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公开(公告)号：KR1020090117092A
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：KR1020080042989
申请日：2008-05-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70283
Abstract: PURPOSE: A micro patterning apparatus of 3-dimension is provided to reduce mask production costs when micro-pattern using lighotraphy is formed, and to reduce process time for pattern formation adjustment feedback according to mask errors. CONSTITUTION: A micro patterning apparatus of 3-dimension comprises a light source generating femtosecond laser(31) capable of causing two photon absorption; a laser beam control module(32) for controlling the femtosecond laser; a laser beam expander(33) for expanding the laser light outputted by the laser beam control module; a space light modulator(35) permeating hologram phase to the expanded laser light by applying a light-modulating; a back mirror(36) which outputs by reflecting the transmitted modulated light; a high aperture microscope lens(37) for forming the focus of reflection light reflected from the back mirror; a glass substrate(39) in which an image is formed by the focus; a two-photon absorbing polymer resin(40) for forming micro-pattern on the glass substrates; a stage(38) which moves the glass substrates in an Z-axis; and a control computer(34).
Abstract translation: 目的：提供一种三维微图案装置，以便在形成微图案时减少掩模生产成本，并根据掩模误差减少图案形成调整反馈的处理时间。 构成：三维微图案装置包括能产生双光子吸收的产生飞秒激光的光源（31）; 用于控制飞秒激光的激光束控制模块（32）; 用于扩大由激光束控制模块输出的激光的激光束扩展器（33）; 空间光调制器（35），通过施加光调制而将全息相渗透到所述扩大的激光; 后反射镜（36），其通过反射所传输的调制光而输出; 用于形成从后视镜反射的反射光的焦点的高孔径显微镜（37）; 通过焦点形成图像的玻璃基板（39）; 用于在玻璃基板上形成微图案的双光子吸收聚合物树脂（40） 使玻璃基板沿Z轴移动的台架（38） 和控制计算机（34）。
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公开(公告)号：KR100691426B1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：KR1020050030647
申请日：2005-04-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01S3/10
Abstract: 본 발명은 점형태로 직진하는 레이저빔을 360도 전방위에 걸쳐 조사되는 3차원 입체 평면빔을 만드는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 레이저빔 발생장치는 레이저빔을 발생하는 레이저발생기, 및 레이저발생기로부터 출사되는 레이저빔을 입사하여 역원추면에 반사시켜 360도 전방위의 평면빔을 발생하기 위한 역원추형프리즘을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에서 레이저발생기와 역원추형프리즘은 일체형으로 용이하게 결합되어 기계적으로 안정적이고, 빛이 진행하는 경로에 레이저나 조립기구에 의한 차단이 없어 360도 전방위에 걸쳐 연속적인 평면빔을 발생시키는 효과를 제공한다.
평면빔, 원추형빔, 역원추형프리즘, 광학부품, 레이저-
公开(公告)号：KR100538467B1
公开(公告)日：2005-12-23
申请号：KR1020030056294
申请日：2003-08-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B29C33/38
Abstract: 본 발명은 레이저장치를 이용하여 3차원 구조물을 제작하는 방법으로서, 광경화성 수지를 레이저로 경화시켜 수지조형물을 제작하는 가공단계; 가공된 수지에서 경화되지 않은 부분을 제거하는 제거단계; 경화된 수지조형물의 표면에 금속재료로 이루어진 층을 형성하는 적층단계; 상기 수지조형물의 표면에 형성된 금속재료로 이루어진 층 위에 이종의 금속을 도금하는 도금단계; 및 수지조형물을 도금된 금속으로부터 분리시켜 수지조형물이 음각된 금형을 만드는 분리단계를 포함하며, 이를 통해 극소형 금속조형물을 제작하는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR101020149B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020080042989
申请日：2008-05-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 3차원 미세패턴 형성장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 컴퓨터 재생을 통한 홀로그래픽 리소그래피를 이용하는 공간광변조기와 이광자 흡수 폴리머화를 이용한 미세패턴 형성시 이광자 흡수를 일으킬수 있는 펨토초레이저를 발생하여 2차원의 미세패턴을 적층하여 3차원의 미세패턴을 형성한다. 따라서, 본 발명의 장치는 리소그래피를 이용한 미세패턴을 형성함에 있어 마스크제작 비용을 절감하고 마스크 오차에 따른 패턴형성 조정 피드백에 대한 공정 시간을 감소시켜 빠른 시간내에 정확한 3차원의 미세 패턴을 형성할 수 있는 효과를 제공한다.
펨토초레이저, 이광자, 홀로그램-
公开(公告)号：KR1020080109130A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：KR1020070057058
申请日：2007-06-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B5/3025 , G02B5/3075 , G02B27/286 , G03F7/70566
Abstract: A three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens is provided to increase yield of a lithography process by controlling the polarized light of incident light and has light power distribution of the circular shape on the focal plane. In a three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens, three-fold polarization modulator(32) passes incident light and modulates it to be the other polarization state in three areas respectively. A high numerical aperture lens(31) passes modulated incident light and generates a focusing light having light power distribution of the circular shape on the focal plane.
