-
公开(公告)号：KR101873255B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160120538
申请日：2016-09-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L33/00 , H01L33/30 , H01L33/34 , H01L21/306
Abstract: 에피택셜리프트오프(Epitaxial Lift-Off; ELO)에의한반도체소자의제조방법은, 제1 기판상에 III-V족화합물을포함하는희생층을형성하는단계; 상기희생층상에소자층을형성하는단계; 상기희생층및 상기소자층을, 상기희생층의상기 III-V족화합물의결정면방향에기초하여결정되는제1 방향을따라연장되는부분을가지는형상으로패터닝하는단계; 패터닝된상기소자층을제2 기판상에접합하는단계; 및상기희생층및 상기제1 기판을제거하기위하여, 상기소자층이상기제2 기판상에접합된상태에서식각용액을이용하여상기희생층을식각하는단계를포함한다. 상기반도체소자의제조방법은, ELO 공정에있어서 III-V족화합물의고유특성인결정방향(cystal orientation)에따른식각속도의차이를이용하여공정수율을향상시키고공정속도를빠르게할 수있다.
-
-
23.发明公开
公开(公告)号：KR20180034878A
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：KR20160124630
申请日：2016-09-28
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/78 , H01L21/306 , H01L21/768
Abstract: 에피택셜리프트오프에의한반도체소자의제조방법은, 식각용액에의해제거될수 있는희생층및 상기희생층을포함하는대상체를제공하는단계; 및상기대상체를식각용액에노출시켜상기대상체에포함된상기희생층을제거하는단계를포함하되, 상기희생층을제거하는단계는상기대상체가양의극성을띠도록전압을인가하는단계를포함한다. 상기방법에의하면, 식각용액에의해제거될수 있는희생층을포함하는대상체와상기식각용액에일정전압을인가하여용액내에 [HF2-] 또는 [H2F3-] 이온들을생성할수 있고, 이경우상기희생층의내부결합구조가분해되는속도가빨라지므로, 결과적으로 ELO 공정에소요되는시간이줄어든다. 따라서, 오랜공정시간으로인하여기판표면이식각액에의해손상되는등의문제를해결할수 있다.
Abstract translation: 一种通过外延剥离制造半导体器件的方法包括以下步骤：提供可以通过蚀刻溶液去除的牺牲层;以及牺牲层; 通过将对象暴露于蚀刻溶液来去除包含在对象中的牺牲层。去除牺牲层的步骤包括施加电压以使对象极化。 根据该方法，可以通过对物体施加恒定电压并在溶液中产生[HF 2 - ]或[H 2 F 3 - ]离子以及可以通过蚀刻溶液去除的牺牲层， 内部键合结构分解的速度加快，因此，ELO工艺所需的时间减少。 因此，可以解决由于处理时间长导致基板表面被蚀刻剂损坏的问题。
-
公开(公告)号：KR1020180028289A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：KR1020160115790
申请日：2016-09-08
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: Y02E60/366 , B01J23/88 , B01J23/72 , C25B1/04 , C25B9/10 , C25B11/041 , C25B11/0478 , C25B13/04
Abstract: 산성수소발생반응촉매이고, CuMo(x는 0
Abstract translation: 提供了由CuMo（x为0
-
公开(公告)号：KR101838630B1
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：KR1020170028255
申请日：2017-03-06
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01M4/9041 , H01M4/88 , B01J35/0086 , B01J21/18 , B01J21/185 , B01J23/75 , B01J35/023 , C25B1/02 , H01M4/9083
Abstract: 본발명은탄소지지체및 탄소지지체에담지된코어-쉘나노입자를포함하고, 코어-쉘나노입자의코어는이종원소를포함하지않는코발트금속이고, 쉘은탄소를포함하는촉매에관한것이다. 이에의하여, 본발명의산소환원반응용촉매는리간드안정화법과열처리를통해코발트코어-탄소쉘나노입자가탄소지지체에담지된촉매로, 나노크기의입자로높은분산도를갖도록촉매를합성할수 있으며, 특히알칼라인분위기에서구동되는연료전지에서산소환원활성과내구성을향상시킬수 있으며, 이에따라캐소드에전극촉매로적용되어결과적으로연료전지의효율을향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明是支撑的碳基材和碳含底物纳米颗粒和壳上的芯部，所述芯 - 壳纳米颗粒芯是钴金属不包含杂原子，所述壳涉及包含碳上的催化剂。 以这种方式，本发明的氧还原催化剂是通过配位体稳定方法和热处理钴芯 - 可以合成与支撑在碳载体上的催化剂的碳壳纳米颗粒，从而具有高度的纳米级催化剂颗粒的分散体， 特别是，可以提高在碱性气氛中驱动的燃料电池的氧还原活性和耐久性，结果，可以将该阴极用作电极催化剂，从而提高燃料电池的效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101833755B1
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：KR1020160145129
申请日：2016-11-02
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: Y02E60/366 , B01J31/12 , B01J37/0009 , C25B1/00 , C25B1/04
Abstract: 이산화탄소의전기화학적전환촉매로서두 개의중심전이금속(M)에유기리간드인디하이드록시테레프탈릭산이배위결합된 [Mdhtp(dhtp=디하이드록시테레프탈레이트)] 구조를가지는금속유기골격체이고, 중심전이금속(M)이 Co, Ni, Zn 중선택되는하나이상인이산화탄소의전기화학적전환촉매및 그제조방법, 이를이용한이산화탄소전환장치및 방법을제공한다. 이에따르면, 이산화탄소의전기화학적전환(환원) 효율이우수하고또한일산화탄소선택도가우수하여합성가스를생성할수 있다. 또한, 촉매의지속성이우수하다.
