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公开(公告)号：KR101634535B1
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：KR1020140119186
申请日：2014-09-05
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본출원은전자빔방출장치내에서반사되거나산란되는전자가하우징내에서재반사되는것을차단하여보다안정적인작동이가능한반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원의일 실시예에따르면전자빔이가속되는공간을형성하고, 타측에가속된전자빔이방출되는방출구가형성된하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드및 상기하우징내측에배치되며, 상기하우징의방출구주위로부터애노드측으로연장되도록형성되고, 상기하우징의방출구주위에서반사된 2차전자및 산란전자가하우징내측으로반사되는것을차단하는반사전자차단구조체를포함하는반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR101634538B1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140150266
申请日：2014-10-31
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본출원은상세하게는전자빔방출장치의전자빔이방출되는방출구를형성하며, 방출구주위를누수없이보다안정적으로냉각시킬수 있는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원에따르면, 전자빔이가속되는공간을형성하는하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드, 상기애노드에의해가속된전자가하우징외부로방출되는방출구가중앙에형성되며, 내부에냉각수유로가형성된냉각플레이트를포함하며, 상기냉각수유로는내주면둘레에분할선또는접합선이없는연속면을형성하는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR1020160056384A
公开(公告)日：2016-05-20
申请号：KR1020140155561
申请日：2014-11-10
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B23Q15/14 , B23Q17/2414 , B23Q17/2471
Abstract: 본발명은가공대상물을미세하게절삭가공하는정밀가공장치에장착되는정밀공구팁에관한것으로, 상기정밀가공장치에결합되는몸체부, 별도의광학기기로인식이불가능하며, 상기몸체부에서일측으로돌출형성되어끝단부가상기가공대상물과접촉하여절삭가공하는가공부, 상기몸체부상에서상기가공부와이격되어상기광학기기로인식가능하도록형성된표시부를포함하며, 상기가공부의일측끝단부와상기표시부가기 설정된이격거리를가지며, 상기표시부의위치를기준으로상기가공부의위치를확인하여조절하는것을특징으로하는영점조절이가능한정밀공구팁이개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于零点调整的精密工具尖端，其安装在用于精确切割待处理物体的精确加工装置中。 用于零点调整的精密工具尖端包括：身体部分，其连接到精确的处理装置; 由单独的光学仪器不能识别的处理部分形成为从身体部分的一侧突出，并且具有与要处理的物体接触的端部以切割待处理的物体; 以及显示部，其被形成为与主体部分中的处理部分分离，并且可被光学仪器识别，其中处理部分的一端与显示部分分开预定的间隔距离。 因此，本发明基于显示部的位置检查并调整处理部的位置。
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公开(公告)号：KR101498934B1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020130150399
申请日：2013-12-05
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B23K26/342 , B23K26/00 , B23K15/00
CPC classification number: B23K26/342 , B23K15/0086 , B23K35/0244 , B29C64/153 , B29C67/02 , B29C2035/0838
Abstract: 본 출원은 서포터의 분리를 보다 용이하게 제거할 수 있는 입체 형상물 제조장치에 관한 것으로서, 본 출원의 일 실시예에 따르면, 챔버, 상기 챔버 내에 구비되며, 파우더가 저장되는 호퍼, 상기 챔버 내에 구비되며 제품이 형성되는 공간을 형성하는 빌드탱크, 상기 빌드 탱크 내를 승강하는 빌드 플랫폼, 상기 호퍼 내의 파우더를 상기 빌드 탱크의 상기 빌드 플랫폼의 상측에 분포하도록 공급하는 레이크, 상기 파우더가 분포된 챔버의 빌드 탱크에 에너지를 주사하여 상기 파우더가 조형물의 한 레이어를 형성하도록 녹이는 에너지 주사기, 상기 챔버 내에 상기 파우더와는 다른 재질의 물질을 공급하는 이종재질 주입부를 포함하여, 파우더가 상기 에너지 주사기에 의해 녹아 조형물의 한 층을 형성하는 과정이 복수회 반복되어 조형물 및 상기 조형물을 지지하는 서포터를 형성하는 입체 형상물 제조장치가 제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造三维（3D）艺术品的装置，其能够容易地去除支持者的分离。 根据本发明的实施例，该装置包括：腔室; 安装在室中以储存粉末的料斗; 一个安装在腔室中以形成产品形成的空间的建造罐; 在建造水箱中提升的建筑平台; 将料斗中的粉末供给到分配在构建槽的构建平台的上侧的耙子; 能量注入器，用于将能量喷射到所述腔室的构建罐中，在该容器中分配有粉末以熔化粉末以形成一层3D图形; 以及异质材料注入单元，用于将不同于粉末的材料供应到腔室，其中通过能量注射器熔化粉末以形成一层3D图案的过程重复数次，使得3D图稿和支持者 支持3D图形可以形成。
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公开(公告)号：KR101156184B1
公开(公告)日：2012-07-03
申请号：KR1020110107953
申请日：2011-10-21
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B23K15/00 , B23K15/002 , B23K15/06 , H01J37/305 , H01J37/3056
Abstract: PURPOSE: A finishing apparatus and method using electron beams and ion beams are provided to improve the surface modification characteristics of a work piece by finishing the surface of the work piece in the optimum conditions. CONSTITUTION: A finishing apparatus(100) using electron beams and ion beams comprises a stage(101), a chamber(110), an electron beam generator(120), an ion beam generator(130), and an SEM(Scanning Electron Microscope,150). A work piece(P) is arranged on the stage. The chamber surrounds the stage and keep a vacuum inside thereof. The electron beam generator is arranged on one side of the chamber and provides electron beams to the work piece. The iron beam generator provides ion beams to the work piece for processing the surface of the work piece. The SEM is arranged on one side of the chamber and measures the surface roughness of the work piece. The electron beam generator and the ion beam generator are simultaneously operated when the surface roughness distribution value of the work piece is equal to or greater than the critical value and only the ion beam generator is operated when the surface roughness distribution value is less than the critical value.
