고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템
    2.
    发明申请
    고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템 审中-公开
    高效率中空阴极和阴极系统应用

    公开(公告)号:WO2015130050A1

    公开(公告)日:2015-09-03

    申请号:PCT/KR2015/001685

    申请日:2015-02-23

    CPC classification number: H01J1/025 B64G1/405 H01J37/32596

    Abstract: 본 발명은 고효율 할로우 음극와 이를 적용한 음극 시스템에 관한 것으로서, 두 개 이상의 내화 금속 파트로 구성되는 튜브; 상기 튜브의 끝단에 각각 형성되는 가스 공급부 및 가스 출구; 상기 튜브의 내부에 장착되는 인서트;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 두 개 이상의 물질을 이용하여 할로우 음극을 구성하여 열적 안정성, 수명 및 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种高效率中空阴极及其应用的阴极系统,包括:包含至少两个难熔金属部件的管; 气体供给单元和气体出口分别形成在管的远端; 和安装在管内的插入件。 根据本发明,由于本发明构成使用两种以上物质的中空阴极,因此本发明不仅可以提高热稳定性,寿命和效率,而且可以相应地降低成本。

    고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템
    4.
    发明公开
    고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템 有权
    高效的中空电源和电源

    公开(公告)号:KR1020150101787A

    公开(公告)日:2015-09-04

    申请号:KR1020140023495

    申请日:2014-02-27

    CPC classification number: H01J1/025 B64G1/405 H01J37/32596 H01J23/04 H01J23/02

    Abstract: 본 발명은 고효율 할로우 음극와 이를 적용한 음극 시스템에 관한 것으로서, 두 개 이상의 내화 금속 파트로 구성되는 튜브; 상기 튜브의 끝단에 각각 형성되는 가스 공급부 및 가스 출구; 상기 튜브의 내부에 장착되는 인서트;를 포함한다.
    본 발명에 따르면, 두 개 이상의 물질을 이용하여 할로우 음극을 구성하여 열적 안정성, 수명 및 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种高效率空心阴极和使用其的阴极系统。 空心阴极包括管,其包括至少两个难熔金属部件; 形成在管的端部的闸门供应部分和气体出口; 安装在管中的插入件。 根据本发明,通过使用至少两种材料形成中空阴极,可以提高热稳定性,寿命和效率。 从而可以降低成本。

    흡광광도법을 이용한 시료의 pH와 농도 측정 방법 및 장치
    5.
    发明授权
    흡광광도법을 이용한 시료의 pH와 농도 측정 방법 및 장치 有权
    使用吸收光度法测量样品的pH和浓度的方法和装置

    公开(公告)号:KR101617944B1

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:KR1020140074084

    申请日:2014-06-18

    Abstract: 흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정방법및 장치가제시된다. 본발명에서제안하는흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정장치는복수의파장의광을생성하고, 상기복수의파장의광을시료를통과시킨후 다시수광하는측광부, 상기복수의파장의광 세기를조절하는제어부, 상기시료를수집하고상기수집한시료에상기생성된복수의파장의광을통과시켜상기시료의 pH 및농도측정하도록하는검출부, 상기검출부를통과한복수의파장의광을상기측광부에서다시수광하고, 상기수광한복수의파장의광 정보를이용하여상기시료의 pH 및농도를계산하여데이터화하는중앙처리부, 상기흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정장치의전원을제어하는전원부를포함할수 있다.

    고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템
    6.
    发明授权
    고효율 할로우 음극과 이를 적용한 음극 시스템 有权
    高效空心阴极和电源

    公开(公告)号:KR101585889B1

    公开(公告)日:2016-02-02

    申请号:KR1020140023495

    申请日:2014-02-27

    CPC classification number: H01J1/025 B64G1/405 H01J37/32596

    Abstract: 본발명은고효율할로우음극와이를적용한음극시스템에관한것으로서, 두개 이상의내화금속파트로구성되는튜브; 상기튜브의끝단에각각형성되는가스공급부및 가스출구; 상기튜브의내부에장착되는인서트;를포함한다. 본발명에따르면, 두개 이상의물질을이용하여할로우음극을구성하여열적안정성, 수명및 효율을높일수 있을뿐만아니라그에따른원가를절감할수 있는효과가있다.

    흡광광도법을 이용한 시료의 pH와 농도 측정 방법 및 장치
    7.
    发明公开
    흡광광도법을 이용한 시료의 pH와 농도 측정 방법 및 장치 有权
    使用吸收光度法测定样品浓度和浓度的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020150145291A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:KR1020140074084

    申请日:2014-06-18

    Abstract: 흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정방법및 장치가제시된다. 본발명에서제안하는흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정장치는복수의파장의광을생성하고, 상기복수의파장의광을시료를통과시킨후 다시수광하는측광부, 상기복수의파장의광 세기를조절하는제어부, 상기시료를수집하고상기수집한시료에상기생성된복수의파장의광을통과시켜상기시료의 pH 및농도측정하도록하는검출부, 상기검출부를통과한복수의파장의광을상기측광부에서다시수광하고, 상기수광한복수의파장의광 정보를이용하여상기시료의 pH 및농도를계산하여데이터화하는중앙처리부, 상기흡광광도법을이용한시료의 pH 및농도측정장치의전원을제어하는전원부를포함할수 있다.