-
公开(公告)号：KR101815248B1
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：KR1020160008114
申请日：2016-01-22
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01M4/90 , H01M4/86 , B01J37/00 , H01M8/1018
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본발명은연료전지용비백금촉매및 이의제조방법에관한것으로서, 보다상세하게는, 질소도핑된탄소계담지체에질화철나노입자를포함하는연료전지용비백금촉매를질소함유활성가스분위기하에서열처리하는간소한공정에의해제조할수 있어, 생산단가가낮고저렴한비용으로대량을제조할수 있으며, 종래연료전지의산소환원전극촉매로사용되었던고가의백금촉매를대체할수 있다.
-
公开(公告)号：KR101808304B1
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020150071260
申请日：2015-05-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명에서는전하를띠는금속나노입자와반대전하를갖는방관자이온들간의직접적인정전기적상호작용을긍정적으로이용해인산과 KOH 용액에서 Pt 전극의산소환원반응활성을높이는발명에대해제공하고자한다. 특히, 양쪽성이온의성질을갖는 L-시스틴을 Pt 표면에흡착시켜알칼리및 인산용액에서모두향상된산소환원반응활성을가질수 있는촉매를제공한다.
-
公开(公告)号：KR101807287B1
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020150155213
申请日：2015-11-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은수전해장치용산화극촉매및 그제조방법에관한것으로서, 보다상세하게는, 저비용으로쉽게구할수 있는코발트를이용하여, 종래고가의귀금속산화물촉매대비동등수준이상의산소발생활성및 내구성을나타내는수전해장치용산화극촉매를제조할수 있다.
Abstract translation: 本发明可以被递送作为装置龙山hwageuk催化剂及其制造方法相同的，并且，更具体地，通过使用能够以低成本容易地获得的钴，示出相比于活性或多个等于级氧发生催化剂和耐久性的常规昂贵的贵金属氧化物 可以生产水电解装置。
-
30.发明公开이온 가교 결합을 공유 가교 결합으로 변환하여 공유 가교 결합 막을 제조하는 방법 및 이를 통하여 제조된 공유 결합 막 审中-实审通过将离子交联转化成共价交联结构来制备共价交联膜的方法以及生产共价键合膜的方法
公开(公告)号：KR1020170106790A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020160030359
申请日：2016-03-14
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: Y02E60/528 , Y02P70/56
Abstract: 전자풍부방향족환(electron rich aromatic rings)을포함하는 PBI 유도체등과같은아미노그룹을가지는폴리머와술폰화된폴리에테르술폰등과같은술폰화된폴리머를블랜드하여이온가교결합된막을제조하거나, 술폰화된 PBI 유도체로이온가교결합막을제조하고, 이를열 경화하여공유가교결합된막을제조한다. 이와같이열 경화된공유가교결합막은, 열경화되지않는이온가교결합막과대비하여, 향상된인장강도등의기계적특성을나타낼수 있다.
Abstract translation: 具有氨基的聚合物如含富电子芳香环等的PBI衍生物和磺化聚合物如磺化聚醚砜等混合以制备离子交联膜或磺化PBI 离子交联膜由衍生物制备并热固化以制备共价交联的膜。 因此，与未热固化的离子交联膜相比，热固性共价交联膜可表现出机械性能，例如改善的拉伸强度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
332
records
(took 0.033 seconds)
