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公开(公告)号：KR1020170119775A
公开(公告)日：2017-10-30
申请号：KR1020160047582
申请日：2016-04-19
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B32B37/02 , B23K26/36 , B23K26/38 , B32B37/025 , B32B38/0008 , B32B38/1833 , B32B2310/0843
Abstract: 본발명은필름형태의가공필름에결합되는가공층을레이저빔으로가공하고, 가공된가공층을다수적층고정시킴으로써, 고강도이고, 초경량이며, 고기능성인 3차원구조체를쉽고용이하게형성할수 있는나노박막의레이저가공을이용한 3차원구조체의제조방법에관한것이다. 이를위해나노박막의레이저가공을이용한 3차원구조체의제조방법은가공층이결합된가공필름을롤러유닛에설치한상태에서롤러유닛을동작시켜가공필름을가공영역에정위치시키는제1정위치단계와, 가공영역에서기설정된패턴에대응하여레이저유닛을동작시켜레이저빔으로가공층을가공하는패터닝단계와, 롤러유닛을동작시켜패터닝단계를거쳐가공된가공층을적층스테이지또는적층스테이지에안착된기판상에정위치시키는제2정위치단계및 가공된가공층이적층스테이지또는기판상에적층되도록스퀴지유닛을동작시켜가공필름을적층스테이지쪽으로가압하는적층단계를포함하고, 상술한단계를순차적으로반복실시하여나노박막으로 3차원구조체를제조할수 있다.
Abstract translation: 在本发明中的纳米薄膜，通过该处理，连接到具有用激光束的薄膜形式的处理膜处理层，所述多个层叠固定研磨处理层，一种高强度，并且重量轻，它可以容易地形成并且有利于高性能成人三维结构 三维结构采用激光加工的三维结构。 采用纳米薄膜的激光加工为具有包括所述第一位置制造这种三维结构的方法，包括：通过在安装操作所述辊单元hansangtae处理膜加工联接到滚子单元中的位置层在处理区域处理该膜 中，基板安放一组图形化步骤中，处理层通过图案化步骤操作所述辊单元处理，其响应于所述预定图案通过操作激光器单元处理与从处理区域的激光束，以在层压阶段或层叠阶段的一部分层 并且，使刮板单元动作，以使加工后的加工层层叠在层叠工作台或基板上，并将加工后的膜向层叠工序推压，并依次重复上述工序 三维结构可以使用纳米膜来制造。
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公开(公告)号：KR1020170111634A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020160037483
申请日：2016-03-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L29/06 , H01L21/56 , G03F9/00 , B81C1/00
Abstract: 신축성나노금속패턴제조방법에서, 금속액체를신축형몰드레진내부로주입한다. 상기신축형몰드내부의금속액체를초음파로분쇄한다. 상기신축형몰드를소정의패턴을갖는주형으로임프린팅하여복제한다. 상기복제된신축형몰드를상기주형으로부터이형한다.
Abstract translation: 在用于制造可拉伸纳米金属图案的方法中，将金属液注入可拉伸模塑树脂中。 模具中的金属液体被超声波粉碎。 将可拉伸模具压印到具有预定图案的模具中并进行复制。 复制的弹性模具从模具中释放。
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公开(公告)号：KR1020170091406A
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020160012389
申请日：2016-02-01
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 양자점플라즈모닉필름과이의제조방법을제공한다. 양자점플라즈모닉필름의제조방법은, 고분자수지에복수의양자점이분산된기재필름을제조하는단계와, 임프린트몰드로기재필름을가압하여기재필름의일면에나노미터크기의오목패턴을형성하는단계와, 기재필름의일면에금속을나노미터두께로증착하여오목패턴내부에위치하는제1 금속층및 오목패턴사이에위치하는제2 금속층을형성하는단계와, 제2 금속층을제거하는단계를포함한다.
