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公开(公告)号:KR1020160047290A
公开(公告)日:2016-05-02
申请号:KR1020140143544
申请日:2014-10-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 나노와이어압전소자의제조방법에있어서, 오목부가형성된나노와이어어레이템플릿상에자외선경화수지를주입하여상기오목부에대응하는볼록부를갖는폴리머기판을생성하는폴리머기판생성단계; 상기폴리머기판을상기나노와이어어레이템플릿으로부터분리하는분리단계; 상기폴리머기판상에압전물질을증착하는증착단계; 및상기압전물질상에전극을생성하고, 상기전극을패터닝하는패터닝단계; 를포함한다.
Abstract translation: 公开了纳米线阵列压电元件的制造方法,其与电极接触时防止能量损失。 纳米线阵列压电元件的制造方法包括:通过在具有凹部的纳米线阵列模板上注入紫外线固化树脂来生成具有与纳米线阵列模板的凹部对应的凸部的聚合物基板的聚合物基板的生成工序; 从所述纳米线阵列模板分离所述聚合物基材的分离步骤; 沉积步骤,在所述聚合物基材上沉积压电物质; 以及在压电体上产生电极并图案化电极的图形化步骤。
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公开(公告)号:KR101927795B1
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:KR1020170106063
申请日:2017-08-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 터치의 위치 및 압력 크기를 감지하는 터치 입력 장치가 제공된다. 상기 터치 입력 장치는, 디스플레이 모듈; 상기 디스플레이 모듈 상에 배치되고, 서로 이격된 제1 전극과 제2 전극; 상기 디스플레이 모듈 상에 형성되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 덮는 스페이서층; 및 상기 스페이서층 상에, 투명성을 갖는 재료로 형성된 투명 접지 전극;을 포함하고, 상기 투명 접지 전극은, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 전기장 영역이 형성된 높이 이상의 높이에 배치되고, 상기 투명 접지 전극 상에 터치가 가해져서 상기 투명 접지 전극과 상기 디스플레이 모듈 사이의 거리 변화에 따라 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 유전율 증가로 정전용량이 증가되고, 상기 증가된 정전용량에 기초하여 상기 터치의 위치 및 압력의 크기가 검출된다.
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公开(公告)号:KR1020170141353A
公开(公告)日:2017-12-26
申请号:KR1020160074271
申请日:2016-06-15
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82B3/0038 , B82Y40/00 , C01G23/04
Abstract: 본발명에따른 3D 나노미터구조제조방법은기판위에희생층을형성하는단계, 희생층위에상부물질을형성하는단계, 식각액을이용해상기희생층의내부확산도를조절하는단계, 내부확산도가조절된상기희생층을포함하는상기기판위에엔캡슐레이션(encapsulation) 물질을형성하는단계및 식각액을이용해상기희생층을식각하는단계를포함한다. 이에의하여, 결정화를필요로하는나노미터크기의물질을대면적으로정렬시킨 3D 나노미터구조를제조할수 있고, 확산을이용하여나노미터구조를빠르고용이하게제조할수 있을뿐만아니라, 모체기판을재사용할수 있다는경제적효과를갖는다.
