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公开(公告)号：KR100573927B1
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040050154
申请日：2004-06-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 나노산업, 전자 및 광통신, 광메모리 분야 등에서 필수적으로 요구되는 나노급 정밀도를 가지는 미세한 3차원 자유곡면 형상을 단층으로 형성하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 미세한 3차원 자유곡면 형성방법은, 그림파일 정보를 기초로 광경화성 수지에 대한 가공크기를 달리하는 가공영역과 비 가공영역을 설정하는 단계, 설정된 가공영역과 비 가공영역을 아스키형태의 메트릭스로 변환하는 단계, 상기 메트릭스에 기초하여 가공영역에만 선택적으로 레이저를 조사하되 가공크기에 따라 레이저 조사시간을 달리하면서 조사하여 광경화성 수지를 단층으로 경화시키는 단계, 및 광경화성 수지에서 경화되지 않은 부분을 제거하여 그림파일과 동일한 3차원 자유곡면을 갖도록 완성하는 단계로 구성된다. 본 발명은 레이저를 이용하여 광경화성 수지를 직접적으로 경화시켜 나노급 정밀도를 가지는 미세한 3차원 자유곡면 형상을 단층으로 형성함으로써 공정시간을 단축하는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR101755525B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150148665
申请日：2015-10-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은이중주파수전원공급기및 이를이용한대기압플라즈마발생장치, 그방법에관한것이다. 또한, 본발명에따르면, 제1 주파수전원신호를생성하여대기압플라즈마발생장치의전극에공급하는제1 전원공급부; 및제2 주파수전원신호를생성하여대기압플라즈마발생장치의전극에공급하는제2 전원공급부를포함하며, 제1 주파수가제2 주파수보다저주파인이중주파수전원공급기와이를이용한대기압플라즈마발생장치, 그방법을제공하여두 전원을동시에인가하여안정적인플라즈마방전이가능하게하고각 전원의인가전력조절을통해공정의조절가능성을높여준다.
Abstract translation: 本发明涉及一种双频电源和使用该双频电源产生大气压等离子体的设备及其方法。 根据本发明的另一方面，提供了一种等离子体处理装置，包括：第一电源，用于产生第一频率电源信号并将其提供给大气等离子体发生器的电极; Mitje以生成电源信号的第二频率包括用于提供大气压力等离子体发生装置的电极的第二电源，第一频率是双频电源的低频和使用除第二频率设备相同的发生大气压等离子体，该方法 它通过同时应用两个电源提供稳定的等离子放电，并通过控制施加到每个电源的功率来提高过程的可控性。
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公开(公告)号：KR101539005B1
公开(公告)日：2015-07-24
申请号：KR1020130142326
申请日：2013-11-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은플라즈마의전자와중성원자의상호작용에의해발생되는중성제동복사(neutral bremsstrahlung) 방출광을이미지센서로측정하여플라즈마의전자온도의 2차원측정을수행할수 있도록하는이미지센서를이용한플라즈마전자온도측정장치및 그방법에관한것으로, 상기플라즈마전자온도측정장치는, 두개 이상의서로다른파장의플라즈마광 중어느하나의파장의플라즈마광을투과시키는광학필터부와상기광학필터부를투과한특정파장의플라즈마광을촬영하는이미지센서를구비하여선택된파장별플라즈마영상을각각촬영하는촬영부;와, 상기촬영부로부터상기각각의파장별로촬영된각각의플라즈마영상의로우(raw) 데이터를수신하여, 상기광학필터부의투과파장에대응하는색의픽셀들을각각추출한후, 동일픽셀에서의각각의파장별광강도의비를구하는것에의해전자온도분포를산출하는전자온도측정기;를포함하여구성되어, 전자여기온도가아닌전자온도를기사광선파장영역을감지하는이미센서를이용하여저비용으로신속하고정확하게측정할수 있도록한다.
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公开(公告)号：KR1020050030697A
公开(公告)日：2005-03-31
申请号：KR1020030066641
申请日：2003-09-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C35/0894 , B29C64/135 , G03F3/108 , G03F7/70025
Abstract: Provided is a method for replication printing an arbitrary plane image file of nanoscale to a radiation curable resin even without CAD data. The method comprises the steps of (S1) setting a processing region and a non-processing region to a radiation curable resin based on the information of an image file; (S2) converting the set processing region and non-processing region into a matrix of ASCII type expressed by 1 and 0, respectively; (S3) irradiating laser selectively only to the processing region based on the matrix to cure the radiation curable resin; (S4) removing the uncured part from the radiation curable resin to finish the nanoscale shape identical with the image file; and optionally arraying and adhering the finished nanoscale shape in the vertical or horizontal direction to make a new nanoscale shape. Preferably the laser is a femto second laser.
Abstract translation: 提供了即使没有CAD数据，也可以将具有纳米尺度的任意平面图像文件复制到辐射固化树脂的方法。 该方法包括以下步骤：（S1）基于图像文件的信息将处理区域和非处理区域设置为可辐射固化树脂; （S2）将集合处理区域和非处理区域分别转换成由1和0表示的ASCII类型的矩阵; （S3）基于所述基体仅选择性地对所述处理区域进行激光，使所述可辐射固化树脂固化; （S4）从放射线固化树脂中除去未固化的部分，以完成与图像文件相同的纳米级形状; 并且可选择地在垂直或水平方向上排列和粘附成品纳米尺寸形状以形成新的纳米级形状。 优选地，激光器是毫微微秒级激光器。
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