 카트리지 형태로 제작하여 상대적으로 장착 및 지지가 자유롭지 않은 유연 기판을 측정하고자 할 때 장치 외부에서 간편하게 작업할 수 있어서 측정자 간의 균일도 오류를 줄일 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量包括材料的水分，氧气等的室外空气的渗透率的装置。 根据本实施方式，用于测量基板的室外空气渗透率的反应性材料筒包括：反应部，其包括反应性材料，所述反应性材料与通过所述基板的室外空气接触而反应; 容纳反应部分并且可以根据室外空气和反应性材料之间的接触测量变化的测量部件拆卸的盒体; 以及屏蔽装置，其屏蔽盒体并且为了反应性材料和室外空气之间的接触目的而从盒体剥离。 根据本发明，与现有技术相比，使用筒式气体透过率测量装置和方法可以确保更准确和可靠的数据，从而有助于新应用所需产品的可靠性评估，例如灵活性 AMOLED的。 此外，容纳衬底的部分可以以盒形式制造。 因此，在测量不能相对自由地安装和支撑的柔性基板时，可以方便地在设备的外部执行操作，从而减少测量者之间的均匀性误差。

公开(公告)号：KR101456238B1

公开(公告)日：2014-11-13

申请号：KR1020120153255

申请日：2012-12-26

Applicant: 전자부품연구원 ,  중앙대학교 산학협력단

Inventor： 김영훈 ,  오민석 ,  김지완 ,  박성규

IPC: H01L21/268

Abstract: 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치이 개시된다. 본 자외선 램프 장치는 샘플탑재부와 내부에 챔버 공간을 가지고 샘플탑재부를 에워싸는 구조를 갖는 하우징을 구비하되, 챔버 공간의 상부에는 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 하우징의 일영역에는 상기 샘플탑재부의 탑재된 샘플에 상기 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스 주입부를 구비한다.