Abstract translation: 量子点等离子体激元膜及其制造方法。 一种制造量子点等离激元膜的方法，该方法包括以下步骤：制备多个量子点的基膜的分散在聚合物树脂，通过在压印模具和加压支持膜，形成纳米尺寸的基材膜的一个表面上的凹陷图案 ，它包括通过在纳米厚度的基材膜的一个表面上沉积金属，以形成位于所述第一金属层和位于该凹图案内的凹图案之间的第二金属层去除第二金属层的步骤。
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公开(公告)号：KR1020170057713A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150161199
申请日：2015-11-17
Applicant: 한국기계연구원 , 고려대학교 산학협력단
IPC: G03H1/04
Abstract: 플로팅홀로그램장치는이미지반사부와이미지제공부를포함한다. 이미지반사부는측면이서로접하는복수의플로팅미러로구성되며, 내부에홀로그램공간을제공한다. 이미지제공부는복수의플로팅미러각각의외면과경사지게대향배치되며, 서로다른아크패턴이새겨진복수의아크가공판으로구성된다. 서로다른아크패턴은구현대상물을복수의방향에서바라본복수의이미지로부터얻어지며, 이미지반사부에의해반사되어홀로그램공간에서합성된 3차원의플로팅홀로그램을구현한다. 이러한플로팅홀로그램장치는복잡한영상처리과정을필요로하지않으며, 보는방향에따라이미지가자연스럽게바뀌는연속성이우수한고품질홀로그램을구현할수 있다.
Abstract translation: 浮动全息设备包括图像反射部分和图像提供部分。 图像反射部分由多个其侧表面彼此接触的浮动反射镜构成，并在其中提供全息图空间。 图像提供部分与多个浮动反射镜中的每个浮动反射镜的外表面倾斜地相对设置，并且其中雕刻不同弧形图案的多个弧由模板组成。 不同的电弧图案是从要被成像的物体的多个方向观看的多个图像中获得的，并且在全息图空间中合成的三维浮动全息图被图像反射器反射。 这种浮动全息图装置不需要复杂的图像处理过程，并且可以实现具有优良连续性的高质量全息图，其中图像根据观看方向自然地变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101729683B1
公开(公告)日：2017-04-25
申请号：KR1020150131007
申请日：2015-09-16
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058
Abstract: 선격자편광자의제조방법은, 일면에나노구조체를가지는스탬프를준비하고상기일면에이방성진공증착으로마스크층을형성하는단계와, 기판위에금속막을형성하는단계와, 마스크층가운데나노구조체상부의마스크층을금속막위로전사하는단계와, 금속막가운데마스크층으로덮이지않은부위를건식식각으로제거하여금속막을금속선들로패터닝하는단계를포함한다.
Abstract translation: 制造线栅偏振器中，制备戳与在一侧上的纳米结构，和相位，并且在形成在形成在沉积在表面上的各向异性真空的掩模层的金属膜的纳米结构顶部上的掩模的掩模层的方法，所述衬底 将该层转移到金属膜上，并且通过干法蚀刻除去未被掩模层覆盖的金属膜的部分，以用金属线图案化金属膜。
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27.发明授权
公开(公告)号：KR101522283B1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：KR1020140032129
申请日：2014-03-19
IPC: H05K3/00
Abstract: 본발명에따른금속패턴전사방법은패턴구조체(13)가임베드(imbed)된몰드기판(10)을준비하는단계, 상기몰드기판(10)의임베드된패턴구조체(13) 상에타겟금속패턴(22)을공급하는단계, 상기몰드기판(10)에타겟기판(20)을결합하여상기타겟금속패턴(22)을상기타겟기판(20) 상에전사하는단계, 및상기타겟기판(20)을상기몰드기판(10)으로부터분리하는단계를포함하고, 상기타겟금속패턴(22)을상기임베드된패턴구조체(13) 상에공급하는것은도금방식으로수행된다.