Abstract translation: 根据本发明的3D纳米结构的制造方法包括:使用步骤控制所述牺牲层的内部扩散的步骤中,用于形成在台阶上的材料的蚀刻液,其特征在于,所述内扩散性调节的牺牲层以形成在基板上的牺牲层 在包括牺牲层的衬底上形成封装材料,并且使用蚀刻剂蚀刻牺牲层。 以这种方式,我们能够以制备对齐,需要在大面积的结晶化的纳米尺寸的材料中的3D纳米结构,通过利用扩散,以及快速和容易制造纳米结构,可以重用在母基板 这在经济上是有效的。
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公开(公告)号:KR101772071B1
公开(公告)日:2017-08-28
申请号:KR1020150089155
申请日:2015-06-23
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01K1/12 , G01K7/16 , G01N27/127
Abstract: 본발명은공중부유형나노와이어어레이및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는 2종의나노와이어가적층된공중부유형나노와이어를포함하는어레이와이의제조방법에관한것이다.본발명의실시형태에따른공중부유형나노와이어어레이는, 기판; 상기기판상에배치된제1 전극; 상기기판상에배치되고, 상기제1 전극과이격되어배치된제2 전극; 상기제1 전극에전기적으로연결되어고정된일 단과상기기판상에서공중부유된타단을포함하는제1 나노와이어, 상기제1 나노와이어의상면에배치된절연부재, 및상기절연부재의상면에배치된제2 나노와이어를포함하는공중부유형나노와이어; 및상기제2 전극으로부터연장되고, 상기제2 나노와이어상에배치된연장전극;을포함한다.
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公开(公告)号:KR1020170064188A
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:KR1020150169596
申请日:2015-12-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/00 , B81B7/02 , H01L23/495 , H01L21/288 , H01L23/34
Abstract: 본발명은전자소자의패키징방법에관한것으로, 좀더 상세하게는액상의접착물질의고유의성질을이용하여고온의열과접착물질에의한전자소자의손상을사전에차단할수 있는전자소자의패키징방법에관한것이다. 실시형태에따른전자소자의패키징방법은, 미리제작된캡의하면의일 부분에가접합물질을형성하는, 가접합물질형성단계; 상기가접합물질이형성된상기캡을전자소자가실장된소자웨이퍼와본딩시키는, 본딩단계; 상기캡과상기소자웨이퍼사이에형성된미세한틈으로액상의접착물질이모세관력에의해스며들도록상기액상의접착물질을상기미세한틈으로주입하는, 접착물질주입단계; 및상기미세한틈에채워진상기액상의접착물질을경화하는, 경화단계;를포함한다.
Abstract translation: 所述的本发明中,更具体地涉及用于电子设备的封装方法,该方法可以通过使用液体的粘性材料的独特性能预先框上的电子器件的封装方法通过高温的热和粘合材料的电子部件的损坏 它涉及。 根据实施例的电子装置的封装方法包括:接合材料形成步骤,在先前制造的盖的一部分上形成接合材料; 将其上形成有键合材料的帽键合到安装有电子器件的元件晶片上; 将液体粘合剂材料注入细间隙中,使得液体粘合剂材料通过毛细作用力渗入帽和器件晶片之间形成的微小间隙中; 固化填充在微小间隙中的液态粘合剂材料的固化步骤。
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公开(公告)号:KR101626964B1
公开(公告)日:2016-06-02
申请号:KR1020140162356
申请日:2014-11-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
Abstract: 실시형태에따른날숨을이용하는에너지수확소자는, 기판; 상기기판상 일부분에배치된하부전극; 상기기판과상기하부전극상에배치된절연층; 상기절연층상에배치되고, 상기하부전극상에위치하지않는상부전극; 및상기상부전극상 및상기하부전극상에배치된댐;을포함하고, 상기하부전극은일부가노출된다.
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公开(公告)号:KR1020160060302A
公开(公告)日:2016-05-30
申请号:KR1020140162356
申请日:2014-11-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
CPC classification number: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
Abstract: 실시형태에따른날숨을이용하는에너지수확소자는, 기판; 상기기판상 일부분에배치된하부전극; 상기기판과상기하부전극상에배치된절연층; 및상기절연층상에배치되고, 상기하부전극상에위치하지않는상부전극; 을포함하고, 상기하부전극은일부가노출된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种使用呼气的能量收集装置及其制造方法,其能够从非常弱的呼吸中获取能量。 根据本发明的一个实施例,使用呼出气体的能量收集装置包括:基底; 设置在所述基板的一部分上的下电极; 绝缘层,设置在所述基板上和所述下电极上; 以及设置在所述绝缘层上但未设置在所述下电极上的上电极,其中所述下电极的一部分露出。
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