Abstract translation: 目的：提供使用电子束和离子束的整理装置和方法，以通过在最佳条件下完成工件的表面来改善工件的表面改性特性。 构成：使用电子束和离子束的整理装置（100）包括级（101），室（110），电子束发生器（120），离子束发生器（130）和SEM（扫描电子显微镜 ，150）。 工作台（P）布置在舞台上。 腔室围绕舞台并在其内部保持真空。 电子束发生器设置在腔室的一侧，并向工件提供电子束。 铁梁发生器为工件提供离子束，用于加工工件的表面。 SEM放置在腔室的一侧，测量工件的表面粗糙度。 当工件的表面粗糙度分布值等于或大于临界值时，电子束发生器和离子束发生器同时工作，当表面粗糙度分布值小于临界值时，只有离子束发生器工作 值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101156180B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020100045646
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01J37/067
Abstract: PURPOSE: A miniature electron beam apparatus is provided to efficiently perform a processing by revising a condenser lens in the vacuum condition of an electron beam emission chamber and controlling the position of a condenser lens group. CONSTITUTION: An electron beam emission chamber(100) forms an outer shape. An electron emitter(110) is placed on the top part of the electron beam emission chamber. A condenser lens group is formed in the electron beam emission chamber. An aligning part(125) controls the position of the condenser lens group while being included in the electron beam emission chamber. A main chamber is included in the lower part of the electron beam emission chamber.
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公开(公告)号：KR101146636B1
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：KR1020100077328
申请日：2010-08-11
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: Y02P90/30
Abstract: 본 발명은 금형을 설계ㆍ조립하는 금형업체 및 상기 금형업체로부터 의뢰받은 다수의 금형부품을 가공하는 복수의 가공업체의 상호 협력에 의한 금형 제조공정에서 금형의 검사정보를 제공하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 금형 제조공정의 검사정보 제공방법은, 관리서버는 금형업체 단말기 또는 가공업체 단말기가 접속하면, 상기 금형부품별로 구분된 관리목록을 제공하는 단계; 상기 금형업체 단말기는 설계도면상에 주요 품질관리지점인 복수의 품질포인트를 지정하고 상기 복수의 품질포인트에 각각 대응되게 입력된 검사기준정보를 상기 금형부품별로 상기 관리목록에 등록하는 단계; 상기 가공업체 단말기는 상기 관리목록에서 상기 검사기준정보를 확인하고, 이에 따라 상기 금형부품별로 검사를 수행하여 상기 관리목록에 검사결과정보를 등록하는 단계; 및 상기 금형업체 단말기는 상기 관리목록에서 상기 검사결과정보를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 의하면, 금형 제조공정에 있어 검사기준정보, 검사결과정보 등의 검사정보를 설계도면상에 지정된 품질포인트에 각각 대응되게 설계도면상에 입력하여 금형업체 담당자와 가공업체 담당자 간에 공유함으로써, 주요 품질관리지점과 각 지점별 검사기준값, 검사결과값 등을 신속하고 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 해당 설계도면파일을 각 금형부품별로 관리서버와 인터넷을 통해 공유함으로써 그 편의성과 금형부품 제조공정의 효율을 극대화시킬 수 있는 금형 제조공정의 검사정보 제공방법에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020110125999A
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020100045670
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01J37/067
Abstract: PURPOSE: The electronic beam tip and the lens of an electron beam emission apparatus and an array structure between a lens and a lens and an alignment method are provided to measure a parallel error using a camera, a cross shaped extension part, and an array dot. CONSTITUTION: An extension part(122,127) is horizontally extended from an electronic beam tip or each condenser lens group to the outside. The extension part is extended from the same spot on the plane of the electronic beam tip or each condenser lens group to the outside. A vision camera is placed in the vertical upper part of the electronic beam tip or the condenser lens group. The vision camera takes photographs of the extension part of the electronic beam tip and the condenser lens group or the condenser lens group and the extension part of the condenser lens group. A controller calculates a horizontal displacement amount which is separated from the alignment location by measuring the vector quantity of an array dot(123,128) in the extension part.