Abstract translation: 根据本发明的用于转移纳米金属图案的方法包括制备埋设有图案结构（13）的模具基板（10）的步骤，在嵌入图案结构（13）上提供目标金属图案（22）的步骤 ），将所述模具基板（10）与目标基板（20）组合并将所述目标金属图案（22）转印到所述目标基板（20）上的步骤，以及将所述目标基板 基板（20）到模具基板（10）。 执行将目标金属图案（22）供应到嵌入图案结构（13）上的电镀方法。
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28.发明授权
公开(公告)号：KR101510217B1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020130029674
申请日：2013-03-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
Abstract: 본발명은비진공저온상태에서나노구조를제조할수 있는나노임프린트를이용한고결정성나노구조제조방법및 이를이용한트랜지스터의제조방법및 센서의제조방법에관한것으로, 기판을준비하는준비단계; 상기기판상에용액상태의박막을형성하는박막형성단계; 패턴이형성된스탬프를상기박막에임프린팅하여상기스탬프의패턴에대응되는형상을가지는나노구조를형성하는임프린팅단계; 상기나노구조의결정성장을향상시키도록상기임프린팅단계를통해형성된상기나노구조에잔류하는잔류물을제거하는잔류물제거단계; 상기잔류물제거단계를통해잔류물이제거된상기나노구조를수열공정을통해성장시키는성장단계;를포함하며, 상기임프린팅단계는패턴이형성된스탬프를상기용액상태의박막에접촉시키되모세관현상을통해상기스탬프의패턴내부로상기용액상태의박막을충진시키는스탬프접촉단계; 상기스탬프의상측으로자외선을조사하여상기용액상태의박막을경화시키는경화단계; 상기경화단계를통해경화된박막으로부터상기스탬프를제거하는스탬프제거단계;를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020150030982A
公开(公告)日：2015-03-23
申请号：KR1020130110402
申请日：2013-09-13
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B29C33/38 , B29C33/424 , B29C59/04 , B29C2037/90 , B29C2059/023 , G03F7/0002
Abstract: 기계적 가공으로 요철 패턴을 형성하는 임프린트용 마스터 및 이의 제조 방법이 개시된다. 임프린트용 마스터의 제조 방법은, 취성 소재의 기판을 준비하는 단계와, 기판의 표면을 공구로 스크래치 가공하여 제1 요철 패턴을 형성함과 동시에 가공 깊이를 증가시키면서 가공 깊이와 가공 길이 및 공구의 하중을 실시간으로 측정하는 단계와, 측정된 하중을 가공 깊이와 가공 길이 중 어느 하나에 대해 피팅하고, 피팅 데이터로부터 공구의 한계 하중을 결정하는 단계와, 공구에 한계 하중보다 낮은 하중 값을 적용한 후 기판의 표면을 공구로 스크래치 가공하여 제2 요철 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种通过机械方法制造凹凸图案的压印母版及其制造方法。 本发明的方法包括以下步骤：制备由脆性材料制成的基材; 通过工具刮擦基板的表面以形成第一凹凸图案，增加加工深度，并实时测量加工深度，加工长度和工具载荷; 将测量的负载装配到处理深度和处理长度中的任何一个，并从装配数据辨别工具的负载极限; 并且向所述工具施加低于所述载荷极限的载荷值，然后通过所述工具刮擦所述基底的表面以形成第二凹凸图案。
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公开(公告)号：KR1020140136320A
公开(公告)日：2014-11-28
申请号：KR1020130056696
申请日：2013-05-20
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: C09D4/00 , B29C59/02 , C09D5/00 , C09D201/00
Abstract: 금속산화박막 패턴형성용 코팅제 및 나노임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성방법에 관한 것으로서, 경화시간을 단축시키고 임프린트를 가능하게 하는 최적의 코팅제를 사용하는 것으로, 본 발명의 일 구현예에 따른 지르코닐 2-에틸헥사노에이트(Zirconyl 2-ethylhexanoate) 및 지르코늄 카복시 에틸 아크릴레이트 (Zirconium caboxyethyl acrylate)로 이루어진 산화지르코늄 전구체, 개시제, 및 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화박막 패턴형성용 코팅제 및 이를 이용한 나노 임프린트를 이용한 금속산화박막 패턴형성 방법이 제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于金属氧化物薄膜图案化的涂层剂和使用纳米压印的金属氧化物薄膜图案化方法，该方法使用最佳涂层剂来减少固化时间并实现印迹。 本发明提供了一种金属氧化物薄膜用涂布剂，其特征在于，包括：由本发明的实施方式的2-乙基己酸氧锆和丙烯酸羧乙酯锆构成的氧化锆前体; 引发剂和溶剂; 以及使用纳米压印的金属氧化物薄膜图案化方法。
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