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公开(公告)号：KR1020040012296A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：KR1020020045808
申请日：2002-08-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A long range stage of 6 degrees freedom using double H-frame is provided to be capable of improving the precision of motion of the stage. CONSTITUTION: A long range stage of 6 degrees freedom is provided with a sample jig part(11), a short range driving part(100), an inner structure(10), a frame(20), a pair of guide bars(40a,40b) for transferring the frame to a predetermined direction, and a base(50) for loading the inner structure, the frame, and the guide bars. Preferably, the short range driving part includes a plurality of disc plates for loading the sample jig part, a plurality of magnetic circuit part, and a solenoidal part. Preferably, the inner structure includes the first linear motor coil part(13). Preferably, the frame includes the second linear motor coil part(24).
Abstract translation: 目的：提供使用双H框架的6度自由度的远程舞台，以提高舞台的运动精度。 构成：具有6度自由度的长距离级设置有样品夹具部件（11），短距离驱动部件（100），内部结构（10），框架（20），一对导杆（40a） ，40b），以及用于装载内部结构，框架和导杆的基座（50）。 优选地，短程驱动部分包括用于装载样本夹具部分的多个盘片，多个磁路部分和螺线管部分。 优选地，内部结构包括第一线性电动机线圈部分（13）。 优选地，框架包括第二线性电动机线圈部分（24）。
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公开(公告)号：KR1020020060525A
公开(公告)日：2002-07-18
申请号：KR1020010001654
申请日：2001-01-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G02B21/008 , G01B11/026 , G02B21/0028
Abstract: PURPOSE: A super-precise displacement meter and various methods for measuring displacement using unit displacement sensor based on confocal theory are provided to easily and inexpensively constructed with improved resolution. CONSTITUTION: A displacement meter is an equipment projecting a radiant from a light source to an object for measurement of displacement and measuring relative displacement by movement of the projected radiant and has a unit displacement sensor(20) including a projecting lens(26) projecting beam emitted from the light source to a slit or a pin hole with fixed size; a parallel light lens(28) making beam passing the slit or the pin hole parallel; an object lens(30) placed between the parallel light lens and the object; a beam splitter(32) splitting beam reflected to the projecting lens by wave lengths; and a photodetector(34) detecting intensity of beam passing the beam splitter and a driving device finely moving the unit displacement sensor to keep light signal detected by the photodetector maximized.
Abstract translation: 目的：提供一种超精密位移仪和基于共聚焦理论的单位位移传感器测量位移的各种方法，可以以更好的分辨率轻松，低成本地构造。 构成：位移计是将辐射从光源投射到用于测量位移的物体并通过投射的辐射的运动来测量相对位移的设备，并且具有单元位移传感器（20），其包括投影透镜（26） 从光源发射到具有固定尺寸的狭缝或针孔; 平行光透镜（28）使光束通过狭缝或销孔平行; 放置在平行光透镜和物体之间的物镜（30）; 分束器（32），通过波长分离反射到投影透镜的光束; 以及光电检测器（34），其检测通过分束器的光束的强度;以及驱动装置，使所述单元位移传感器微调，以使光检测器检测到的光信号最大化。
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公开(公告)号：KR1020020035219A
公开(公告)日：2002-05-11
申请号：KR1020000065406
申请日：2000-11-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/21
Abstract: PURPOSE: An elliptical polarization analyser and method for aligning incident angle using the same are provided to furnish various incident angles using mechanical coupling without a confocal microscope or a motor and so on. CONSTITUTION: An elliptical polarization analyser(10) includes a main frame(16); a sample stage(11); a polarization part(12); and an analyser part(14). The main frame is semicircular and has a plurality of first grooves(17) formed in radial direction and a second groove(18) formed in circumferential direction. The sample stage is installed on a central area of the main frame and movable in triaxial direction. The polarization part includes a first ball and a second ball inserted in the first grooves, a third ball inserted in the second groove and a contacting device on a surface contacting with the main frame to fix the position thereof to radiate polarization. The analyser part includes a first ball and a second ball inserted in the first grooves, a third ball inserted in the second groove and the contacting device on a surface contacting with the main frame to fix the position thereof to receive light reflected by an upper surface placed on the sample stage.