Abstract translation: 目的：提供电子束尖和电子束发射装置的透镜以及透镜和透镜之间的阵列结构以及对准方法，以使用相机，十字形延伸部和阵列点测量平行误差 。 构成：延伸部分（122,127）从电子束尖或每个聚光透镜组水平延伸到外部。 延伸部分从电子束尖或每个聚光透镜组的平面上的同一点延伸到外部。 视觉摄像机放置在电子束尖或聚光透镜组的垂直上部。 视觉摄像机拍摄电子束尖和聚光透镜组或聚光透镜组的延伸部分和聚光透镜组的延伸部分的照片。 控制器通过测量扩展部分中的阵列点（123,128）的向量量来计算与对准位置分离的水平位移量。
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公开(公告)号：KR101028696B1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：KR1020090018715
申请日：2009-03-05
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 소재로 제작되어 있는 다층구조의 미세홀 중심을 보다 효과적으로 얼라인 하기 위하여 파장의 폭이 작은 단파장의 적외선을 이용하여 촬영된 렌즈의 영상에 의하여 얼라인 상태를 판단하고, 얼라인 오차를 수정하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 측정 및 수정방법에 관한 것이다.
본 발명의 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 수정방법은, (a) 적외선을 방출하는 IR 광원의 조사에 의해 렌즈세트를 통하여 1차 렌즈위에 2차 렌즈를 올려놓고, 상하 이송 스테이지를 통하여 상기 1차 렌즈의 투과 이미지와 상기 2차 렌즈의 반사이미지(또는 투과이미지)를 촬영하는 단계(S10); (b) 상기 촬영된 1차 및 2차 영상이미지를 통하여 화이트 밸런스 값의 중간점을 검출하는 단계(S30); (c) 상기 1차 및 2차 영상의 중심을 검출하는 단계; 및 (d) 상기 검출된 중심을 통하여 1차 렌즈의 중심에 2차 렌즈의 중심을 이동하도록 하여 미세홀을 가진 렌즈 얼라인 간의 오차를 수정하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
IR 광원, 렌즈세트, 얼라인-
公开(公告)号：KR100975137B1
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：KR1020080041204
申请日：2008-05-02
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/677 , B82Y30/00
CPC classification number: B28D5/0082 , H02N2/02 , H02N2/04
Abstract: 본 발명은 보다 미세한 이동이 가능하고, 강성이 향상된 이송부를 갖는 고강성 듀얼 서보 나노스테이지에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따른 스테이지는, 작업대상물이 놓여지는 작업대, 회전력을 제공하는 모터, 상기 모터에 의해 회전되면서 상기 작업대를 이송시키는 샤프트, 상기 작업대와 치합된 샤프트; 상기 샤프트를 회전시키는 모터, 내부에 상기 샤프트의 일단이 삽입되는 중공이 형성되며, 상기 샤프트와 모터의 사이에 구비되고, 신축함으로써 상기 샤프트를 축방향으로 선형이동시키는 선형이동부, 상기 샤프트가 상기 선형이동부에 의해 이동된 거리만큼 신축하는 신축부를 포함하여 이루어질 수 있다.
스테이지, 피에조, 신축
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