公开(公告)号：KR100125327B1

公开(公告)日：1997-12-10

申请号：KR1019930026301

申请日：1993-12-03

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  이종용 ,  성건용 ,  서정대

IPC: H01L39/12 ,  H01L39/24

Abstract: A fabrication method of planar superconductor five poles low pass filter is provided to improve accuracy of patterns and SN(signal-to-noise) ratio in the range of microwave band. The method comprises the steps of: forming a superconductor film(1) on LaAlO3 substrate(2) using PLD(pulse laser deposition) method; spin-coating a photoresist film on the superconductor film(1) and hard baking; milling the photoresist film and the superconductor film(1) using ECR(electron cyclotron resonance); removing an Ag-paste formed in rear of the substrate(2) and polishing; and forming an input/output terminals(3) in the rear surface of the substrate. Thereby, it is possible to improve accuracy of circuit pattern.

Abstract translation: 提供了平面超导体五极低通滤波器的制造方法，以提高微波频带范围内的图案精度和SN（信噪比）比。 该方法包括以下步骤：使用PLD（脉冲激光沉积）方法在LaAlO 3衬底（2）上形成超导膜（1）; 在超导薄膜（1）上旋涂光致抗蚀剂薄膜并进行硬烘烤; 使用ECR（电子回旋共振）研磨光致抗蚀剂膜和超导膜（1）; 去除形成在基板（2）后面的Ag糊料并进行抛光; 以及在所述基板的后表面中形成输入/输出端子（3）。 由此，能够提高电路图案的精度。

公开(公告)号：KR1019960027653A

公开(公告)日：1996-07-22

申请号：KR1019940034514

申请日：1994-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 이종용 ,  장종현 ,  이은주 ,  이윤주

IPC: H04L12/02

Abstract: 본 발명은 개인 통신 교환기 시스템을 시험할 수 있도록 교환기의 스위칭 기능, 포터블 스테이션(Potable Station, 이하, PS라 칭함)과 RP의 기능을 지닌 무선 종합정보통신망의 RP 시뮬레이터에 관한 것으로, 입력 되는 메세지를 외부의 교환기로 전송하고, 상기 교환기로부터의 메세지에 의한 채널 정보, 프로토콜의 적합성을 시험할 수 있는 환경을 제공하는 무선 트래픽 시뮬레이팅 수단(WITS : Wireless ISDN Traffic Simulator)과, 시험 시나리오 및 시험 데이타를 RP(Radio Port) 형식에 맞게하고 RPC를 시험할 수 있도록 신호 규격에 맞는 메세지를 상기 무선 트래픽 시뮬레이팅 수단으로 출력하는 트래픽 시뮬레이팅 관리수단(TSS : Traffic Simulator Subsystem)을 구비하는 것을 특징으로 하여 종합정보통신망의 보편화를 위한 교환 시스템의 개발에 있어 개발 과정에서 생기는 시 을 위한 비용 및 시간 절감을 할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100091958B1

公开(公告)日：1995-11-22

申请号：KR1019920025340

申请日：1992-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  성건용 ,  이종용 ,  서정대

IPC: H01L39/00

公开(公告)号：KR1019950021825A

公开(公告)日：1995-07-26

申请号：KR1019930026301

申请日：1993-12-03

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  이종용 ,  성건용 ,  서정대

IPC: H01L39/12 ,  H01L39/24

Abstract: 본 발명은 현재 사용되고 있는 소재와는 전혀 다른 고온 초전도체를 응용하여 정보 통신용 수동소자, 특히 마이크로파 영역에서의 성능이 매우 우수한 평면형 고온초전도 저역통과 필터의 제조방법에 관한 것이다.
고온초전도 에피텍셜박막과 시뮬레이션으로 구한 최적의 회로패턴을 전사시킨 전자선 마스크를 이용한 포토리소그래피공정과 혼합식각공정을 통해, YBa
2 Cu
3 O
7-8 /LaAlO
3 /Cr/Cu/Au구조의 마이크로파(5GHz)저역통과 필터를 제조한다.
본 발명에 따라 제조된 소자의 저온 마이크로파 특성측정을 통해 고온초전도체의 마이크로파 응용가능성과, 저온(77K근방)에서는 기존의 금속박막형 마이크로파 수동소자보다 성능이 우수함을 확인하였다.
고온초전도 박막의 제조에서부터 마이크로파 저역통과 필터를 구현하기까지는 복잡하고 다양한 공정들을 거치게 되지만 이러한 공정들을 통해 기판위에 형상화하는 회로패턴의 정밀도 및 예리도를 휠씬 높일 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019940017120A

公开(公告)日：1994-07-25

申请号：KR1019920025028

申请日：1992-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 이종용 ,  강광용 ,  성건용 ,  서정대

IPC: H03H3/00

Abstract: 본 발명은 수 GHz이상의 고주파대역에서 사용되는 이동통신 및 위성통신 시스템에서의 불필요한 잡음(nose)을 제거할 수 있고, 손실 특성들의 향상된 고온초전도 고주파 공진기의 제조방법에 관한것으로, 특히 임계온도(T
c )이하에서는 전기 저항이 없어지는 고온초전도 박막을 이용하고 소장의 구조는 고리형(ring type)으로 함으로써 경박단소화와 저온 고주파 특성을 향상시킬 수 있도록 하는 통신용 고주파 고리형 공진기(Ring resonator)의 제조방법에 관한것이다.

公开(公告)号：KR1019940016981A

公开(公告)日：1994-07-25

申请号：KR1019920025339

申请日：1992-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  성건용 ,  이종용 ,  서정대

IPC: H01L39/00

Abstract: 본 발명은 이동통신 및 위성통신용 고주파 수동소자의 한 종류로서, 고온초전도 에피박막을 이용하여 개발한 고주파용(-10㎓) 고온초전도 3극 대역통과 여파기(YBa
2 Cu
3 O
7-x /LaAlO
3 /Au구조)에 관한 것으로, 소자의 회로패턴을 제작하기에 앞서 시뮬레이터(模擬實驗)으로 최적회로패턴을 설계하며, 고온 초전도 박막의 습식식각에 의한 초전도성의 열화를 최소화하기 위해, 펄스레이저증착(pulsed laser deposition 또는 laser ablation)법을 응용한 금속마스크 형상화공정(laser ablation aided mask-patterning process)으로 유전체 단결정 LaAlO
3 기판(8) 위에 최적설계된 여파기 회로패턴을 직접형상화한후, 자체제작한 고주파 하우징(microwave housing 또는 jig)를 이용하여 이 소자의 고주파 특성을 측정함으로써 고온초전도체의 고주파 응용가능성을 타진하고 기존의 금속제(금,구리 ) 고주파수소자보다 성능이 우수한가를 살펴보았는바, 실제로 고온초전도체의 임계온도 이하에서는 금속박막형 소자보다 훨씬 우수한 고주파 특성을 보여 주었다.