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公开(公告)号：CN107610994B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201710680517.3
申请日：2017-08-10
Applicant: 江苏鲁汶仪器有限公司
IPC: H01J37/30 , H01J37/305 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/02 , H01J37/30 , H01J37/305
Abstract: 本发明公开一种离子束刻蚀系统，包括刻蚀腔体和刻蚀电极，还包括电极变位装置，用于使所述电极在所述刻蚀腔体内变化工作位置，所述电极变位装置包括动密封机构、电极动平衡配重机构、电极变位传动机构、以及电极变位驱动机构，所述刻蚀腔体包括腔室以及与所述腔室相连接的腔盖，所述腔室呈不规则形状。本发明的优点在于，可以实现对晶片的多角度刻蚀。另外，通过对刻蚀腔体的腔室形状进行特殊设计，能够节省占地空间，方便与其他外界设备连接，大幅度提高刻蚀工作效率。
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公开(公告)号：CN104603078B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201380046452.7
申请日：2013-03-12
Applicant: 利拉茨有限公司
Inventor： V·利索特申克
IPC: C03C23/00 , H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/305
CPC classification number: H01J29/70 , H01J3/30 , H01J29/04 , H01J29/48 , H01J31/00 , H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/305 , H01J2237/0213 , H01J2237/061 , H01J2237/06308
Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束(4)的装置(20)，其包括热阴极(1)、阴极电极(2)、具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置产生的电子束(4)可以穿过该开口，其中，在装置(20)运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，所述装置还包括偏转机构，该偏转机构可以偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4)，其中，偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4)可以被反射和/或所述偏转电极具有相对于电子束(4)的传播方向倾斜的偏转面(9)并且所述至少一个偏转电极(8、12)处于与阴极电极(2)相同的电势上。
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公开(公告)号：CN107223282A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201580066523.9
申请日：2015-10-14
Applicant: 约翰·安德鲁·亨特 , 史蒂文·托马斯·科伊尔 , 迈克尔·帕特里克·哈塞尔希勒 , 塞及·C·霍斯曼
Inventor： 约翰·安德鲁·亨特 , 史蒂文·托马斯·科伊尔 , 迈克尔·帕特里克·哈塞尔希勒 , 塞及·C·霍斯曼
IPC: H01J37/08 , H01J37/24 , H01J37/304 , H01J37/305 , H01J37/317 , G01N1/44
CPC classification number: H01J37/243 , G01N1/44 , H01J37/08 , H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/305 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/081 , H01J2237/24514 , H01J2237/24535 , H01J2237/30483 , H01J2237/31 , H01J2237/3151 , H01J2237/316
Abstract: 用于离子束样本制备和镀覆的装置中测定、使用和指示离子束工作性能的方法和装置。束探针可用于测量离子束一个部分的一种或多种工作特性，生成与一种或多种工作特性存在已知关系的探针信号。该束探针可生成与达到样本的喷镀涂层的一种或多种特性存在已知关系的信号。离子束装置可与从束探针处接收到的信号响应，调制一种或多种离子束特性。探针信号可用于离子束装置中，指示一种或多种离子束工作特性。相关装置和方法还可测量探针信号与离子束工作特性之间的已知关系。
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公开(公告)号：CN104272425B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380022774.8
申请日：2013-04-25
Applicant: 阿卡姆股份有限公司
IPC: H01J37/077 , B29C67/00
CPC classification number: H01J29/52 , B29C64/153 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , H01J37/077 , H01J37/305 , H01J37/3178 , H01J2237/043 , H01J2237/3128 , H01J2237/31732
Abstract: 本发明涉及一种等离子体电子源装置(150)。所述装置包含阴极放电室(100)，在阴极放电室(100)中产生等离子体；提供在所述阴极放电室中的出口孔(120)，通过提供在所述阴极放电室(100)与阳极(104)之间的加速场从出口孔(120)并从所述等离子体(107)中提取电子；至少一个等离子体约束设备(例如，电磁线圈103)；以及切换机构(190)，其用于在允许从所述等离子体中提取电子的第一值与阻止从所述等离子体中提取电子的第二值之间切换所述至少一个等离子体约束设备。也提供了关联方法，特别是使用所述装置(150)的方法，所述装置(150)用于通过连续熔合提供在工作台上的粉床的至少一个层的部分而形成三维物品。
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公开(公告)号：CN104520963B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380041036.8
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/10 , H01J37/1413 , H01J37/1471 , H01J37/16 , H01J37/222 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/305 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0245 , H01J2237/032 , H01J2237/12 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供一种扫描式电子显微镜。在具备电子束柱的扫描式电子显微镜中，由可拆装的部件构成电子束柱的物镜的前端，能够装配不同的材质的物镜的前端。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103917311B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201380003861.9