Abstract translation: 目的：提供一种用于使用其进行对准入射角的椭圆偏振分析仪和方法，以使用机械耦合而不使用共焦显微镜或电动机等来提供各种入射角。 构造：椭圆偏振分析器（10）包括主框架（16）; 样品台（11）; 偏振部分（12）; 和分析器部件（14）。 主框架是半圆形的，并且具有沿径向形成的多个第一凹槽（17）和沿圆周方向形成的第二凹槽（18）。 样品台安装在主框架的中心区域，可沿三轴方向移动。 偏振部分包括插入第一凹槽中的第一球和第二球，插入第二凹槽中的第三球和与主框架接触的表面以将其位置固定以辐射极化的接触装置。 分析器部分包括插入在第一凹槽中的第一球和第二球，在第二凹槽中插入的第三球和与主框架接触的表面的接触装置，以固定其位置以接收由上表面反射的光 放在样品台上。
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公开(公告)号：KR1020000075010A
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019990019307
申请日：1999-05-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G11B7/09 , G11B7/1387
Abstract: PURPOSE: A head device of a data recording/reproducing apparatus for a high density optical recording medium and method of controlling light beam using the device are provided to stably control a servo and increase a recording/reproducing speed, thereby increasing a recording density of the optical recording medium. CONSTITUTION: The head device of a data recording/reproducing apparatus for a high density optical recording medium comprises an optical recording medium(11); a light source(1) for generating a light beam(14); a lens for collecting the light beam on the optical recording medium; a first piezoelectric device deformed responding to an applied electric signal to move the lens in an optical axis direction by a very small displacement; a second piezoelectric device deformed responding to the applied electric signal to move the lens in a radial direction of the optical recording medium by the very small displacement. The head device further comprises a collimating lens(2) disposed between the light source and the lens to converting the divergent beam irradiated from the light source into a parallel light and advancing to the lens; and an optical detector(13) for converting a reflecting light from the optical recording medium into an electric signal.
Abstract translation: 目的：提供一种用于高密度光记录介质的数据记录/再现装置的头装置和使用该装置控制光束的方法，以稳定地控制伺服并增加记录/再现速度，从而提高记录/再现速度的记录密度 光记录介质。 构成：用于高密度光记录介质的数据记录/再现装置的头装置包括光记录介质（11）; 用于产生光束（14）的光源（1）; 用于收集光记录介质上的光束的透镜; 响应于施加的电信号而变形的第一压电装置，以使透镜沿光轴方向移动非常小的位移; 响应于所施加的电信号而变形的第二压电装置，通过非常小的位移沿着光学记录介质的径向方向移动透镜。 头装置还包括设置在光源和透镜之间的准直透镜（2），用于将从光源照射的发散光束转换为平行光并前进到透镜; 以及用于将来自光学记录介质的反射光转换成电信号的光学检测器（13）。
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公开(公告)号：KR1019990070384A
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019980005195
申请日：1998-02-19
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23Q1/28