Abstract translation: 提供用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器，以通过控制入射光的偏振光来增加光刻处理的产量，并且在焦平面上具有圆形形状的光功率分布。 在用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器中，三重偏振调制器（32）分别通过入射光并将其调制成三个区域中的另一个极化状态。 高数值孔径透镜（31）通过调制的入射光，并产生在焦平面上具有圆形形状的光功率分布的聚焦光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100647064B1
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：KR1020040110935
申请日：2004-12-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G08B13/183 , G08B13/181 , G08B13/196
Abstract: 본 발명은 침입자 감지를 위한 지능형 보안시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 퍼지면서 직진하는 평면빔을 발생하는 평면빔 발생장치와 상기 평면빔을 수신하는 평면빔 수신장치를 배치하여 침입자를 감지하되, 평면빔 발생장치와 평면빔 수신장치를 배치한 지지체를 서로 마주보도록 양쪽에 설치하고, 평면빔 발생장치는 지지체의 양끝에 배치하며, 평면빔 수신장치는 지지체의 중앙부위에 다수개 배치하는 한편, 양끝의 평면빔 발생장치에서 발생되는 평면빔은 반대쪽에 배치된 다수개의 평면빔 수신장치에 입사되도록 구성되어, 지지체 사이로 침입하는 침입자의 크기나 폭에 대한 정보를 확인하여 대처할 수 있는 침입자의 정보가 포함된 침입자감지를 위한 보안시스템에 관한 것이다.
평면빔 발생장치, 평면빔 수신장치. 침입자 크기. 침입자 넓이, 침입자 감지-
公开(公告)号：KR1020060108912A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1020050030647
申请日：2005-04-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/1026 , H01S3/0606 , H01S3/10023
Abstract: 본 발명은 점형태로 직진하는 레이저빔을 360도 전방위에 걸쳐 조사되는 다양한 형태의 3차원 평면빔을 만드는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 레이저빔 발생장치는 레이저빔을 발생하는 레이저발생기, 및 레이저발생기로부터 출사되는 레이저빔을 입사하여 역원추면에 반사시켜 360도 전방위의 평면빔을 발생하기 위한 역원추형프리즘을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에서 레이저발생기와 역원추형프리즘은 일체형으로 용이하게 결합되어 기계적으로 안정적이고, 빛이 진행하는 경로에 레이저나 조립기구에 의한 차단이 없어 360도 전방위에 걸쳐 연속적인 평면빔을 발생시키는 효과를 제공한다.
평면빔, 원추형빔, 역원추형프리즘, 광학부품, 레이저-
公开(公告)号：KR1020050018454A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：KR1020030056294
申请日：2003-08-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B29C33/38
CPC classification number: B29C64/135 , B29C64/188 , B33Y10/00 , B33Y40/00
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a micro three-dimensional metal shape using photo-crosslinked resin is provided to enable manufacture of a micro metal sculpture and a mold. CONSTITUTION: A manufacturing method of a micro three-dimensional metal shape using photo-crosslinked resin comprises steps of hardening photo-crosslinked resin by a laser and making a resin sculpture(500); removing a part not hardened from the processed resin; forming a layer made of a metal material to the surface of the hardened resin sculpture; plating the layer formed to the surface of the resin sculpture with dissimilar metals(520); and separating the resin sculpture from the plated metal(510) and making a mold in which the resin sculpture is engraved.
Abstract translation: 目的：提供使用光交联树脂的微立体金属形状的制造方法，以制造微型金属雕塑和模具。 构成：使用光交联树脂的微立体金属形状的制造方法包括通过激光使光交联树脂硬化并制成树脂雕刻（500）的步骤; 从被处理树脂中除去未硬化的部分; 在硬化树脂雕塑的表面上形成由金属材料制成的层; 用异种金属电镀形成到树脂雕塑表面的层（520）; 并将树脂雕塑与电镀金属（510）分离，并制成刻有树脂雕塑的模具。
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公开(公告)号：KR100916623B1
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：KR1020070057058
申请日：2007-06-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/00
Abstract: 본 발명은 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 선편광의 입사광이 자신을 투과하여 세 개의 영역별로 다른 편광상태가 되도록 변조하기 위한 삼층편광변조기; 및 상기 삼층편광변조기를 통과한 편광변조된 입사광이 자신을 투과하여 광의 세기분포가 원형에 가까운 초점광을 생성하는 고개구수렌즈를 포함한다. 따라서, 본 발명의 장치는 입사광의 편광을 조절하여 초점평면상에서 원형의 광세기분포를 가지므로 균일한 분해능을 갖도록 하고 DOF를 깊게 할 수 있으므로 반도체의 리소그라피공정상의 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
편광변조, 삼층편광, 고개구수렌즈-
公开(公告)号：KR1020060072344A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020040110935
申请日：2004-12-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G08B13/183 , G08B13/181 , G08B13/196
CPC classification number: G08B13/183 , G08B13/19626 , G08B13/1963
Abstract: 본 발명은 침입자 감지를 위한 지능형 보안시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 퍼지면서 직진하는 평면빔을 발생하는 평면빔 발생장치와 상기 평면빔을 수신하는 평면빔 수신장치를 배치하여 침입자를 감지하되, 평면빔 발생장치와 평면빔 수신장치를 배치한 지지체를 서로 마주보도록 양쪽에 설치하고, 평면빔 발생장치는 지지체의 양끝에 배치하며, 평면빔 수신장치는 지지체의 중앙부위에 다수개 배치하는 한편, 양끝의 평면빔 발생장치에서 발생되는 평면빔은 반대쪽에 배치된 다수개의 평면빔 수신장치에 입사되도록 구성되어, 지지체 사이로 침입하는 침입자의 크기나 폭에 대한 정보를 확인하여 대처할 수 있는 침입자의 정보가 포함된 침입자감지를 위한 보안시스템에 관한 것이다.
평면빔 발생장치, 평면빔 수신장치. 침입자 크기. 침입자 넓이, 침입자 감지
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