申请日：2013-06-12
Applicant: 东邦钛株式会社
CPC classification number: H01J37/304 , B22D23/06 , C22B9/228 , C22C14/00 , F27D11/08 , F27D11/12 , F27D19/00 , F27D2019/0071 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/3045 , H01J37/305
Abstract: 提供对于形成于配设在电子束熔化炉内的炉床、铸模内的熔融金属池，将电子束精度良好地照射到事先预定的位置的技术。一种具备保持熔融金属的炉床和铸模、使熔融金属熔融的电子枪、控制电子束的照射方向的电子枪控制单元、熔融金属的图像传感器、以及运算单元的电子束熔化炉的运转方法，将对于熔融金属应该照射电子束的照射坐标输入到电子枪控制单元以将电子束照射到熔融金属，利用图像传感器检测电子束照射到熔融金属而产生的高亮度部位，利用运算单元根据检测信号运算高亮度部位坐标，利用运算单元运算照射坐标与高亮度部位坐标的差异，将差异输入到电子枪控制单元，由此以差异成为规定值以下的方式控制电子束的照射位置。
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公开(公告)号：CN103003055B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180028829.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 旭化成株式会社
CPC classification number: B29C33/3842 , B23K15/08 , B29C33/38 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/20 , G03F7/2037 , G03F7/24 , H01J37/20 , H01J37/305 , H01J37/3174 , H01J2237/20214 , H01J2237/2025 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285
Abstract: 本发明能够一边抑制成本增加一边抑制滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆引起描画图案变得不鲜明的情况。为了实现该目的，滚筒模具制作装置（1）包括：电子束照射装置（2）；掩模（3），该掩模具有使电子束的一部分透过的开口部，以形成同时在抗蚀剂上进行描画的多束电子束；使滚筒模具（100）绕旋转轴旋转的旋转驱动装置（4）；对滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移量进行检测位移量检测传感器（5）；控制装置（6）；以及致动器（7），该致动器（7）根据来自该控制装置（6）的控制信号使电子束的描画位置与滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的位移随动，抑制滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移所导致的抗蚀剂的曝光位置的偏差。
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公开(公告)号：CN104520963A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041036.8
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/10 , H01J37/1413 , H01J37/1471 , H01J37/16 , H01J37/222 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/305 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0245 , H01J2237/032 , H01J2237/12 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供在具备两个以上的带电粒子线柱的复合带电粒子线装置中能够以将试样放置于交叉点的位置的状态进行高分辨率观察的复合带电粒子线装置。本发明具有以下构成，具备多个带电粒子线柱(101a、102a)的复合带电粒子线装置，其特征在于，在上述多个柱的光轴交叉的交点(171)的位置配置试样(103)，形成上述带电粒子线柱(102a)的物镜的前端的部件(408a、408b)能够拆装，通过更换上述部件(408a、408b)，能够改变上述交点(171)与上述带电粒子线柱前端的距离。
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公开(公告)号：CN101542675A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000419.X
申请日：2008-02-15
Applicant: 诺尔迪克技术服务有限公司
Inventor： 安德鲁·詹姆斯·蒂莫西·霍姆斯 , 默文·霍华德·戴维斯
CPC classification number: H01J37/305 , H01J27/024 , H01J37/20 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/0458 , H01J2237/047 , H01J2237/08 , H01J2237/3142 , H01J2237/3151
Abstract: 一种用于使离子束加速的设备(100)，包括安装在可移动安装件(112、114)中的至少一个电极(102、104、106)。
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公开(公告)号：CN109686642A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201810906708.1
申请日：2018-08-10
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/305 , B22F3/105 , B33Y10/00 , B33Y30/00
CPC classification number: B23K15/0086 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B22F2999/00 , B23K15/0013 , B23K15/0026 , B23K15/02 , B29C64/153 , B29C64/268 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y50/02 , B22F2203/03 , H01J37/3005 , H01J37/3023 , H01J37/3026 , H01J37/305
Abstract: 本发明提供一种一面由装置本身决定用来确实地将粉末层熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明提供一种三维积层造形装置(100)，它具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，并使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏转；电子检测器(72)，检测通过照射电子束(EB)而从粉末层(32)的表面朝指定方向释出的电子；熔融判断部(410)，基于电子检测器(72)的检测信号强度产生熔融信号；以及偏转控制部(420)，接收熔融信号并决定电子束的照射条件。
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