Abstract: 본 발명은 삼각형 모양의 대칭적 구조를 갖는 공기베어링 타입의 수직선형모터와 수평선형모터로 수직방향의 움직임과 수평방향의 움직임을 완전히 독립시킴과 동시에 상대적으로 큰 작동범위를 갖는 6축 초정밀 위치결정기구에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 서브마이크론 이하의 정밀위치제어를 필요로 하는 구동장치(10,20,30,40)의 베이스판(1,21,31,41)을 기준으로 이동테이블(5,25,43)을 다수의 자유도로 제어하기 위한 수평작동수단(6,7,8,24,42,42a,44b)과 수직작동수단(2,3,4,44a,44c) 및 공기베어링(26,32,32',45)을 포함하는 6축 초정밀 위치결정기구에 있어서, 상기 베이스판(50)에 고정된 요크부(61)의 슬릿(62a,62b)에 고리모양으로 수직하게 결합되는 코일부(68)와 어댑터(69)를 구비하여 상기 이동테이블(51)의 하면에 결합된 수평선형모터(60)들과; 상기 수평선형모터(60)에 결합된 상기 이동테이블(51)을 상기 베이스판(50)에서 비접촉식으로 지지하는 공기패드(74)와 전자석코일(77) 및 센서홀더(75)를 구비한 공기베어링부(71)가 형성된 수직선형모터(70)들과; 상기 수평 및 수직선형모터(60,70)들을 제어하는 제어부(도시안됨)를 포함하며, 상기 수직선형모터(60)들과 상기 수직선형모터(70)들은 120°내각을 갖는 두개의 삼각형상으로 상기 이동테이블(51)의 하면에 대칭되게 배치되며, 상기 수평선형모터(60)들의 길이에 비례한 큰 작동범위를 갖는 것을 특징으로 하는 6축 초정밀 위치결정기구가 제공된다.-
Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101817000B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020160069773
申请日：2016-06-03
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 일실시예에따른색수차보상장치는, 영상을획득함에있어서색수차를보상할수 있다. 상기색수차보상장치는, 빛을입사시키는입사렌즈, 상기빛이진행하는방향으로상기입사렌즈의일측에이격되어배치되고상기입사렌즈와이중텔레센트릭(Double telecentric) 구조를형성하는출사렌즈, 상기출사렌즈를기준으로상기입사렌즈와마주보는방향에배치되고상기입사렌즈와상기출사렌즈사이에서빛이평행광을이루도록배열되는가변초점렌즈및 상기입사렌즈와상기출사렌즈사이에배치되고, 상기가변초점렌즈에의하여상기평행광이깨지는것을보상하는상쇄렌즈를포함할수 있다. 그리하여, 상기색수차보상장치는, 광학계의초점거리를변화시킴으로써색수차를보상할수 있다.
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公开(公告)号：KR101745797B1
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：KR1020150162062
申请日：2015-11-18
Applicant: 한국과학기술원 , 한양대학교 산학협력단
Abstract: 일실시예에따른광학현미경장치는, 빛을방출하는레이저광원, 상기레이저광원의일 측에형성되어상기빛을반사시키는미소반사표시기, 상기미소반사표시기에서반사된빛을시편에주사하는대물렌즈, 상기시편에서반사된빛을검출하는광 검출기를포함한다. 여기서, 상기미소반사표시기는스캐닝영역내에구비된복수개의미소거울들을포함하고, 일부미소거울들이시간에따라상기스캐닝영역을이동함으로써광학현미경장치는상기시편의이차원이미지를측정할수 있다.
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公开(公告)号：KR101742389B1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020150151955
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 일실시예에따른현미경장치는, 시편의영상을획득하기위한빛을방출하는가시레이저광원, 상기시편을고정하기위한빛을방출하는적외선레이저광원, 상기가시레이저광원에서방출된빛과상기적외선레이저광원에서방출되어빛을시편에집광시키는대물렌즈, 상기대물렌즈와결합하여상기대물렌즈를이동시키는엑추에이터, 상기가시레이저광원에서방출되고상기시편에서반사된빛을검출하는광 검출기및 상기광 검출기에서검출된빛의신호를통하여상기시편의영상을복원할수 있는제어부를포함할수 있다. 상기제어부는상기시편의영상을획득함에있어서상기엑추에이터에의한상기대물렌즈의이동을보상하기위해상기적외선레이저광원에서방출된빛의초점을변조시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170050434A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150151955
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 일실시예에따른현미경장치는, 시편의영상을획득하기위한빛을방출하는가시레이저광원, 상기시편을고정하기위한빛을방출하는적외선레이저광원, 상기가시레이저광원에서방출된빛과상기적외선레이저광원에서방출되어빛을시편에집광시키는대물렌즈, 상기대물렌즈와결합하여상기대물렌즈를이동시키는엑추에이터, 상기가시레이저광원에서방출되고상기시편에서반사된빛을검출하는광 검출기및 상기광 검출기에서검출된빛의신호를통하여상기시편의영상을복원할수 있는제어부를포함할수 있다. 상기제어부는상기시편의영상을획득함에있어서상기엑추에이터에의한상기대물렌즈의이동을보상하기위해상기적외선레이저광원에서방출된빛의초점을변조시킬수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的显微镜装置包括：发射用于获取样本图像的光的可见激光源;发射用于固定样本的光的红外激光源; 物镜，用于移动物镜;光检测器，用于检测从样品反射并从可见激光源发射的光;以及光检测器，用于检测从样品反射的光， 还有一个控制器，用于通过检测到的光信号恢复样本的图像。 控制器可以调制从红外激光源发射的光的焦点，以补偿由致动器在获取样本的图像时物镜的移动。
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