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公开(公告)号:KR101659416B1
公开(公告)日:2016-09-30
申请号:KR1020150027608
申请日:2015-02-26
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: G01N27/4146 , H01L21/02236 , H01L21/26513 , H01L21/31116 , H01L29/0649 , H01L29/0673 , H01L29/42356 , H01L29/42364
Abstract: 본발명은, 나노선전계효과센서를제조하는기술에관한것으로, 벌크실리콘기판을사용하여나노선전계효과센서의제조비용을절감함과아울러집적도를향상시킬수 있도록한 것이다. 또한, 그물망구조를가지며그물망의각 측벽에핀이수직방향으로배열되고핀이게이트절연막으로도포된구조로형성된나노그물망을구비함으로써, 감지면적이넓어져그만큼감도가향상되고, 구조적으로안정성을확보할수 있도록한 것이다.
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公开(公告)号:KR101263188B1
公开(公告)日:2013-05-10
申请号:KR1020110034860
申请日:2011-04-14
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: G01N27/30 , G01N27/406 , B82B1/00
CPC classification number: H01L29/775 , B82Y40/00 , G01N27/06 , G01N27/3278 , G01N33/48707 , H01L29/66477
Abstract: 본발명은반복되는패턴을갖는네트워크구조의나노선을사용함으로써높은효율과구조적안정성을얻을수 있는네트워크구조의나노선을구비한나노선센서에관한것으로, 기판상부에형성된소스전극및 드레인전극, 상기소스전극및 드레인전극사이에형성되며, 교차점의패턴이반복되는네트워크구조로형성된나노선및 상기나노선에고정되며외부에서유입되는대상물질과선택적으로반응하는탐지물질을포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR101444260B1
公开(公告)日:2014-09-26
申请号:KR1020120140109
申请日:2012-12-05
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: G01N27/414
CPC classification number: H01L29/775 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , H01L29/66439
Abstract: 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 나노선의 적층으로 3차원 구조로 형성하여 직선형 나노선 센서에 비하여 넓은 노출 표면적을 갖도록 함으로써 대상물질이 나노선에 부착되는 확률을 높이고 이를 통해 측정 감도를 향상할 수 있는 구조의 나노선을 갖춘 나노선 센서를 제공하여 나노선의 전기전도도(conductance 또는 resistance)의 변화를 더욱 민감하게 감지할 수 있어서 센서의 감도를 높일 수 있는 장점이 있다
또한, 상층부 나노선의 경우 매질이 나노선의 상부 및 측면부 뿐 아니라 하부에도 차게 되어 소자의 동작이 GAA(Gate-all-around) 와 같이 되어, 나노선의 게이트 제어능력이 향상됨에 따라 감도가 증가하게 된다.
또한, 병렬로 배치된 나노선의 영향으로 높은 전도도를 갖는 나노선이 전체 소자의 전도도에 영향을 미치게 되므로, 소자의 켜짐 특성이 병렬 연결된 나노선 중 우수한 성능의 나노선에 의하여 주요한 영향을 받아 평균적인 소자의 켜짐 특성이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.-
公开(公告)号:KR1020090079742A
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:KR1020080005918
申请日:2008-01-18
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 , 우석생명과학원(주)
Abstract: A multi-biomolecule detection plate of pattern recognition type is provided to analyze the patteren of signal generated from biomolecule probe and easily detect pathogenic microorganism. A multi-biomolecule detection plate of pattern recognition comprises a specific biomolecule probe of 2-100 rows and identical standard biomolecule probe row on a substrate. The specific biomolecule probe rows are different each other and parallel. The standard biomolecule probe row is parallel with the specific biomolecule probe row and the probes are arranged in turn. A detection plate analyzes the pattern of signal generated from the biomolecule probe. The biomolecule probe is selected from oligonucleotide, cDNA, protein, carbonhydrate and metabolic product. The biomolecule is originated from pathogenic microorganism. The microorganism is Baillus, Camphylobacter, Clostridium, Escherichia, Legionella, Listeria, Salmonella, Shigella, Staphylococcus, Vibrio, and Yersinia.
Abstract translation: 提供了一种模式识别型的多生物分子检测板,用于分析生物分子探针产生的信号,容易检测致病微生物。 图案识别的多生物分子检测板包括2-100行的特异性生物分子探针和在基底上相同的标准生物分子探针行。 特定的生物分子探针行彼此不同,并且平行。 标准生物分子探针行与特定的生物分子探针行平行,并依次布置探针。 检测板分析从生物分子探针产生的信号的模式。 生物分子探针选自寡核苷酸,cDNA,蛋白质,碳水化合物及代谢产物。 生物分子来源于病原微生物。 微生物是芽孢杆菌属,弯孢菌属,梭菌属,大肠杆菌属,军团菌属,李斯特菌属,沙门氏菌属,志贺氏菌属,葡萄球菌属,弧菌属和耶尔森菌属。
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