    Abstract translation: 公开了使用吸收光度法测量样品的pH和浓度的方法和装置。 根据本发明,使用吸收光度法测量样品的pH和浓度的装置包括:测光部分,用于产生多个波长的光,然后在光的波长通过样品之后再次接收光; 控制部分,用于调节光的波长强度; 检测部件,通过收集样品来测量样品的pH和浓度,并将光的波长通过所收集的样品; 中央处理部分再次接收通过测光部分中的检测部分的光的波长,然后使用关于所接收的光波长的信息作为数据来计算样品的pH和浓度; 以及功率部件,用于控制装置的功率,以使用吸收光度法测量样品的pH和浓度。

    ExB 탐침의 신호 처리 방법
    8.
    发明授权
    ExB 탐침의 신호 처리 방법 有权
    ExB探针的信号处理方法

    公开(公告)号:KR101446083B1

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:KR1020130082653

    申请日:2013-07-15

    Abstract: The present invention provides a signal processing method of an ExB probe. The signal processing method comprises the steps of: measuring a probe current spectrum according to an applied voltage of the ExB probe; calculating a characteristic matrix of the ExB probe for connecting the probe current spectrum and an ion energy distribution function of ions that enter the ExB probe; and obtaining a formal solution of the ion energy distribution function by using regularization.

    Abstract translation: 本发明提供了ExB探针的信号处理方法。 信号处理方法包括以下步骤:根据ExB探针的施加电压来测量探针电流谱; 计算用于连接探针电流光谱的ExB探针的特征矩阵和进入ExB探针的离子的离子能量分布函数; 并通过正则化获得离子能量分布函数的正式解。

    이중 주파수 전원 공급기 및 이를 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치, 그 방법
    9.
    发明授权
    이중 주파수 전원 공급기 및 이를 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치, 그 방법 有权
    双频电源和大气压等离子体发生器一样使用

    公开(公告)号:KR101755525B1

    公开(公告)日:2017-07-10

    申请号:KR1020150148665

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 본발명은이중주파수전원공급기및 이를이용한대기압플라즈마발생장치, 그방법에관한것이다. 또한, 본발명에따르면, 제1 주파수전원신호를생성하여대기압플라즈마발생장치의전극에공급하는제1 전원공급부; 및제2 주파수전원신호를생성하여대기압플라즈마발생장치의전극에공급하는제2 전원공급부를포함하며, 제1 주파수가제2 주파수보다저주파인이중주파수전원공급기와이를이용한대기압플라즈마발생장치, 그방법을제공하여두 전원을동시에인가하여안정적인플라즈마방전이가능하게하고각 전원의인가전력조절을통해공정의조절가능성을높여준다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种双频电源和使用该双频电源产生大气压等离子体的设备及其方法。 根据本发明的另一方面,提供了一种等离子体处理装置,包括:第一电源,用于产生第一频率电源信号并将其提供给大气等离子体发生器的电极; Mitje以生成电源信号的第二频率包括用于提供大气压力等离子体发生装置的电极的第二电源,第一频率是双频电源的低频和使用除第二频率设备相同的发生大气压等离子体,该方法 它通过同时应用两个电源提供稳定的等离子放电,并通过控制施加到每个电源的功率来提高过程的可控性。

    유전체 장벽 방전용 전극 조립체 및 이를 이용한 플라즈마 처리장치
    10.
    发明公开
    유전체 장벽 방전용 전극 조립체 및 이를 이용한 플라즈마 처리장치 有权
    用于电介质阻挡放电的电极组件和使用其的等离子体处理设备

    公开(公告)号:KR1020170073067A

    公开(公告)日:2017-06-28

    申请号:KR1020150181506

    申请日:2015-12-18

    Inventor: 최원호 임유봉

    Abstract: 유전체장벽방전용전극조립체및 이를이용한플라즈마처리장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른유전체장벽방전용전극조립체는피처리물의길이방향으로연장되는제1 전극부; 피처리물에대향되는제1 전극부의제1 모서리를감싸는유전체장벽부; 및제1 전극부와유전체장벽부를감싸도록배치되되, 제1 전극부에인가된전력에기초하여제1 전극부와의사이에유전체장벽방전(Dielectric Barrier Discharge)을발생시켜공정가스를플라즈마화시키고플라즈마화된공정가스를피처리물방향으로공급하는플라즈마공급모듈을포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种电介质阻挡放电电极组件和使用该电极组件的等离子体处理设备。 根据本发明实施例的介质阻挡放电电极组件包括沿待处理对象的纵向方向延伸的第一电极部分; 围绕所述第一电极部分的第一边缘面向所述待处理对象的电介质阻挡部分; 基于施加到第一电极部分的电功率在第一电极部分和介电阻挡部分之间产生介质阻挡放电,以将处理气体转化为等离子体, 以及等离子体供应模块,用于向待处理物体的方向供应处理气体。

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